国内半导体量/检测设备领先企业，打造中国KLA

敬请参阅最后一页特别声明 1 投资逻辑 半导体量/检测设备国产化率极低，公司有望深度受益于国产替代。量/检测设备是集成电路制造中保证良品率的关键，贯穿于整个生产过程，随着工艺结构复杂化其重要性凸显。全球 2021年市场规模约 100 亿美元，竞争格局集中，美国科磊 KLA、美国应用材料、日本日立位居前三，KLA（市占率 54%）一家独大。中国大陆市场进口依赖度高，2021 年国产化率仅 3%，国内主要有中科飞测、上海精测、上海睿励（中微公司持股）及东方晶源等公司持续突破。目前国内企业在图形/无图形晶圆检测、膜厚/关键尺寸/套刻量测等多个细分领域持续发力突破，国内厂商市占率有望进入成长快车道，深度受益国产替代。 中科飞测成立于 2014 年，目前在半导体量/检测设备收入体量上为国内龙头，高研发支出保证公司持续创新能力。公司 22 年实现营收 5.09 亿元，同比+41.2%；归母净利润 0.12 亿元，同比-78.0%。下游客户包含中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、通富微电等国内主流制造及封装厂。公司 2022 年研发费用率高达 40.4%，主要产品包括无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚量测等产品，已应用于国内 28nm 及以上制程的集成电路制造产线，同时正在积极研发纳米图形晶圆缺陷检测、晶圆金属薄膜量测等设备，我们看好公司在产品型号横向扩张的同时，不断突破制程节点。公司 IPO 发行 8000 万股，发行价 23.60 元/股，募集总金额 18.9 亿，用于高端半导体质量控制设备产业化项目/研发中心升级建设及补充流动资金。 2022 年末公司合同负债 4.8 亿，存货中发出商品 4.3 亿，在手订单 充 足 。 公司 21/22 年 合 同 负 债 为 1.6/4.8 亿 元，同比+384%/+217%，发出商品为 2.4/4.3 亿元，同比+425%/+76%，在手订单充沛且销售强劲，快速成长动力足。 盈利预测、估值和评级 我们预计公司 2023-2025 年分别实现营收 7.9/11.6/15.6 亿元，同比增长 55%/47%/35%，归母净利润为 0.4/1/1.8 亿元,同比增长270%/120%/93%，EPS 分别为 0.14/0.3/0.57 元。目前国内半导体量/检测设备国产替代空间巨大，叠加创新驱动及自主可控下国内晶圆厂资本开支持续提升，公司具备长期持续且较高的成长性。采用现金流折现法对公司投资价值进行分析，公司归母股权价值 243亿元，目标价 76 元/股。首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示 半导体设备行业景气度下行风险、国际贸易政策变化风险。 公司基本情况（人民币） 项目 2021 2022 2023E 2024E 2025E 营业收入(百万元) 361 509 791 1,160 1,562 营业收入增长率 51.76% 41.24% 55.29% 46.65% 34.73% 归母净利润(百万元) 53 12 43 95 184 归母净利润增长率 34.96% -78.02% 269.79% 119.63% 92.56% 摊薄每股收益(元) 0.223 0.049 0.136 0.298 0.574 每股经营性现金流净额 -0.43 0.27 -0.43 0.22 0.80 ROE(归属母公司)(摊薄) 9.63% 2.06% 1.76% 3.71% 6.67% P/E N/A N/A 503.66 229.32 119.09 P/B N/A N/A 8.84 8.52 7.95 来源：公司年报、国金证券研究所 公司深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 2 内容目录 一、半导体质量控制设备国产替代正当时............................................................ 4 1、半导体质量控制设备——贯穿生产全过程，保证良品率的关键................................... 4 2、国外寡头垄断市场，国产设备不断突破....................................................... 8 二、中科飞测：国内量测检测设备龙头企业......................................................... 11 1、设备不断更新，技术积累深厚.............................................................. 11 2、产品矩阵丰富，对接国内知名企业.......................................................... 13 3、持续加大研发投入，不断突破技术节点...................................................... 15 三、中科飞测：营收快速增长，科创板上市进展顺利................................................. 18 1、营收收入高速增长，毛利率稳步提升........................................................ 18 2、IPO 进展顺利，募集资金用于产品创新及产能建设 ............................................ 22 四、盈利预测与投资建议......................................................................... 22 1、盈利预测................................................................................ 22 2、投资建议及估值.......................................................................... 24 五、风险提示................................................................................... 25 图表目录 图表 1：质量控制设备在半导体产业链中的应用 ...................................................... 4 图表 2：应用于前道制程和先进封装的质量控制根据工艺可细分为检测和量测两大环节 .................... 5 图表 3：技术原理分类上，检测和量测包括光学检测技术、电子束检测技术和 X 光量测技术 ................ 5 图表 4：光学检测技术分为无图形、图形晶圆、掩膜版检测技术 ........................................ 6 图表 5：量测技术主要