半导体行业跟踪报告之十：半导体空气过滤器壁垒深厚，美埃科技具备全球竞争力

证券研究报告 半导体空气过滤器壁垒深厚，美埃科技具备全球竞争力 2024年3月6日 作者： 刘凯 执业证书编号：S0930517100002 — — 半 导 体 行 业 跟 踪 报 告 之 十 请务必参阅正文之后的重要声明 核心核心观点观点 2 空气过滤器行业市场空间广阔，半导体市场壁垒深厚。根据中研网数据，预计2025年我国空气过滤器行业市场规模会达到150亿元（以 8%的增长率测算）。在洁净室过滤器领域，主要厂商包括爱美克AAF、康菲尔Camfil、美埃科技等。洁净室指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需求进行控制的密闭性较好的空间，按照特定的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。污染敏感零件的批量生产需要在洁净室中完成。洁净室需使用风机过滤单元（FFU）进行空气过滤以及高架地板进行空气循环。空气中的微粒浓度越低，洁净室的洁净度越高。芯片制造的全产业链从高端半导体制造、IC 制 造、封装测试等各环节都离不开极高洁净度空气的环境保障。空气洁净技术是半导体产业发展的重要基石和保障。随着芯片领域的技术不断突破和升级，晶圆加工的生产环境及核心设备光刻机的运行环境对空气洁净度有着极高的要求，这也对空气净化设备厂商提出了极高的要求。 美埃科技：中国半导体空气过滤器龙头具备全球竞争力。美埃科技成立于2001 年，二十余年以来始终聚焦于半导体、生物制药、公共医疗卫生等领域的工业级超洁净技术的研发和应用，并将这一技术进一步转化应用于商用人居和工业除尘及 VOCs 治理等细分市场。公司专利数量、产品参数、品牌声誉、市占率水平均领先国产厂商、对标海外龙头。公司立足于中国市场，不断向东南亚等半导体新兴产业区域布局，目前已经拥有 7 个境内生产基地和2 个境外生产基地，客户覆盖中芯国际、 ST Microelectronics 等国内外半导体龙头厂商。2021 年底，公司获国家级专精特新“小巨人”企业称号，成为国内电子半导体洁净室设备龙头。 美埃科技在国内外半导体客户获得全面突破。公司以 20 多年积累的研发技术实力和客户专业工艺制程应用经验，为半导体洁净室客户提供针对性解决方案。公司自 2002 年起进入半导体洁净室领域， 2006 年至今为中芯国际(688981.SH)成都、武汉、上海、北京、天津、深圳、 宁波、江阴、绍兴等工厂供应 FFU、高效/超高效过滤器、化学过滤器等产品， 用于保障中芯国际系的历代产品线(包括中芯国际最先进的 14nm 和 28nm 制程) 对空气洁净度的要求。同时，公司为开发国内首台 28 纳米光刻设备的上海微电 子装备(集团)股份有限公司所需的光刻机机台内国际最高洁净等级标准(ISO Class 1 级)洁净环境提供 EFU(超薄型设备端自带风机过滤机组)及 ULPA(超 高效过滤器)等产品，亦已验收合格，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。 此外，在海外市场，公司系 Intel、ST Microelectronics 等国际半导体厂商的合格 供应商，为其提供空气净化产品。 投资建议：半导体过滤器行业建议关注美埃科技。根据WIND一致预期，美埃科技2024-2025年净利润2.38、3.01亿元，2024年3月5日公司市值45亿元，对应2024-2025年PE为19x、15x。 风险分析：半导体下游需求不及预期、中美贸易摩擦反复、技术进展不及预期风险。 请务必参阅正文之后的重要声明 3 1、什么是空气过滤器、化学过滤器、风机过滤单元 2、空气过滤器行业市场广阔，美埃科技半导体领域积淀深厚 3、美埃科技：中国半导体空气过滤器龙头具备全球竞争力 4、投资建议：半导体过滤器行业关注美埃科技 5、风险提示 请务必参阅正文之后的重要声明 4  空气过滤器：空气过滤器是通过多孔过滤材料的作用从气固两相流中捕集粉尘，并 使气体得以净化的设备。它把含尘量低的空气净化处理后送入室内， 以保证洁净室的工艺要求和一般空调房间内的空气洁净度。根据 GB/T14295-2019《空气过滤器》、GB/T 6165-2008《高效空气过滤器性能试验方法效率和阻力》及 GB/T13554-2020《高效空气过滤 器》，空气过滤器按过滤效率分为 6 大类，即初效过滤器、中效过滤 器、高中效过滤器、亚高效过滤器、高效过滤器及超高效过滤器。 其中，初效过滤器对标准人工尘计重效率不低于 10%或对粒径 2.0 微 米以上尘埃粒子过滤效率不低于 20%，相当于欧洲标准 G1~G4;中效、 高中效及亚高效过滤器对粒径 0.5 微米以上的尘埃粒子过滤效率介于 20%至 99.9%之间，分别相当于欧洲标准 M5~M6、F7~F8、F9~E11; 高效过滤器对粒径 0.3 微米以上粒子的过滤效率不低于 99.95%，相当 于欧洲标准 E12~H14;超高效过滤器对粒径 0.1 微米以上粒子的过滤 效率不低于 99.999%，相当于欧洲标准 U15-U17。  HEPA/高效空气过滤器：High Efficiency Particulate Air Filter，指在额定风量下，对粒径大于或等于0.3微米粒子的捕集效率在99.95%以上的空气过滤器。  ULPA/超高效空气过滤器：Ultra Low Penetration Air Filter，指在额定风量下，对粒径大于或等于0.1微米粒子的捕集效率在 99.999%以上的空气过滤器。  初效过滤器：一般用于空调系统的初级过滤，主要用于过滤粒径 2 微米 以上尘埃粒子。初效过滤器有板式、折叠式、袋式等样式。初效过滤器一般具有容尘量高、阻力较小、经济适用等特点。  中效过滤器：一般指过滤效率介于初效和高效之间的空气过滤器，主要 用于过滤粒径 0.5 微米以上尘埃粒子。中效过滤器有板式、袋式、箱式等样式，一般根据净化系统的过滤效率、容尘量及阻力要求，与初效及高效过滤器搭配使用。  PTFE高效过滤器：使用聚四氟乙烯（Poly Tetra Fluoroethylene）作为滤材的高效过滤器，较普通材质的高效过滤器具有高效率低阻力的特点。  化学过滤器：用于过滤空气中的 AMC、VOCs 等气态污染物的过滤器，较常用的滤材为活性炭。  FFU：风机过滤单元（Fan Filter Unit），是一种自带动力的送风过滤装置，是具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机过滤单元从顶部将空气吸入并经 HEPA 或 ULPA 过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以 稳定的速度均匀送出。  EFU：设备端风机过滤单元（Equipment Fan Filter Unit），即应用于设备端， 具有过滤功效的模块化的送风装置。相较于 FFU，EFU 体积及厚度均较小，便于安装并可随设备一起移动，主要用于洁净室中局部高等级 净化区域设备，如洁净工作台、风淋室等。 请务必参阅正文之后的重要声明 5  风机过滤单元（FFU）广泛应用于半导体、生物制药、食品加工等行业的洁净厂房及 洁净室中，是洁净室空气净化的关键设备。该设备主要用于洁净室的吊顶或洁净 区域的上方或侧面，搭配或内置高效/超高效过滤器，提供稳定的洁净气流，