国产半导体真空泵龙头，技术壁垒深厚，为“专精特新”小巨人

请务必阅读最后股票评级说明和免责声明1中科仪（920186.BJ）国产半导体真空泵龙头，技术壁垒深厚，为“专精特新”小巨人2026 年 4 月 28 日公司研究/新股覆盖研究市场数据：收盘价（元/股）：-总股本（亿股）：1.72流通股本（亿股）：-流通市值（亿元）：-基础数据：2025 年 12 月 31 日每股净资产（元/股）：14.40每股资本公积（元/股）：2.07每股未分配利润（元/股）：10.52资料来源：wind分析师：盖斌赫执业登记编码：S0760522050003邮箱：gaibinhe@sxzq.com投资要点：中科仪是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务涵盖干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。公司起源于 20 世纪 50 年代中国科学院下属真空科研单位，实际控制人为中国科学院控股有限公司，国家集成电路产业投资基金为公司第二大股东。干式真空泵为公司主要收入来源，主要客户覆盖长江存储、长鑫科技、中芯国际、北方华创、隆基绿能等头部企业。干式真空泵行业受半导体、光伏及大科学装置需求拉动，国产替代加速，市场空间持续扩大。全球集成电路市场规模预计 2026 年将增至 8,743 亿美元，中国大陆半导体设备市场已连续四年成为全球最大市场，2024 年市场规模达495.5 亿美元。据测算，2024 年全球集成电路领域干式真空泵需求约 12.57万台，市场规模约 125.74 亿元；中国大陆需求约 5.21 万台，市场规模约 52.11亿元。光伏产业在"双碳"目标驱动下中长期向好，2024 年我国光伏新增装机277.57GW。全球干式真空泵市场长期由英国 Edwards、日本 Ebara 等外资巨头垄断，但国产厂商正加速追赶。此外，我国科研经费投入持续高速增长，2024 年全社会研发投入达 36,130 亿元，国家重大科技基础设施建设进入快速发展期，为真空科学仪器带来巨大市场需求。中科仪是国内半导体真空装备龙头，具备显著的技术积淀与市场竞争优势。公司是国内唯一在集成电路先进制程实现干式真空泵批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，产品满足 14nm 先进逻辑芯片及 128 层以上 3DNAND 存储器工艺需求，已在中芯国际、长江存储、台积电、SK 海力士等国内外领先企业实现大批量应用或小批量出货，打破欧美及日本企业长期垄断。公司拥有真空技术装备国家工程研究中心等三个国家级研发平台，构建了包含 1500 多项生产工艺的应用方案数据库，集成电路领域干式真空泵出货量超 3 万台。公司已形成沈阳、南通双基地架构，2025 年产能达 10,000 台，募投项目达产后总产能将达 2.65万台。同时，公司是国内具备整合 SUBFAB 全类型设备数据能力的龙头企业，客户验证周期长、门槛高所形成的客户资源壁垒显著，全方位服务体系与高素质人才团队支撑公司持续发展。估值分析和投资建议：公司是国内半导体真空装备龙头，唯一实现先进制程批量应用的国产企业。公司近三年营业收入持续稳步增长，2023-2025 年营业务收入分别为 8.52、10.82、12.91 亿元，复合增长率达 22.75%，主要得益于公司产品市场竞争力较强叠加行业发展景气，干式真空泵产品销量快速增公司研究/新股覆盖研究请务必阅读最后股票评级说明和免责声明2长。扣非后归母净利润分别为 0.73、0.88、1.03 亿元，持续增长。公司可比公司中拓荆科技、华海清科、北方华创、中微公司、芯源微、京仪装备 2025年 PE/2025 年 PE（扣非后）分别为 118.17/未披露、62.06/69.71、59.12/61.18、91.71/124.95、497.14/-1971.03、123.62/158.72 倍，均值为 84.13/114.95 倍。公司发行后股本为 23,383.91 万股，发行价对应发行后市值为 36.28 亿元，对应 2025 年 PE/2025 年 PE（扣非后）为 4.30/35.23 倍，相较于可比具备较大的折价。风险提示：技术和产品研发风险；市场竞争加剧的风险；国际贸易摩擦的风险；持有上市公司股份股价波动造成的经营业绩波动风险；经营业绩下滑的风险；产品尚未覆盖部分先进制程中等、苛刻工艺环节产生的风险；存货跌价风险。财务数据与估值：会计年度2022202320242025营业收入(百万元)698.09851.791,082.291,291.21YoY(%)55.1922.0227.0619.30净利润(百万元)497.88600.37192.77843.87YoY(%)656.7820.59-67.89337.77毛利率(%)28.6633.0229.4426.78EPS(摊薄/元)2.222.680.863.77ROE(%)60.7945.2912.1040.85净利率(%)71.3470.4917.8165.35资料来源：wind，山西证券研究所公司研究/新股覆盖研究请务必阅读最后股票评级说明和免责声明3目录1. 估值分析........................................................................................................................................................................... 52. 中科仪：国内尖端科学仪器设备及真空技术的领军者...............................................................................................83. 国内半导体真空装备龙头，唯一实现先进制程批量应用的国产企业.....................................................................124. 募集资金运用情况......................................................................................................................................................... 145. 行业受半导体、光伏及大科学装置需求拉动，国产替代加速，市场空间持续扩大.............................................156. 风险提示......................................................................................................................................................................... 19图表目录图 1： 公司与可比公司营收情况（亿元）...........