富创精密(688409)公司深度报告：平台化布局“结构件+工艺件+模组+气体管路”创半导体设备零部件国产替代新局面

分析师：吴文吉 登记编号：S1220521120003 联系人：胡园园 证券研究报告2022年12月7日【方正电子·公司深度报告】富创精密（688409.SH）平台化布局“结构件+工艺件+模组+气体管路”创半导体设备零部件国产替代新局面仅供内部参考，请勿外传投资要点n国内半导体设备平台型企业，布局工艺件+结构件+模组+气体管路产品。公司自2008年成立，后成功导入国际客户A并实现高速放量，同时承担多项国家重大科研专项，成为全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程的半导体精密零部件制造商。目前，公司工艺件和结构件已高速成长，未来，模组和气体管路业务也将成为公司规模扩张的重要引擎。n布局产品30年全球TAM至300亿美元，21年市占率不足1%。半导体设备90%以上成本来自零部件，综合设备公司毛利率为40%-45% ，全球半导体设备零部件市场规模约占半导体设备规模的50%-55%；公司布局产品TAM则约占设备市场的22%，预计至2030年对应市场规模将突破300亿美元。2021年公司营收仅8.4亿元，全球市占率不足1%。n受益晶圆厂扩产+半导体设备/设备零部件双重国产替代，公司迎来黄金发展期。自2012年，公司陆续切入北方华创、上海微电子、中微公司、拓荆科技、华海清科等头部国产半导体设备厂商，2021年北方华创营收占比已至19%。2021年主要国产设备企业对应公司布局产品采购需求合计约115亿元，随着内资晶圆厂扩产持续推进，叠加设备、零部件双层国产替代逻辑，公司将迎来黄金发展期。资料来源：wind、富创精密招股书、方正证券研究所整理 n盈利预测：我们预计公司2022-2024年营业收入14.0/21.5/30.9亿元，归母净利润2.2/3.5/5.1亿元，首次覆盖，给予“推荐”评级。n风险提示：（1）中美贸易摩擦风险；（2）晶圆厂扩产不及预期；（3）产品研发及产业化应用不及预期。盈利预测单位/百万20212022E2023E2024E营业总收入843 1402 2153 3093 (+/-)(%)75.21 66.26 53.59 43.69 归母净利润126 218 351 510 (+/-)(%)35.28 72.43 60.82 45.29 EPS(元)0.81 1.04 1.68 2.44 ROE(%)12.07 4.68 6.99 9.22 P/E0.00 130.30 81.02 55.77 P/B0.00 5.51 5.13 4.65 2仅供内部参考，请勿外传富创精密：国内半导体设备零部件平台型企业资料来源：富创精密招股书，方正证券研究所整理n富创精密成立于2008年，是国内半导体设备精密零部件的领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。n 公司主要产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类，应用于半导体设备、泛半导体设备及其他领域。模组产品工艺零部件结构零部件气体管路3过渡腔传输腔反应腔内衬匀气盘托盘轴铸钢平台定子冷却套流量计底座冷却板离子注入机模组传输腔模组过渡腔模组刻蚀阀体模组气柜模组客户A仅供内部参考，请勿外传公司TAM：占半导体设备市场22%，30年有望突破300亿美元资料来源：SEMI、富创精密招股书、方正证券研究所整理n 公司目前涉及产品占半导体设备市场规模的比例约为22%；具体设备来看，在薄膜沉积、刻蚀、CMP、热处理、去胶设备领域的占比均超过30%，预计至2030年对应市场规模将突破300亿美元。图表：2020年公司涉及精密零部件市场规模（单位：亿美元）半导体设备2020全球市场规模工艺和结构零部件比例模组产品占比气柜和气体管路占比相关精密零部件市场规模相关精密零部件市场占比薄膜沉积17214%11.5%9%5934%刻蚀13719.5%8%12.5%5540%光刻1347.5%--107%清洗3512%--411%涂胶显影2412%17.5%-729%CMP1619.5%12.5%-531%热处理1517.5%11.5%12.5%640%离子注入1412%5%2%321%去胶517.5%11.5%12.5%240%其他前道设备、测试设备和封装设备等1605%--85%合计71211.8%5.6%5%16022%方正电子4仅供内部参考，请勿外传目录5富创精密：国产半导体设备零部件的平台型企业1财务分析：规模高速扩张，存货周转持续加快2产品实力：国际客户认证，国家专项磨炼3市场格局：全球市场超300亿美元，市占率不足1%4盈利预测5仅供内部参考，请勿外传富创精密：国内半导体设备零部件领军企业资料来源：富创精密招股书，方正证券研究所整理n富创精密成立于2008年，是国内半导体设备精密零部件的领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。n 公司主要产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类，应用于半导体设备、泛半导体设备及其他领域。模组产品工艺零部件结构零部件气体管路6过渡腔传输腔反应腔内衬匀气盘托盘轴铸钢平台定子冷却套流量计底座冷却板离子注入机模组传输腔模组过渡腔模组刻蚀阀体模组气柜模组客户A仅供内部参考，请勿外传发展历程：提供7nm以上制程精密零部件2008201120122014富创精密成立再次承担国家02重大专项为40nm制程工艺设备提供精密零部件为28nm制程设备提供精密零部件；核心产品用于12吋硅片加工设备资料来源：富创精密公司官网，富创精密招股书，方正证券研究所整理7承担国家02重大专项首次与客户A合作通过SSQA质量认证通过北微、上微、拓荆科技等国产设备厂商用验证成为日本TEL、DAIHEN供应商成为客户A战略供应商完成VAT阀门零部件开发并批量供应为北方华创、TOCALO、日本VTEX等提供精密零部件及配套服务为ASMI、中微公司、华清海科、北京屹唐等提供精密零部件；累计通过客户A特种工艺认证38项为14nm制程设备提供精密零部件；建立美国研发中心；建立柔性智能化车间为7nm制程工艺设备提供精密零部件；拥有自动化产线，报告期间累计交付首件种类10000+高速发展期，持续扩大产能快速发展期建立日本研发中心于南通、北京亦庄布局产能实现国产化自主可控工艺积累和技术攻关期试制并交付千余种零部件表面处理样本为65nm工艺设备提供精密零部件2016201820202021方正电子仅供内部参考，请勿外传股权结构：董事长郑广文控股22.29%富创精密沈阳融创美国富创沈阳富创富创研究院北京富创南通富创n沈阳先进持有公司16.91%股份，为公司第一大股东；公司董事长郑广文通过直接和间接方式合计持有公司22.29%的股份，为公司实际控制人。100%100%资料来源：wind，天眼查，方正证券研究所整理27%上海国投宁波祥浦辽宁中德宁波芯富中证投资宿迁浑璞辽宁科发2.8