高端刻蚀设备全面导入，先进膜薄运付量快速增长

请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告 | 2026年05月05日优于大市中微公司（688012.SH）高端刻蚀设备全面导入，先进膜薄运付量快速增长核心观点公司研究·财报点评电子·半导体证券分析师：胡慧证券分析师：叶子021-608713210755-81982153huhui2@guosen.com.cnyezi3@guosen.com.cnS0980521080002S0980522100003证券分析师：张大为证券分析师：詹浏洋021-61761072010-88005307zhangdawei1@guosen.com.cnzhanliuyang@guosen.com.cnS0980524100002S0980524060001证券分析师：李书颖证券分析师：连欣然0755-81982362010-88005482lishuying@guosen.com.cn lianxinran@guosen.com.cnS0980524090005S0980525080004基础数据投资评级优于大市(维持)合理估值收盘价376.30 元总市值/流通市值235909/235909 百万元52 周最高价/最低价397.30/164.88 元近 3 个月日均成交额3479.36 百万元市场走势资料来源：Wind、国信证券经济研究所整理相关研究报告《中微公司（688012.SH）-薄膜设备覆盖率提升，高端刻蚀运付量显著增加》 ——2025-05-05《中微公司（688012.SH）-先进刻蚀设备运付量提升，薄膜类新品开启放量》 ——2024-11-041Q25 营收同比增长 34.13%，归母净利润同比增长 197.20%。公司发布 2026年第一季度报告，实现营收 29.15 亿元(YoY +34.13%)，归母净利润 9.30 亿元(YoY +197.20%)，扣非归母净利润 4.78 亿元(YoY +60.09%)。综合毛利率达到 39.89%(QoQ +0.6pp)，研发支出 9.08 亿元(YoY +32.15%)。收入端增长主要因应用于先进逻辑（中段关键刻蚀工艺）与存储（超高深宽比刻蚀工艺）的高端产品实现量产，且运量显著提升。利润端，公司本期出售了部分持有的拓荆科技股票，产生税后净收益约 3.97 亿元。期末公司合同负债达 28.53亿元，存货达 72.59 亿元，显示公司在手订单饱满。2025 年营收同比增长 36.62%，归母净利润同比增长 30.69%。公司 2025 年实现营收123.85 亿元(YoY +36.62%)，归母净利润21.11 亿元(YoY +30.69%)，扣非归母净利润 15.50 亿元(YoY +11.64%)，综合毛利率 39.17%(YoY-1.89pp)。公司刻蚀设备实现收入 98.32 亿元(YoY +35.12%)，覆盖从 65nm到 3nm 及更先进工艺的刻蚀应用，刻蚀设备全球累计出货超 6800 台。薄膜设备实现收入 5.06 亿元，同比增长 224.23%，LPCVD 设备累计出货量突破 300个反应台。25 年薄膜设备新签订单约 7.56 亿元，同比增长约 59%。MOCVD 设备方面，开发出用于 SiC 和 GaN 功率器件、Micro LED 等领域的新产品。高端刻蚀设备全面导入应用，先进薄膜设备运付量快速增长。先进存储中，公司超高深宽比刻蚀机已有 300 多台反应器实现稳定量产，下一代 90:1 超高深宽比低温 CCP 刻蚀设备已运付客户端进行验证。第二代 ICP 刻蚀设备在3D DRAM 应用中取得 140:1 高深宽刻蚀结果和形貌控制能力，并付运到国内领先存储客户端认证。全新化学气相刻蚀设备实现大于 700:1 的业界领先SiGe/Si 的高选择比，在 GAA 和 3D DRAM 关键工艺的实验室验证中，全面满足客户的各项工艺指标要求。薄膜设备方面，公司减压 EPI 设备已在成熟制程客户端验证成功，并已付运至先进制程客户；常压外延设备现已完成开发，进入晶圆验证阶段。目前公司累计已有超 8300 个反应台在国内外 180 余条芯片及 LED 生产线全面量产。投资建议：国内半导体先进设备公司，维持“优于大市”评级。国内半导体设备需求旺盛，公司平台化发展优势有望逐步体现，我们预计公司 2026-2028年营业收入 158.70/207.00/267.93 亿元（26-27 年前值 151.32/193.33 亿元），归母净利润 30.47/39.22/49.22 亿元（26-27 年前值 31.38/39.86 亿元），当前对应 PE 分别为 77/60/48 倍，维持“优于大市”评级。风险提示：下游晶圆制造产能扩充不及预期风险，新产品开发不及预期风险，国际关系波动和地缘政治风险等。盈利预测和财务指标202420252026E2027E2028E营业收入(百万元)9,06512,38515,87020,70026,792(+/-%)44.7%36.6%28.1%30.4%29.4%净利润(百万元)16162111304739224921(+/-%)-9.5%30.7%44.3%28.7%25.5%每股收益（元）2.603.374.876.267.86EBITMargin13.0%9.2%12.8%13.9%14.9%净资产收益率（ROE）8.2%9.3%12.0%13.5%14.7%市盈率（PE）145.0111.677.360.147.9EV/EBITDA168.9163.695.266.349.1市净率（PB）11.8710.389.268.137.05资料来源：Wind、国信证券经济研究所预测注：摊薄每股收益按最新总股本计算请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告2图1：公司营业收入及增速（亿元，%）图2：公司分季度营业收入及增速（亿元，%）资料来源：公司公告、Wind、国信证券经济研究所整理资料来源：公司公告、Wind、国信证券经济研究所整理图5：公司毛利率和净利率（%）图6：公司期间费用率（%）资料来源：Wind，国信证券经济研究所整理资料来源：Wind，国信证券经济研究所整理图3：公司归母净利润及增速（亿元，%）图4：公司分季度归母净利润及增速（亿元，%）资料来源：Wind，国信证券经济研究所整理资料来源：Wind，国信证券经济研究所整理请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告3财务预测与估值资产负债表（百万元）202420252026E2027E2028E利润表（百万元）202420252026E2027E2028E现金及现金等价物776279517601930611105营业收入906512385158702070026792应收款项14562137279635154631营业成本5343753494831235515969存货净额7039717010761958511124营业税金及附加31685787119其他流动资产796884113314771912销售费用479499555600670流动资产合计1790118934230822467429564管理费用618666