半导体设备行业国产替代趋势月度跟踪：1月招标量积塔领跑，检测／刻蚀设备国产中标比例领先

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 9 [Table_Page] 跟踪分析|半导体 证券研究报告 [Table_Title] 半导体设备国产替代趋势月度跟踪 1 月招标量积塔领跑，检测/刻蚀设备国产中标比例领先 [Table_Summary] 核心观点： ⚫ 1 月招标量积塔领跑，沉积类、刻蚀和扩散设备的招标需求较大。2023年 1 月招标以积塔、华虹、中芯等产线为主，合计产生 71 项招标。招标设备方面，整体以沉积类设备、刻蚀和扩散三类设备的招标量居多。其中，沉积类设备主要为积塔特色工艺生产线和华虹招标，刻蚀设备主要为积塔特色工艺生产线和华虹招标，扩散设备主要为华虹招标。此外，基建项目主要为中芯国际招标。2023 年 1 月，积塔特色工艺生产线招标 33 项，以沉积类、刻蚀、退火设备为主。华虹招标 26 项，以刻蚀、沉积类、扩散设备居多。中芯国际招标 12 项基建项目。 ⚫ 国产厂商卡位量测、炉管、PVD 等设备领域，中标设备国产化比例为43%。中标方面，2023 年 1 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标 40台设备，以量测、炉管、PVD 设备居多；国产设备整体中标比例约 43%，其中，刻蚀、检测、气液系统设备的国产中标比例显著。 ⚫ 上海精测、中科飞测、中微公司中标设备数量居多，对应工艺环节的中标比例为 44%。2023 年 1 月，国内半导体设备厂商合计中标 7 台设备，供应商以上海精测、中科飞测、中微公司为主。其中，上海精测中标 4 台量测设备、1 台检测设备，中科飞测中标一台检测设备，中微公司中标 1 台刻蚀设备。国内半导体设备在对应工艺环节的中标比例为 44%。其中，中微公司的刻蚀设备、上海精测的检测设备和中科飞测的检测设备在对应工艺环节的中标比例领先，分别为 100%、50%、50%。 ⚫ 投资建议：在半导体设备市场规模趋稳，份额提升贡献主要增量的背景下，国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的持续扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、芯源微、拓荆科技、华峰测控*、精测电子*、长川科技*、微导纳米、华海清科、中微公司*、盛美上海*、至纯科技*、万业企业等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖） ⚫ 风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。 [Table_Grade] 行业评级 买入 前次评级 买入 报告日期 2023-02-27 [Table_PicQuote] 相对市场表现 [Table_Author] 分析师： 许兴军 SAC 执证号：S0260514050002 021-38003661 xuxingjun@gf.com.cn 分析师： 王亮 SAC 执证号：S0260519060001 SFC CE No. BFS478 021-38003658 gfwangliang@gf.com.cn 分析师： 耿正 SAC 执证号：S0260520090002 021-38003660 gengzheng@gf.com.cn 分析师： 焦鼎 SAC 执证号：S0260522120003 021-38003658 jiaoding@gf.com.cn 请注意，许兴军,耿正,焦鼎并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 [Table_DocReport] 相关研究： 碳化硅系列报告一：衬底篇:工欲善其事必先利其器，碳化硅衬底市场群雄逐鹿 2023-02-21 半导体行业:海外射频产业链22Q4 季报总结：去库存仍将持续，2023H2 复苏在望 2023-02-19 [Table_Contacts] -36%-28%-21%-14%-6%1%02/2204/2206/2208/2210/2212/22半导体沪深300仅供内部参考，请勿外传 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 9 [Table_PageText] 跟踪分析|半导体 [Table_impcom] 重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 货币 最新 最近 评级 合理价值 EPS(元) PE(x) EV/EBITDA(x) ROE(%) 收盘价 报告日期 （元/股） 2022E 2023E 2022E 2023E 2022E 2023E 2022E 2023E 北方华创 002371.SZ CNY 237.33 2023/01/13 买入 380.66 4.46 6.56 53.21 36.18 47.27 31.99 12.20 15.30 华海清科 688120.SH CNY 241.06 2022/05/29 - - 3.01 4.79 80.09 50.33 151.25 102.85 6.70 9.70 拓荆科技-U 688072.SH CNY 262.00 2022/05/17 买入 165.26 1.01 1.79 259.41 146.37 872.04 705.05 3.60 5.90 长川科技 300604.SZ CNY 45.33 2022/10/28 买入 71.91 0.90 1.46 50.37 31.05 49.09 30.92 24.30 29.30 中微公司 688012.SH CNY 106.95 2022/08/13 买入 171.90 1.87 2.30 57.19 46.50 80.28 70.04 7.60 8.60 盛美上海 688082.SH CNY 86.34 2023/02/01 买入 119.01 1.52 1.97 56.80 43.83 58.49 42.93 12.10 13.50 华峰测控 688200.SH CNY 275.20 2022/10/28 买入 278.27 5.57 7.70 49.41 35.74 39.35 30.23 16.90 19.00 至纯科技 603690.SH CNY 37.05 2022/09/04 买入 55.35 1.23 1.70 30.12 21.79 18.18 13.56 8.80 10.90 数据来源：Wind、广发证券发展研究中心 备注：数据更新至 2023 年 2 月 26 日。 仅供内部参考，请勿外传 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 9 [Table_PageText] 跟踪分析|半导体 目录索引 一、1 月招标量积塔领跑，检测/刻蚀设备国产中标比例领先 ............................................. 5 二、投资建议 ......................................