中微公司(688012)扩产重启叠加份额提升，展望刻蚀设备订单高增

丨公司深度丨中微公司（688012.SH） [Table_Title] 中微公司：扩产重启叠加份额提升，展望刻蚀设备订单高增 %%%%%%%%research.95579.com1 请阅读最后评级说明和重要声明 2 / 35 丨证券研究报告丨 报告要点 [Table_Summary]公司为国产半导体刻蚀设备龙头，刻蚀设备从 CCP 向 ICP 工艺设备拓展，并持续验证更多刻蚀工艺，可触达的市场空间持续提升。随着国内头部晶圆厂扩产重启，且加快推动设备的国产替代，公司有望迎来订单增长与份额突破的双击。此外，公司积极拓展薄膜沉积设备、检测设备等新产品，布局更为多元化，有望复刻国际巨头发展之路。 分析师及联系人 [Table_Author] 赵智勇 杨洋 倪蕤 SAC：S0490517110001 SAC：S0490517070012 SAC：S0490520030003 王泽罡 SAC：S0490521120001 %%%%%%%%research.95579.com2 请阅读最后评级说明和重要声明 丨证券研究报告丨 更多研报请访问 长江研究小程序 中微公司（688012.SH） cjzqdt11111 [Table_Title2] 中微公司：扩产重启叠加份额提升，展望刻蚀设备订单高增 联合研究丨公司深度 [Table_Rank] 投资评级 买入丨维持 [Table_Summary2] 中微公司系刻蚀设备国产化龙头，近年营收业绩主要由刻蚀设备带动 公司专注于高端半导体设备和泛半导体设备的研发、生产和销售，MOCVD 设备产品于 2017年取得突破，并成为公司主要的收入来源。2018 年中微公司在全球氮化镓基 LED MOCVD 设备市场开始占据领先地位。公司核心业务刻蚀设备在主营业务中的占比逐渐提升。2019 年 LED行业供给过剩，MOCVD 设备需求下滑，而刻蚀设备开始快速放量，2019 年营收超过 MOCVD，逐步成为公司主要收入来源。公司 MOCVD 设备也做到全球领先，近年来传统照明 LED 用MOCVD 市场需求放缓，因此公司蓄力功率和新型显示新应用，用于碳化硅功率器件外延生产的设备正在开发中，即将开展在客户端的验证测试，下一代用于氮化镓功率器件制造的MOCVD 设备及制造 Micro-LED 应用的新型 MOCVD 设备也正在按计划开发中。 等离子体刻蚀设备在产线上价值占比最大，且随着工艺进步占比提升 等离子体刻蚀设备越来越成为关键制约设备，也成为十大类关键设备市场最大的一类。根据Gartner 和公司相关数据，刻蚀设备占晶圆制造设备价值量约 22%，价值量占比排名第一。随着工艺越来越先进，刻蚀步骤数越多，对刻蚀设备的需求也就越多，刻蚀设备在产线中的价值占比也越大。先进逻辑芯片中的多重曝光工艺与 3D NAND 中堆叠层数的增加也均对刻蚀设备依赖较高。中国大陆市场方面，晶圆厂扩产重启，也带动对刻蚀设备需求。 扩产重启叠加份额提升，公司刻蚀设备具备较高增长弹性 当前半导体设备国产化需求强烈，公司依靠从 CCP 向 ICP 刻蚀设备拓展以及通过验证的刻蚀工艺数量增加，有望在本轮扩产的大陆晶圆厂取得较高的份额。在技术要求最高、市场占有率最大的大马士革刻蚀工艺与高深宽比刻蚀工艺中，公司有望取得突破并实现国产化替代。CCP、ICP 刻蚀设备平分 95%的刻蚀设备市场，公司早期专注 CCP 刻蚀设备突破，近年来 ICP 刻蚀设备也成功得到客户认可，在超过 20 个客户的逻辑、DRAM 和 3D NAND 等器件的生产线上进行超过 100 多个 ICP 刻蚀工艺的量产。扩产落地叠加份额提升，公司预计在中国大陆先进逻辑、存储产线取得较高份额，份额增长弹性充足，有望推动公司订单迎来爆发。 自研+控股形成平台化布局，复刻全球龙头成功之路 国外龙头刻蚀设备公司除刻蚀设备外，在集成电路制造的其他环节也有布局且实力较强，而中微公司在业务布局上与国外龙头公司仍有较大差距。公司积极通过自研+投资形成平台化布局：开发了 LPCVD、ALD、EPI、晶圆边缘 Bevel 刻蚀设备等多个新产品；通过股权投资完成 PVD、检测设备的布局，逐步成长为更多元的半导体设备公司。 预计 2023-2025 年实现营业收入 62.6/82.1/105.0 亿元，实现归母净利润 17.79/19.07/24.28 亿元，对应 PE 43/40/32 倍，给予“买入”评级。 风险提示 1、限制政策进一步加剧风险； 2、半导体制造端景气度恢复不及预期风险； 3、公司刻蚀设备新工艺验证进度不达预期风险； 4、盈利预测假设不成立或不及预期的风险。 公司基础数据 [Table_BaseData]当前股价(元) 123.80 总股本(万股) 61,928 流通A股/B股(万股) 61,928/0 每股净资产(元) 27.39 近12月最高/最低价(元) 199.81/103.58 注：股价为 2024 年 2 月 20 日收盘价 市场表现对比图(近 12 个月) 资料来源：Wind -23%11%45%79%2023/22023/62023/102024/2中微公司沪深300指数2024-02-23%%%%%%%%research.95579.com3 请阅读最后评级说明和重要声明 4 / 35 联合研究 | 公司深度 目录 刻蚀设备国产化龙头，营收业绩稳步提升 ..................................................................................... 7 国产刻蚀设备领军者，大基金支持发展 ......................................................................................................... 7 营收净利润增长维持高位，刻蚀设备收入稳定提升 ....................................................................................... 8 扩产重启叠加份额提升，公司刻蚀设备具备较高增长弹性 ............................................................ 9 干法刻蚀是集成电路关键工艺之一，市场空间广阔 ..................................................................................... 10 先进逻辑、存储工艺中，刻蚀设备价值量占比更高 ..................................................................................... 12 中国大陆晶圆厂扩产重启，带动对刻蚀设备需求 ..............................................