半导体设备行业系列研究十一：双重扩产红利，国产装备迎来黄金时代

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 29 [Table_Page] 行业专题研究|机械设备 2020 年 3 月 9 日 证券研究报告 [Table_C ontacter] 本报告联系人： [Table_Title] 半导体设备行业系列研究十一 双重扩产红利，国产装备迎来黄金时代 [Table_Author] 分析师： 周静 分析师： 罗立波 分析师： 许兴军 SAC 执证号：S0260519090001 SAC 执证号：S0260513050002 SAC 执证号：S0260514050002 021-60750636 021-60750636 021-60750532 zhoujing@gf.com.cn luolibo@gf.com.cn xuxingjun@gf.com.cn 分析师： 代川 SAC 执证号：S0260517080007 SFC CE.no: BOS186 021-60750615 daichuan@gf.com.cn 请注意，周静,罗立波,许兴军并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 [Table_Summary] 核心观点：  全球半导体设备行业开始复苏。根据 SEMI， 2020 年 1 月北美半导体设备制造商出货金额 20.45 亿美元，同比增长 22.9%。其中逻辑晶圆厂商投资积极，是带动此轮全球半导体设备行业进入新一轮增长期的主要动力。海外半导体设备巨头迎来业绩向上拐点，包括 ASML、科天半导体、泰瑞达、东京电子等 19Q4 收入均实现环比及同比正增长，同时毛利率迎来回升，主要是逻辑客户需求带动，而存储器客户需求有企稳现象。  国内半导体设备：充分受益逻辑厂与存储器厂积极扩产。一方面，下游需求旺盛叠加国产化趋势，国内晶圆代工市场景气上行，产能利用率攀升，推动代工厂积极扩产。当前国内晶圆代工厂呈现先进与成熟工艺扩产并行的状态，为国产状态发展提供了充分的空间。另一方面，当前中国存储器产业面临重大机遇，促使国内存储器厂商积极进行工艺研发与产能建设，长期性与规模性的下游投资将对国产装备创造极佳的成长环境，其中长江存储与合肥长鑫都将在 2020 年进入积极的产能爬坡期，预期将促使设备需求大幅增长。  产能利用率攀升，代工厂资本开支强劲。根据中芯国际季度报告，2019Q4 公司产能利用率达 98.8%。为顺应市场需求，中芯国际将启动新一轮资本支出计划，根据中芯国际 19Q4 报告，2020 年公司资本开支计划 31 亿美元。此外，华虹半导体产能利用率从 2019Q1 的 87.3%提升至 2019Q3 的 96.5%。当前下游扩产晶圆厂形成了良好梯队，为国产装备提供了充分的发展舞台。根据中国招标网，截止 2020 年 2 月，华力集成（28nm）国产化率 7.0%、华虹无锡（90-65nm）国产化率 23.7%、积塔半导体（8 寸）国产化率 34.4%。  契合全球产能转移趋势，国内存储器厂积极扩产。根据集邦咨询数据，19 年 Q4 长江存储产能 2 万片/月（12英寸），2020 年底有望扩产至 7 万片/月；合肥长鑫目前产能已达到 2 万片/月，预计 2020 年第一季度末达到 4万片/月。我们测算 2020-2022 年本土存储器厂设备投资分别为 291.9 亿元/519.7 亿元/860.4 亿元，分别同比增长 231%/78%/66%。根据中国招标网，截止 2020 年 2 月长江存储主要设备国产化率总体为 7.1%，其中 2020年前两个月国产装备中标比例达到 14.3%，提升显著。  投资建议：国内半导体设备将充分受益逻辑厂与存储器厂积极扩产。建议关注国内从事半导体设备优质厂商：北方华创（电子小组覆盖）、中微公司*、至纯科技、芯源微*、盛美半导体（ACMR.O）、华兴源创*、晶盛机电（与广发电新小组联合覆盖）。（标*表示与广发电子小组联合覆盖）  风险提示：行业投资波动带来的收入不确定性；行业竞争加剧导致毛利率下滑；技术研发及国产化趋势推进不及预期；国家产业扶持政策变化或扶持力度不及预期。 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 29 [Table_PageText] 行业专题研究|机械设备 重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 货币 最新 最近 评级 合理价值 EPS(元) PE(x) EV/EBITDA(x) ROE(%) 收盘价 报告日期 （元/股） 2019E 2020E 2019E 2020E 2019E 2020E 2019E 2020E 中微公司 688012 CNY 152.73 2019/11/26 买入 74.7 0.37 0.51 412.8 299.5 191.57 100.4 5.1 6.7 华兴源创 688001 CNY 46.25 2019/6/21 - - 0.75 1.00 61.7 46.3 - - 13.5 15.4 北方华创 002371 CNY 133.72 2020/3/5 买入 136.2 0.63 0.99 212.3 135.1 109.93 98.16 5.3 7.7 芯源微 688037 CNY 105.43 2019/12/6 - - 0.33 0.50 319.5 210.9 - - 3.7 5.3 晶盛机电 300316 CNY 23.38 2020/2/28 买入 24.52 0.49 0.82 47.7 28.5 42.1 26.35 13.5 18.3 至纯科技 603690 CNY 35.06 2020/2/23 买入 57.50 0.46 0.97 76.2 36.1 40.91 23.44 8.3 14.9 数据来源：Wind、广发证券发展研究中心 备注：表中估值指标按照最新收盘价计算。 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 29 [Table_PageText] 行业专题研究|机械设备 目录索引 一、国内半导体设备：受益逻辑厂与存储器厂积极扩产 .................................................... 5 （一）全球半导体设备行业开始复苏 ......................................................................... 5 （二）全球：逻辑厂投资是增长主力，海外设备巨头迎来业绩拐点 .......................... 6 （三）国内：充分受益逻辑厂与存储器厂积极扩产，国产装备加速发展 .................. 9 二、产能利用率攀升，代工厂资本开支强劲...............................