半导体干式真空泵国产替代龙头，募投产能释放与技术迭代共驱成长

证券研究报告·新股研究报告·其他通用设备制造业 东吴证券研究所 1/22 请务必阅读正文之后的免责声明部分 中科仪（920186） 半导体干式真空泵国产替代龙头，募投产能释放与技术迭代共驱成长 2026 年 04 月 24 日 证券分析师 朱洁羽 执业证书：S0600520090004 zhujieyu@dwzq.com.cn 证券分析师 易申申 执业证书：S0600522100003 yishsh@dwzq.com.cn 证券分析师 余慧勇 执业证书：S0600524080003 yuhy@dwzq.com.cn 研究助理 武阿兰 执业证书：S0600124070018 wual@dwzq.com.cn 研究助理 陈哲晓 执业证书：S0600124080015 sh_chenzhx@dwzq.com.cn 基础数据 每股净资产(元,LF) 14.40 资产负债率(%,LF) 34.17 总股本(百万股) 171.84 流通 A 股(百万股) 0.00 投资评级（暂无） [Table_Tag] [Table_Summary] 投资要点 ◼ 中科仪：国内干式真空泵集成电路领域出货量最大，唯一实现先进制程批量应用的国产企业。中科仪作为中国科学院下属企业，长期专注于洁净与超高真空技术研发，是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器供应商。公司干式真空泵已满足 14nm 逻辑芯片及 128 层以上 3D NAND工艺要求，在国内主流晶圆厂批量应用，出货量居国产厂商首位，并进入台积电、SK 海力士等知名厂商供应链；同时为北京正负电子对撞机、上海光源等 11 项国家重大科技基础设施提供关键真空组件，在科研级MBE 设备领域保持领先地位。公司产品广泛应用于半导体、光伏、科研等领域，具备自主可控的全链条制造能力。 ◼ 国家战略支持叠加自主化加速，半导体零部件及科学仪器领域前景广阔。在半导体产业自主化与清洁能源转型驱动下，干式真空泵作为集成电路及光伏制造核心设备，迎来国产替代与市场扩容双重机遇。1）集成电路领域：2024 年全球市场规模达 125.74 亿元，中国大陆达 52.11 亿元，受益于先进制程扩产与国产设备导入。2）光伏领域：2024 年中国市场规模约 47.0-57.2 亿元，晶硅电池生产中晶体生长与电池片制造工序形成稳定需求，受新增装机高增长及技术迭代带动设备更新。 ◼ 自主核心技术与先进制程批量应用优势，受益半导体设备国产替代红利。1）多领域产品矩阵：形成了以高端干式真空泵为核心、多品类协同的产品体系，其中，干式真空泵产品主要为罗茨干泵，广泛支持国内外主流设备厂商机台；真空薄膜仪器设备产品主要包括 PVD、CVD 设备，主要面向高等院校、科研院所等科研机构进行薄膜材料的研究与小批量制备；并向高能物理大科学装置提供前端区、光束线、波荡器、真空互联及传输系统等关键部件。2）行业领先地位：牵头或参与编制 13项国家、行业与团体标准，2024 年公司在集成电路领域干式真空泵收入达 6.63 亿元，测算国内市场占有率约 12.72%，为国产厂商中最高。产品已大批量导入国内知名半导体设备厂商及光伏厂商，经过长期产线运行验证，具备高可靠性与工艺适配能力。3）募投项目赋能成长：募投项目建成后将形成年产 2 万台干式真空泵的生产能力，实现物流移动50%自动化，90%以上加工产线的自动化及智能化；并建设高端半导体设备生产、研发及配套设施，布局集成泵组系统与大尺寸分子束外延设备，丰富产品矩阵。 ◼ 风险提示：1）市场竞争加剧；2）国际贸易摩擦；3）持有上市公司股份股价波动。4）新股价格波动较大。 请务必阅读正文之后的免责声明部分 新股研究报告 东吴证券研究所 2/22 内容目录 1. 中科仪：深耕洁净与超高真空技术，中国半导体核心部件及大科学装置关键设备领先者 ...... 4 1.1. 数十年行业积累沉淀，助力国家战略新兴产业发展和重大科技创新体系建设................. 4 1.2. 专注干式真空泵与真空科学仪器设备研发制造，产品工艺获国内领先技术认证............. 7 1.3. 营收体量稳步增长，业绩波动主要受下游产业景气度与研发创新影响............................. 7 2. 国家战略支持叠加自主化加速，半导体零部件及科学仪器领域前景广阔 ................................ 10 2.1. 干式真空泵：半导体与泛半导体领域的关键部件............................................................... 10 2.2. 下游产业扩张与自主化加速，全球集成电路干式真空泵市场持续扩容........................... 13 2.3. 国际厂商主导且技术壁垒高，国产替代在集成电路领域加速推进................................... 15 3. 自主核心技术与先进制程批量应用优势，受益半导体设备国产替代红利 ................................ 17 3.1. 多领域产品矩阵与平台化研发能力突出，顺应半导体及泛工业真空需求增长浪潮....... 17 3.2. 核心技术经先进制程批量验证，形成国产替代领先壁垒................................................... 19 3.3. 集成电路与光伏需求双轮驱动，充分受益于国产替代与市场扩容双重机遇................... 20 4. 风险提示 ............................................................................................................................................ 21 请务必阅读正文之后的免责声明部分 新股研究报告 东吴证券研究所 3/22 图表目录 图 1： 公司主营业务发展历程............................................................................................................... 4 图 2： 公司重要发展阶段介绍............................................................................................................... 5 图 3： 公司股权结构（截至 2026 年 4 月 10 日）............................................................................... 6 图 4： 公司核心管理成员................