微导纳米(688147)本土ALD设备领军者，空间广阔未来可期

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 34 [Table_Page] 新股分析|半导体与半导体生产设备 证券研究报告 [Table_Title] 微导纳米（688147.SH） 本土 ALD 设备领军者，空间广阔未来可期 [Table_Summary] 核心观点： ⚫ 本土 ALD 设备领军者，坚持高研发投入夯实竞争壁垒。微导纳米成立于 2015 年，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发生产和销售。公司高度重视研发投入，具备深厚的技术和人才储备，公司立足 ALD技术和产品，拓展了 PECVD、PEALD 二合一等产品类型，目前已经实现在光伏、半导体、柔性电子领域的产业化应用，并提供配套产品及服务。截至 2022Q3，公司在手订单 19.75 亿元，订单金额迅速增长。 ⚫ 薄膜沉积设备下游需求旺盛，ALD 设备国产替代需求迫切。薄膜沉积设备广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。光伏市场新增装机量迅速增长，新一代 N 型电池产线中薄膜沉积工艺环节增量明显。半导体市场产能扩充，先进制程演进增加了薄膜沉积工艺数量。ALD 设备在半导体先进制程应用中技术优势明显，市场占比有提升趋势，且国产化水平相较于其他薄膜沉积设备较低，国产替代需求迫切。 ⚫ 丰富产品序列、拓宽下游应用，ALD 细分赛道龙头阔步前行。在光伏市场，公司以 ALD 为核心，向 PECVD 和 PEALD 二合一产品领域不断拓展，产品应用覆盖日趋完善，与国内前十名电池片企业均建立了合作关系，具有较强的市场影响力。在半导体市场，公司产品在 28nm 逻辑器件制造的 High-k 材料沉积环节产业化应用，实现了“卡脖子”技术突破，获得多家国内知名半导体公司的商业订单。公司是国内 ALD设备行业的领军者，未来有望充分受益于产品覆盖程度、下游应用领域的完善拓展，以及薄膜沉积设备的国产化进程。 ⚫ 盈利预测与投资建议。预计公司 22-24 年营收分别为 6.19/11.82/16.73亿元，参考可比公司估值水平，给予公司 2023 年 10~11 倍 PS 估值,对应合理价值区间为 26.00~28.60 元/股。 ⚫ 风险提示。技术研发不及预期；新产品进展不及预期；客户集中度较高。 盈利预测： [Table_Finance] 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入（百万元） 313 428 619 1,182 1,673 增长率（%） 44.8 36.9 44.7 90.8 41.6 EBITDA（百万元） 72 48 57 145 223 归母净利润（百万元） 57 46 30 112 169 增长率（%） 4.5 -19.1 -34.1 267.8 50.8 EPS（元/股） 1.14 0.11 0.07 0.25 0.37 市盈率（x） - - - - - ROE（%） 8.8 5.2 1.6 5.5 7.6 EV/EBITDA（x） - - - - - 数据来源：公司财务报表，广发证券发展研究中心 [Table_NewStock_Price] 合理价值区间 26.00~28.60 元/股 报告日期 2022-12-21 [Table_NewStock_IssueB] 发行前财务数据 每股净资产（元） 2.16 资产负债率（%） 34.9 ROE（%） 5.2 ROA（%） 3.8 流动比率（倍） 2.86 速动比率（倍） 1.21 [Table_NewStock_Issue] 发行资料 发行股数（万股） 4,544 发行前股本（万股） 40,901 发行日期 2022-12-13 上市日期 主承销商 浙商证券股份有限公司 主要股东 无锡万海盈投资合伙企业(有限合伙) 发行方式 战略配售、网下发行与网上发行相结合 [Table_Author] 分析师： 王亮 SAC 执证号：S0260519060001 SFC CE No. BFS478 021-38003658 gfwangliang@gf.com.cn 分析师： 耿正 SAC 执证号：S0260520090002 021-38003660 gengzheng@gf.com.cn 请注意，耿正并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 [Table_Contacts] 联系人： 焦鼎 021-38003658 jiaoding@gf.com.cn 仅供内部参考，请勿外传 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 34 [Table_PageText] 微导纳米|新股分析 目录索引 一、微导纳米：本土 ALD 设备领军者，坚持高研发投入夯实竞争壁垒 ............................ 5 （一）坚持高研发投入，夯实竞争壁垒 .................................................................... 6 （二）营收高速成长，产品拓展取得成效 ................................................................ 8 二、薄膜沉积设备下游需求旺盛，ALD 设备国产替代需求迫切 ...................................... 10 （一）光伏市场：新增装机需求方兴未艾，技术迭代带来对薄膜沉积设备新增需求 ............................................................................................................................... 11 （二）半导体市场：产能扩充与技术发展驱动薄膜沉积设备市场空间成长，ALD 设备国产替代需求较为迫切 ....................................................................................... 15 三、丰富产品序列、拓宽下游应用，ALD 细分赛道龙头阔步前行 .................................. 20 （一）立足 ALD 完成产品多元化布局，不断拓展下游应用领域 ............................. 20 （二）技术储备丰富，实现科技成果与产业应用的深度融合 .................................. 22 （三）光伏领域已积累优质客户资源，半导体设备市场推广进展顺利 .................... 24 （四）国产 ALD 设备细分赛道龙头，具备广阔成长潜力 ....................................... 26 四、盈利预测和投资建议 ................