中微公司(688012)刻蚀机持续突破，平台化拓展迅速

免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。 1 证券研究报告 中微公司 (688012 CH) 刻蚀机持续突破，平台化拓展迅速 华泰研究 更新报告 投资评级(维持): 增持 目标价(人民币): 188.05 2023 年 6 月 12 日│中国内地 专用设备 半导体刻蚀机持续突破，加大布局薄膜与量测设备 我们将中微公司 23-24 年归母净利润上调至 15.1/19.9 亿元（前值为13.5/16.9 亿元），并新增 2025 年盈利预测，预计 2025 年归母净利润为 25.6亿元。上调盈利预测主要考虑到：1）公司在手订单充裕，刻蚀机市场份额不断提升；2）公司薄膜沉积、量测设备等平台化布局顺利，打开长期成长空间。由于半导体设备厂家利润逐渐兑现，摆脱了依赖高额政府补助补贴研发的阶段，因此我们改用 PE 估值，23 年可比公司 PE 为 77 倍，给予公司23 年 77 倍 PE，对应目标价 188.05 元（前值为 169.09 元），维持“增持”。 2024 年半导体设备市场规模有望回升，关注半导体去库存节奏 美国加州时间 2023 年 6 月 6 日，SEMI 在其发布的《全球半导体设备市场报告》中宣布，2023Q1 全球半导体设备出货金额达 268 亿美元，同比+9%，环比-3%。根据 SEMI 23 年 3 月预测显示，全球用于前端设施的晶圆厂设备支出预计将从 2022年 980亿美元同比下降 22%至 2023年的 760亿美元。但 2024 年，将同比增长 21%。2023 年设备市场萎缩主要系除 AI 等场景外终端需求乏力以及较高的库存导致。随着下游去库存推进，24 年半导体设备市场有望恢复增长。 半导体设备国产率仍有空间，受管制环节有望迎来突破 根据中国国际招标网显示的半导体设备中标数据推算，截至 2023 年 4 月，国内部分晶圆厂设备累计国产化率约为 16.7%，仍有较大提升空间。随着日本、美国等国家对中国的半导体设备出口管制升温，10nm-14nm 及以下先进逻辑半导体所需设备，包括清洗、薄膜沉积、热处理、光刻、刻蚀、测试等设备国产替代诉求继续加强，有望推动相关环节本土设备商产品加速验证，并取得订单。 公司刻蚀设备市占率持续提升，薄膜沉积及量测领域平台化进展顺利 2022 年公司刻蚀设备收入 31.5 亿元，同比+57.1%，MOCVD 收入 7.0 亿元，同比+39.1%，新签订单 63.2 亿元，同比+53.0%；2023Q1 公司收入12.23 亿元，同比+28.9%，保持稳健增长。公司 CCP 刻蚀机在国际最先进的 5 纳米芯片产线及下一代更先进的产线上实现多次批量销售；ICP 刻蚀机订单进展迅速；薄膜沉积方面，公司积极研发 EPI 设备，并于近日推出 12英寸 LPCVD 设备。此外，公司于 5 月 17 日与国家集成电路产业投资基金签署关于睿励科学的产权交易合同，以 5790 万元获睿励科学 6.76%股权。在巩固刻蚀设备优势同时，强化薄膜沉积与量测布局。 风险提示：半导体复苏低预期，新产品研发不及预期，国外技术管制风险。 研究员 倪正洋 SAC No. S0570522100004 SFC No. BTM566 nizhengyang@htsc.com +(86) 21 2897 2228 研究员 黄乐平，PhD SAC No. S0570521050001 SFC No. AUZ066 leping.huang@htsc.com +(852) 3658 6000 研究员 丁宁 SAC No. S0570522120003 dingning021681@htsc.com +(86) 21 2897 2228 联系人 杨云逍 SAC No. S0570123010007 yangyunxiao@htsc.com +(86) 21 2897 2228 基本数据 目标价 (人民币) 188.05 收盘价 (人民币 截至 6 月 12 日) 151.75 市值 (人民币百万) 93,812 6 个月平均日成交额 (人民币百万) 1,477 52 周价格范围 (人民币) 80.15-193.01 BVPS (人民币) 25.58 股价走势图 资料来源：Wind 经营预测指标与估值 会计年度 2021 2022 2023E 2024E 2025E 营业收入 (人民币百万) 3,108 4,740 6,230 8,091 10,375 +/-% 36.72 52.50 31.43 29.87 28.23 归属母公司净利润 (人民币百万) 1,011 1,170 1,512 1,987 2,561 +/-% 105.49 15.66 29.25 31.41 28.88 EPS (人民币，最新摊薄) 1.64 1.89 2.45 3.21 4.14 ROE (%) 7.25 7.54 8.90 10.47 11.89 PE (倍) 92.75 80.20 62.05 47.22 36.64 PB (倍) 6.73 6.06 5.52 4.94 4.35 EV EBITDA (倍) 71.26 66.81 53.95 39.28 28.45 资料来源：公司公告、华泰研究预测 (18)(9)(1)81780109137166194Jun-22Oct-22Feb-23Jun-23(%)(人民币)中微公司相对沪深300 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。 2 中微公司 (688012 CH) 公司是高端半导体设备领军企业，在高端刻蚀设备环节打破国际大厂垄断，引领了国产替代。近年来公司在引领刻蚀设备市占率提升的同时，在薄膜沉积、量测等环节加速布局，并在 2023 年逐渐兑现研发成果。预计随着美国、日本等国家对中国大陆半导体制造环节的技术管制升级，以及后续半导体周期逐渐回暖，拥有先进制成设备制造能力的中微公司有望进一步受益于半导体设备的国产替代。 图表1： 中微公司：核心盈利假设 2021 2022 2023E 2024E 2025E 专用设备收入（百万元） 2507 3847 5117 6703 8714 营业收入同比增速 39.4% 53.5% 33.0% 31.0% 30.0% 毛利率 42.2% 45.2% 44.5% 44.7% 45.0% 备品备件收入（百万元） 555 834 1043 1304 1565 营业收入同比增速 25.8% 50.3% 25.0% 25.0% 20.0% 毛利率 46.9% 46.9% 46.9% 46.9% 47.0% 设备维护收入（百万元） 45 57 68 82 95 营业收入同比增速 38.5% 26.8% 20.0% 20.0% 15.0% 毛利率 66.5% 66.5% 63.6% 63.6% 65.0% 营业总收入（百万元） 3108 4739 6229 8090 10375 营业总收入同比增速 36.7% 52.5% 31.4% 29.9% 28.2% 归