半导体设备行业国产替代趋势月度跟踪：5月气液系统招标量居多，清洗设备国产化中标比例领先

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 24 [Table_Page] 深度分析|半导体 证券研究报告 [Table_Title] 半导体设备国产替代趋势月度跟踪 5 月气液系统招标量居多，清洗设备国产化中标比例领先 [Table_Summary] 核心观点： ⚫ 5 月合计 39 项招标，以华虹、积塔、中芯国际招标为主，招标设备主要包括气液系统、测试机、量测设备等品类。根据采招网的数据，2024年 5 月，统计样本中的晶圆产线合计产生 39 项招标。以华虹半导体、积塔半导体、中芯国际等产线招标为主。招标设备主要包括气液系统、测试机、量测等品类。2024 年 1-5 月，统计样本中的晶圆产线合计招标 243 项，其中，华虹半导体、积塔半导体、燕东科技的招标量位居前三。整体而言，设备招标以量测、测试机、刻蚀为主。 ⚫ 5 月合计 15 项中标，以测试机、炉管、探针台设备居多，国产设备整体中标比例约 7%，清洗设备的国产中标比例显著。中标方面，根据采招网的数据，2024 年 5 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标 15 台设备，以测试机、炉管、探针台设备居多；国产设备整体中标比例约7%，其中，清洗设备的国产中标比例显著。2024 年 1-5 月，统计样本中的晶圆产线合计中标 679 台设备，以气液系统、扩散、探针台设备居多；国产设备整体中标比例约 30%，其中，去胶、气液系统、检测设备的国产中标比例较高。 ⚫ 1-5 月统计样本中的国内设备厂商共中标 39 台设备，以屹唐半导体、上海微电子、北方华创中标量领先，在对应工艺环节的中标比例为13%。根据采招网的数据，2024 年 5 月，芯源微中标 1 台清洗设备，在对应工艺环节的中标比例为 100%。2024 年 1-5 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标 39 台设备，屹唐半导体、上海微电子、北方华创中标量领先。2024 年 1-5 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为 13%。其中，屹唐半导体的去胶设备、上海微电子的检测设备、北方华创的炉管设备在对应工艺环节的中标比例领先，分别为 85%/48%/25%。 ⚫ 投资建议：在本土晶圆产能持续扩张、半导体制造技术迭代升级和国产替代加速突破的趋势下，国内半导体设备市场持续扩容。国产半导体设备厂商依托公司自身的产品竞争力、持续拓展的可服务市场空间和品类扩张能力，有望持续受益于设备市场规模的扩张和国产替代进程的深入，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、中微公司*、华海清科、盛美上海*、拓荆科技、中科飞测、万业企业、芯源微、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖） ⚫ 风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。 [Table_Grade] 行业评级 买入 前次评级 买入 报告日期 2024-07-25 [Table_PicQuote] 相对市场表现 [Table_Author] 分析师： 王亮 SAC 执证号：S0260519060001 SFC CE No. BFS478 021-38003658 gfwangliang@gf.com.cn 分析师： 耿正 SAC 执证号：S0260520090002 021-38003660 gengzheng@gf.com.cn 分析师： 焦鼎 SAC 执证号：S0260522120003 021-38003658 jiaoding@gf.com.cn 请注意，耿正,焦鼎并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 [Table_DocReport] 相关研究： 半导体设备国产替代趋势月度跟踪:4 月测试机招标量居多，去胶和炉管设备国产化中标比例领先 2024-07-03 “AI 的裂变时刻”系列 12:从数据中心 TCO 角度看，GB200 NVL72 性价比显著 2024-06-20 半导体设备国产替代趋势月度跟踪:3 月设备招标环比增长显著，国产设备中标比例快速提升 2024-05-23 [Table_Contacts] -34%-25%-16%-8%1%10%07/2310/2312/2302/2405/2407/24半导体沪深300 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 24 [Table_PageText] 深度分析|半导体 [Table_impcom] 重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 货币 最新 最近 评级 合理价值 EPS(元) PE(x) EV/EBITDA (x) ROE(%) 收盘价 报告日期 （元/股） 2024E 2025E 2024E 2025E 2024E 2025E 2024E 2025E 北方华创 002371.SZ CNY 332.49 2024/07/11 买入 416.96 11.02 15.09 30.17 22.03 23.89 17.79 19.60 21.20 华海清科 688120.SH CNY 133.63 2024/07/15 买入 167.66 4.19 5.35 31.89 24.98 27.87 21.50 15.50 16.50 拓荆科技 688072.SH CNY 121.30 2024/04/30 买入 331.66 4.28 6.10 28.34 19.89 36.70 27.34 15.00 17.60 中微公司 688012.SH CNY 145.70 2024/05/10 买入 222.62 3.26 4.18 44.69 34.86 56.54 47.85 10.30 11.70 盛美上海 688082.SH CNY 87.00 2024/03/01 买入 145.74 2.83 3.72 30.74 23.39 24.96 18.92 16.00 17.30 中科飞测 688361.SH CNY 48.50 2024/04/30 买入 94.88 0.61 0.90 79.51 53.89 65.49 46.75 7.50 9.80 数据来源：Wind、广发证券发展研究中心 备注：数据更新至 2024 年 7 月 25 日。 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 24 [Table_PageText] 深度分析|半导体 目录索引 一、晶圆扩产与国产替代驱动，设备市场空间广阔 ............................................................ 5 二、5 月气液系统招标量居多，清洗设备国产化中标比例领先 ..................................