机械行业半导体设备专题五：国产晶圆制造设备需求数量测算

请阅读最后评级说明和重要声明 1 / 26 [Table_MainInfo] ┃研究报告┃ 机械行业 2018-8-25 半导体设备专题五：国产晶圆制造设备需求数量测算 行业研究┃行业周报评级 看好 维持 报告要点 晶圆制造设备种类、数量繁多，不同制程对设备需求量不同集成电路制造工艺复杂，生产工序达近千道。复杂的工艺导致晶圆处理设备昂贵、复杂且种类和数量繁多。晶圆制造设备占整个集成电路产业链设备投资额的超过 80%。不同制程中，工艺类型、工艺复杂程度、工序数量都不同，因此不同制程对设备的需求量也不同。 晶圆产线可分为 8 寸线、成熟制程 12 寸线和先进制程 12 寸线根据现有的主流晶圆厂工艺和产能分布，晶圆产线可大致划分为 8 寸生产线、12 寸成熟制程生产线和 12 寸先进制程生产线。8 寸晶圆产线主要用于130nm-200nm 工艺；成熟制程 12 寸线，包括 45nm、65nm、90nm 等；先进制程包括 22nm、14/16nm、10nm、7nm 等。同样产能，制程越先进，对设备需求量越大，需分类测算晶圆制造设备主要包括氧化炉管/高温/退火、化学气相沉积、涂胶机、去胶机、光刻机、刻蚀机、离子注入机、物理气相沉积、研磨抛光设备、清洗设备和检测设备等。在同样产能情况下，越先进的制程对设备的需求量越高。因此，8寸线、成熟制程 12 寸线和先进制程 12 寸线对设备的需求应分类测算。 国产设备的机会在于内资晶圆厂和非先进工艺线国产半导体设备与国外设备存在较大技术差距，因此国产设备的机会主要在在建的 8 寸线和非先进制程的 12 寸线，而先进制程的 12 寸线中，国产设备机会相对较小。内资晶圆厂对国产设备的支持力度大于外资晶圆厂。 未来三年国内在建晶圆产线对国产晶圆制造设备需求拉动明显国内目前在建的晶圆制造产线，按 8 寸、成熟制程 12 寸和先进制程 12 寸产线分类，并区分内资和外资晶圆产线，统计总的规划产能，测算出中国大陆未来3-4 年对国产晶圆制造设备的具体数量需求。如果在建晶圆厂全部达到满产，且国产半导体设备在 8 寸、成熟 12 寸、先进 12 寸线中占有率分别达到 20%、20%和 15%，则对国产设备的需求为 CVD 483 台、氧化炉管 471 台、刻蚀机 611台、PVD 329 台、检测设备 798 台、清洗设备 258 台，建议关注已经在相关领域取得技术突破或布局的北方华创、中微半导体、盛美半导体、至纯科技、精测电子、沈阳拓荆，和半导体测试设备龙头长川科技。 [Table_Author]分析师 赵智勇 （8621）61118719 zhaozy@cjsc.com.cn 执业证书编号：S0490517110001 分析师 姚远 （8621）61118719 yaoyuan@cjsc.com.cn 执业证书编号：S0490517070005 分析师 臧雄 （8621）61118719 zangxiong@cjsc.com.cn 执业证书编号：S0490518070005 联系人 倪蕤 （8621）61118719 nirui@cjsc.com.cn [Table_Doc]相关研究 《在周期波动的行业里寻找优质的工控自动化公司》2018-8-18 《复盘铁路投资，机辆采购或为重要方向》2018-8-11 《积极财政加强补基建短板，板块估值有望向上修复——工程机械行业专题报告》2018-8-4 风险提示： 1. 晶圆厂投资力度减弱建设进度滞后 2.国产半导体设备研发滞后28081 请阅读最后评级说明和重要声明 2 / 26 行业研究┃行业周报 目录 国产晶圆制造设备需求数量测算 ................................................................................................... 4 晶圆处理设备昂贵、复杂且种类数量繁多 ............................................................................................................... 4 8 寸晶圆产线的设备需求 ......................................................................................................................................... 6 成熟制程 12 寸线的设备需求 .................................................................................................................................. 7 先进制程 12 寸线的设备需求 ................................................................................................................................ 10 设备需求趋势：越先进制程所需设备量越多 ......................................................................................................... 11 国内晶圆制造设备需求测算 .................................................................................................................................. 16 国内晶圆厂对国产晶圆制造设备需求测算 ............................................................................................................. 19 一周行情回顾 ............................................................................................................................. 23 重点公司公告 ............................................................................................................................. 24 宏观及行业新闻 .............................................................................................