电子行业：国产量测设备公司逐步取得突破

请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 [Table_Main] 证券研究报告 | 行业点评 电子 2022 年 09 月 20 日 电子 优于大市（维持） 证券分析师 陈海进 资格编号：S0120521120001 邮箱：chenhj3＠tebon.com.cn 研究助理 市场表现 相关研究 1.《海康威视（002415.SZ）：回购彰显 信 心 ， 坚 定 看 好 长 期 价 值 》，2022.9.16 2.《VR 行业专题 1：Pancake 光学落地加速，把握硬件创新机遇》，2022.9.15 3.《歌尔股份（002241.SZ）：VR 龙头，引领消费电子创新新周期》，2022.9.13 4.《炬光科技拟收购公告点评：-炬光科技（688167.SH）：拟收购泛半导体设备厂商，加速中游应用商业化》，2022.9.12 5.《电子月报（台股）2022-08：下游需求分化，晶圆代工及材料头部厂商 增长稳健》，2022.9.12 国产量测设备公司逐步取得突破 [Table_Summary] 投资要点：  检测和量测构成半导体制造的质量控制环节。检测和量测是半导体加工过程中的两大质量控制环节（以下统称“量检测”）。应用于前道制程和先进封装的质量控制根据工艺可细分为检测（Inspection）和量测（Metrology）两大环节。检测指在晶圆表面上或电路结构中，检测其是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷；量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。  量检测设备全球市场空间较大。根据 SEMI 预测，2022 年全球半导体前道制造设备市场销售额预计为 1010 亿美元。参照 Gartner 的统计，量检测等工艺控制设备在半导体设备中占比为 11%，我们预计 2022 年全球量检测设备的市场规模为 111亿美元。假设中国大陆市场占全球比例为 28%，则预计 2022 年中国大陆的量检测设备市场规模在 31 亿美元。  全球半导体检测和量测设备市场呈现国外设备企业垄断的格局。全球范围内主要检测和量测设备企业包括科磊半导体、应用材料、日立等。科磊半导体一家独大，根据 VLSI Research 的统计，其在 2020 年全球检测与量测设备的合计市场份额占比为 50.8%。2020 年，全球前五大公司合计市场份额占比超过了 82.4%，均来自美国和日本，市场集中度较高。  量检测设备国产化率很低，未来有较大国产化空间。目前国内主要的量检测设备公司包括：中科飞测、上海精测、上海睿励等，而这些公司的合计营收体量占中国大陆半导体检测和量测设备市场的份额较小，但呈现快速增长趋势。根据我们的测算，2021 年，上述三家国产量检测公司的半导体设备营收为 5.13 亿元，占中国大陆的市场份额为 2.7%，显示量检测设备目前的国产化率很低，而未来的潜在国产化空间较大。  国产量检测公司逐步取得突破。中科飞测的无图形晶圆缺陷检测设备和三维形貌量测设备已适用于 2Xnm 或以上制程工艺，套刻精度量测设备也有 28nm 以下产品在客户产线验证中。精测半导体布局了晶圆缺陷检测、关键尺寸测量、膜厚测量、形貌量测等多个产品，其中明场检测、OCD、电子束缺陷复查均在国内处于领先地位。睿励科学仪器目前已有多台光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备出货给国内客户，其中睿励的光学膜厚测量设备已应用于 28nm 及以上的芯片生产线中并在进行 14nm 工艺验证，而其光学缺陷检测设备目前最高检测精度达到 100nm，并获得多台订单。  投资建议：建议关注国产量测公司，标的包括：中科飞测（未上市）、精测电子、中微公司（睿励科学仪器第一大股东）。  风险提示：下游晶圆厂需求不及预期、量测设备行业竞争加剧、新品研发进度不及预期风险。 -24%-20%-15%-10%-5%0%5%10%2021-092022-012022-05沪深300仅供内部参考，请勿外传 行业点评 电子 2 / 9 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 内容目录 1. 量检测设备市场大且壁垒高 ......................................................................................... 4 2. 量检测设备国产化空间较大 ......................................................................................... 6 3. 国产量检测公司逐步取得突破 ..................................................................................... 7 4. 风险提示 ...................................................................................................................... 8 仅供内部参考，请勿外传 行业点评 电子 3 / 9 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 图表目录 图 1：半导体检测与量测技术 ........................................................................................... 4 图 2：2020 年全球半导体检测和量测设备的市场占比 ..................................................... 4 图 3：2020 年全球半导体量测和检测设备不