机械设备行业半导体设备产业深度分析之测试设备篇：半导体测试设备国产化机遇正当时

谨请参阅尾页重要声明及华泰证券股票和行业评级标准 1 证券研究报告 行业研究/深度研究 2018年11月06日 机械设备 增持（维持） 章诚 执业证书编号：S0570515020001 研究员 021-28972071 zhangcheng@htsc.com 肖群稀 执业证书编号：S0570512070051 研究员 0755-82492802 xiaoqunxi@htsc.com 李倩倩 执业证书编号：S0570518090002 研究员 liqianqian013682@htsc.com 关东奇来 021-28972081 联系人 guandongqilai@htsc.com 黄波 0755-82493570 联系人 huangbo@htsc.com 时彧 021-28972071 联系人 shiyu013577@htsc.com 1《机械设备: 行业周报（第四十四周）》2018.11 2《机械设备: Q3 盈利增速放缓，关注投资上行板块》2018.11 3《中国中车(601766,买入): 三季报稳中向好，铁路装备投资向上》2018.10 资料来源：Wind 半导体测试设备国产化机遇正当时 半导体设备产业深度分析之测试设备篇 半导体测试设备国产化机遇正当时，建议关注本土测试设备行业龙头 我们认为，受益于国内半导体产业逆周期投资和国家战略支持，中国大陆设备市场有望在全球产业增速趋缓的背景下逆势保持高速扩张，本土设备企业将迎来重大机遇，测试设备有望成为率先实现设备国产化突破的领域之一，建议关注本土测试设备行业龙头。 半导体测试贯穿完整制造过程，测试机、分选机、探针台是其核心设备 半导体测试通常主要指半导体工艺中后道的性能测试，而广义的半导体测试还包括前道的工艺检测。测试工艺贯穿半导体设计、制造、封装与测试三大过程，是提高芯片制造水平和进行成品率管理的关键之一。测试机（ATE）是检测芯片功能和性能的专用设备，分选机和探针台是将芯片的引脚与测试机的功能模块连接起来并实现批量自动化测试的专用设备。在设计验证和成品测试（FT）中，测试机和分选机配合使用；在晶圆制造环节的硅片级测试（WET、CP）中，测试机和探针台配合使用。 全球半导体及设备产业增速虽有放缓，中国大陆设备市场正逆势扩张 据 SIA、SEMI 数据，18 年 6 月以来全球半导体销售额、北美半导体设备制造商出货金额均出现了明显的增速放缓。2018 年以来，相比于海外产业周期见顶趋势显现，全球增速最高的中国大陆半导体销售市场继续保持强劲增长，中芯国际、长江存储为代表的国内一线晶圆厂建设进度稳步推进，在 2018Q1、Q2 全球设备销售同比增速回落的背景下，中国大陆设备市场分别同比增长 31%、51%，在上年同期 26%、11%的基础上进一步显著提升。我们认为国内正处于逆周期投资的半导体产业突破关键阶段，在本土投资的大力拉动和政策支持下，国内半导体设备市场有望逆势扩张。 2019 年中国大陆设备市场或居全球之首，测试设备市场或达 108 亿元 受益于本土产业投资向上及国家战略支持，SEMI 预计 18 年中国大陆有望以 118 亿美元/yoy+44%超越中国台湾成为全球第二大半导体设备市场，19年有望以 173 亿美元/yoy+47%首次位居全球第一，18、19 年全球占比或达 19%、26%。测试设备销售额约占整个半导体市场销售额的 9%，我们预计 18、19 年中国大陆半导体测试设备市场空间约 74、108 亿元。 国产测试设备发展已具备三大机遇，或是率先实现设备国产化的领域之一目前全球半导体测试机市场仍被泰瑞达、爱德万两大海外龙头占据，探针台市场东京电子、东京精密等企业技术实力较为领先。但我们认为国产测试设备发展已具备三大机遇：1）国际 ATE 龙头技术进步及市场拓展或面临平台期；2）本土晶圆厂、封测厂发展迅速，产能从中国台湾及海外转到中国大陆的过程为本土设备创造重大崛起机会；3）下游行业进入“后手机时代”，测试需求渐趋多元化，服务贴近客户需求、以应用为中心、成本更优化的国产设备有望更受青睐。建议关注本土测试设备行业龙头。 风险提示：宏观经济下行及半导体行业周期性波动，国内芯片制造技术突破慢于预期、产业投资不及预期，国内半导体设备技术突破慢于预期。 (36)(25)(13)(2)1017-1118-0118-0318-0518-0718-09(%)机械设备沪深300一年内行业走势图 相关研究 行业评级： 行业研究/深度研究 | 2018 年 11 月 06 日 谨请参阅尾页重要声明及华泰证券股票和行业评级标准 2 正文目录 半导体测试核心设备：测试机、分选机、探针台 .............................................................. 4 测试工艺贯穿半导体生产过程，是进行成品率管理的重要途径 ................................ 4 测试机、分选机、探针台是半导体测试环节三大核心设备 ........................................ 6 半导体测试设备中国市场渐趋庞大，本土企业高速成长正当时 ........................................ 8 全球半导体及设备产业增速虽有放缓，中国大陆设备市场正逆势扩张 ..................... 8 2019 年中国大陆市场规模或居全球之首，测试设备市场或达 108 亿元 ................. 10 泰瑞达、爱德万两大巨头垄断全球市场，本土测试设备企业步入成长期 ................ 12 全球龙头启示录：把握产业发展窗口期，内生、外延多维发力 ...................................... 16 泰瑞达：雄踞全球市场的半导体测试设备国际龙头 ................................................ 16 爱德万：后来居上的全球半导体测试设备巨头 ........................................................ 20 风险提示 .................................................................................................................. 23 图表目录 图表 1： 半导体测试流程及设备示意图 ........................................................................... 4 图表 2： 晶圆制造的前道工艺检测环节设备一览 ............................................................. 4 图表 3： IC 产品的不同电学测试 ...............................