半导体设备行业国产替代趋势月度跟踪：2月设备新增招标量显著，检测／涂胶显影／减薄招标量居多

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 23 [Table_Page] 深度分析|半导体 证券研究报告 [Table_Title] 半导体设备国产替代趋势月度跟踪 2 月设备新增招标量显著，检测/涂胶显影/减薄招标量居多 [Table_Summary] 核心观点： ⚫ 2 月合计 28 项招标，以燕东科技、武汉新芯、华虹半导体、积塔半导体为主，招标设备主要包括检测、涂胶显影、减薄、光刻、PVD 设备等品类。根据采招网的数据，2024 年 2 月，统计样本中的晶圆产线合计产生 28 项招标。以燕东科技、武汉新芯、华虹半导体、积塔半导体等产线招标为主。招标设备主要包括检测、涂胶显影、减薄、光刻、PVD设备等品类。2024 年 1-2 月，统计样本中的晶圆产线合计招标 39 项，其中，燕东科技、积塔半导体、华虹半导体、中芯国际的招标量位居前三。整体而言，设备招标以检测、涂胶显影、减薄设备为主。 ⚫ 2 月合计 267 项中标，以扩散、气液系统、探针台设备居多，国产设备整体中标比例约 16%，气液系统设备的国产中标比例显著。中标方面，根据采招网的数据，2024 年 2 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标 267 台设备，以扩散、气液系统、探针台设备居多；国产设备整体中标比例约 16%，其中，气液系统设备的国产中标比例显著。2024年 1-2 月，统计样本中的晶圆产线合计中标 434 台设备，以扩散、气液系统、探针台设备为主；国产设备整体中标比例约 22%，其中，气液系统、检测设备的国产中标比例较高。 ⚫ 投资建议：在本土晶圆产能持续扩张、半导体制造技术迭代升级和国产替代加速突破的趋势下，国内半导体设备市场持续扩容。国产半导体设备厂商依托公司自身的产品竞争力、持续拓展的可服务市场空间和品类扩张能力，有望持续受益于设备市场规模的扩张和国产替代进程的深入，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、中微公司*、拓荆科技、盛美上海*、华海清科、中科飞测、芯源微、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*、万业企业等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖） ⚫ 风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。 [Table_Grade] 行业评级 买入 前次评级 买入 报告日期 2024-04-29 [Table_PicQuote] 相对市场表现 [Table_Author] 分析师： 王亮 SAC 执证号：S0260519060001 SFC CE No. BFS478 021-38003658 gfwangliang@gf.com.cn 分析师： 耿正 SAC 执证号：S0260520090002 021-38003660 gengzheng@gf.com.cn 分析师： 焦鼎 SAC 执证号：S0260522120003 021-38003658 jiaoding@gf.com.cn 请注意，耿正,焦鼎并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 [Table_DocReport] 相关研究： 半导体设备国产替代趋势月度跟踪:1 月产线招标以基建为主，气液系统/沉积设备中标量居多 2024-02-28 “AI Tipping Point”系列报告一:英伟达业绩持续超预期，AI 迎来 Tipping Point 2024-02-22 半导体设备国产替代趋势月度跟踪:12 月产线招标稳步推进，国产中标多线突破 2024-01-22 [Table_Contacts] -40%-31%-22%-14%-5%4%04/2307/2309/2311/2302/2404/24半导体沪深300 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 23 [Table_PageText] 深度分析|半导体 [Table_impcom] 重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 货币 最新 最近 评级 合理价值 EPS(元) PE(x) EV/EBITDA (x) ROE(%) 收盘价 报告日期 （元/股） 2023E 2024E 2023E 2024E 2023E 2024E 2023E 2024E 北方华创 002371.SZ CNY 313.66 2024/04/13 买入 416.96 7.35 10.80 42.67 29.04 32.76 23.46 16.70 19.70 华海清科 688120.SH CNY 162.31 2024/01/22 买入 249.61 4.59 6.24 35.36 26.01 31.93 23.22 13.20 15.20 拓荆科技 688072.SH CNY 183.85 2023/10/30 买入 331.66 2.48 4.01 74.13 45.85 89.17 52.34 11.00 15.10 中微公司 688012.SH CNY 135.04 2024/03/20 买入 222.62 2.89 3.50 46.73 38.58 56.39 47.55 10.00 10.90 盛美上海 688082.SH CNY 84.40 2024/03/01 买入 145.74 2.09 2.83 40.38 29.82 39.84 24.19 14.10 16.00 中科飞测 688361.SH CNY 53.93 2024/02/28 买入 94.88 0.45 0.71 119.84 75.96 87.16 63.21 5.90 8.50 数据来源：Wind、广发证券发展研究中心 备注：数据更新至 2024 年 4 月 28 日。 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 23 [Table_PageText] 深度分析|半导体 目录索引 一、晶圆扩产与国产替代驱动，设备市场空间广阔 ............................................................ 5 二、2 月设备新增招标量显著，检测/涂胶显影/减薄招标量居多 ...................................... 15 三、投资建议 .................................................................................................................... 20 四、风险提示 ....................................................................................................................