半导体设备中标专题（2022年4月）：晶圆厂扩产景气持续，设备国产率提升

请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 [Table_Main] 证券研究报告 | 行业专题 机械设备 2022 年 05 月 10 日 机械设备 优于大市（维持） 证 券分析师 倪 正洋 资格编号：S0120521020003 邮箱：nizy＠tebon.com.cn 研 究助理 杨 云逍 邮箱：yangyx＠tebon.com.cn 市 场表现 相 关研究 1.《第 26 期周观点-22Q1 通用自动化板块业绩同比+8%，密切关注制造业 景气趋势及优秀企业展示的竞争力》，2022.5.7 2.《通用自动化 21 年报及 22Q1 总结：22Q1 业绩同比+8%，密切关注制 造业景气趋势及优秀企业展示的竞争力》，2022.5.6 3.《第 25 期周观点-关注一季报表现亮眼的光伏设备公司：持续受益技术升级及下游需求增加》，2022.5.4 4.《光伏设备 21 年报及 22Q1 总结：22Q1 业绩同比+51.5%，关注具备技术 升 级 且 竞 争 格局优 化的环节》，2022.5.4 5.《PMI 点评：4 月制造业 PMI环比-2.1pp 为 47.4%，建议关注制造业库存 及 后 续 消 费 、 投 资 的 恢 复 》， 2022.5.4 半导体设备中标专题（2022 年4 月）：晶圆厂扩产景气持续，设备国产率提升 [Table_Summary] 投资要点：  2022 年 4 月 国 内主流晶圆厂共开标 108台工艺设备，上海积塔为扩产主力。我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯 10 家中国大陆主要的 IDM 或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022 年 4月国内 10家主 流晶圆厂共开标 108 台工艺设备，主要来自上海积塔（78 台）、华虹无锡（20台 ）、福建晋华（5 台）、时代电气（3台）、华力微电子（1台）、华力集成（1台）。22 年 1-4 月合计开标 401 台工艺设备，主要来自华虹无锡（268 台）、上海积塔（104 台）、时代电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台）。  炉 管、刻蚀设备为 2022 年 4 月 国内晶圆厂主要开标设备。2022 年 4 月开标的 108台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（30台）、刻蚀设备（29 台）、前道检测设备（10 台）、清洗设备（10 台）、干法去胶设备（9台）、沉积设备（8 台）、离子注入机（4 台）、涂胶显影设备（4 台）、后道测试设备（2 台）、光刻机（1 台）、抛光设备（1 台）。2022 年 1-4 月开标的 401 台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（112 台）、刻蚀设备（61 台）、沉积设备（61 台）、前道检测设备（48 台）、后道测试设备（35 台）、离子注入机（18 台）、清洗设备（17 台）、抛光设备（15 台）、涂胶显影设备（14台）、干法去胶设备（14 台）、光刻机（6 台）。  受 国内刻蚀、干法去胶、涂胶显影等设备厂家拉动，中标国产率持续提升。2022年 4 月 中国大陆设备中标数量为 67 台，国产率达 62%。2022 年 1-4 月 开标的 401台 设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计 97 台，占比达 24.2%。分晶圆厂看，2022 年 1-4 月，上海积塔设备国产率超 40%；分设备看，2022 年 1-4 月国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率 71%）、刻蚀设备（51%）、清洗设备（41%）、离子注入机（39%）、抛光设备（27%）、涂胶显影设备（21%）。聚焦 4月 份国内中标厂商，北方华创（中标 33 台）、中微公司（13 台）、屹唐（10台）、芯 源微（7 台）、上海精测（1 台）、盛美上海（1台）排名靠前，持续体现国内厂家在刻蚀、清洗、干法去胶、涂胶显影等设备环节的强势地位。  投 资建议：重点关注国内半导体设备龙头北方华创（002371）；高端刻蚀设备龙头中 微公司（688012）；持续突破高端后道测试机的长川科技（300604）、华峰测控（688200）；涂胶显影与单片清洗不断突破前道环节的国内半导体设备小巨人芯源微 （688037）；半导体薄膜沉积龙头拓荆科技（688072）；国产清洗设备领军企业盛 美 上 海 （ 688082）、 至 纯 科技 （ 603690）； 离 子 注 入 机领先企业万 业 企 业（600641）；半导体环保设备领先企业盛剑环境（603324）等。  风 险提示：晶圆厂扩产不及预期、设备公司研发不及预期、中美贸易摩擦风险。 -31%-24%-18%-12%-6%0%6%12%2021-052021-092022-01沪深300 行业专题 机械设备 2 / 12 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 内容目录 1. 2022 年 4 月主流晶圆厂开标维持较高景气，上海积塔贡献主要增量 ........................ 4 1.1. 2022 年 4 月国内主流晶圆厂公开标 108 台设备.............................................. 4 1.2. 分晶圆厂看：上海积塔 4 月开标 78 台设备，华虹无锡开标 20 台设备 ............. 5 1.3. 分设备看：炉管、刻蚀设备贡献 2022 年 4 月主要扩产增量 ............................ 6 2. 设备国产率：刻蚀、干法去胶等设备国产率较高.................................................... 7 2.1. 分晶圆厂看：上海积塔 2022 年 1-4 月设备中标国产率超 40% ........................ 7 2.2. 分设备看：2022 年 1-4 月干法去胶、刻蚀、清洗、离子注入国产率较高 ......... 8 3. 4 月中标较多的中国大陆厂家为北方华创、中微公司、芯源微、屹唐、上海精测等 ... 9 4. 投资建议 ........................................................................................................... 11