半导体设备招标跟踪（2022年3月）：扩产有序推进，新增招标动力充沛

本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 1 [Table_Title] 半导体设备招标跟踪（2022 年 3 月） 扩产有序推进，新增招标动力充沛 2022 年 04 月 17 日 [Table_Summary]  招标采购完成情况：华虹、积塔完成大批量设备采购 据公开招标信息统计，2022 年 3 月下游晶圆厂开始了 2022 年以来的第一次集中采购潮，单月完成设备招标 289 台，超过 1、2 月采购数量之和。主要来自华虹无锡12 寸产线、福建晋华 12 寸内存产线、积塔特色工艺产线三个项目的扩产。 本月设备采购分别为光刻机 1 台，涂胶显影设备 10 台，薄膜设备 34 台，干法刻蚀/去胶设备 33 台，离子注入设备 6 台，CMP 设备 4 台，炉管设备 89 台，湿法设备31 台，量测/检测设备 25 台，后道封装测试设备 56 台。2022 年 1-3 月，统计范围内的晶圆厂共计完成设备招标 371 台，力度可观。 国产化率方面，在我们统计范围内晶圆厂 2022 年以来完成的设备招标中，国产设备占比约 12%。其中，湿法设备、干法设备、CMP 设备、涂胶显影设备国产化率相对较高。  新增招标发布情况：积塔新增大额招标 2022 年 3 月新增设备招标 171 台，包括华虹无锡 40 台，上海华力 4 台，积塔 103台，华润微（重庆）11 台，福建晋华 13 台。相比招标完成数据，本月新增招标数据结构更为丰富，更多晶圆厂展现扩产意愿。此外，合肥长鑫二期已在土建招标中，扩产进展良好。  国产设备厂商中标情况： 1）北方华创 13 台，包括薄膜/干法刻蚀/炉管； 2）盛美 9 台，包括湿薄膜/湿法/后道封装； 3）拓荆科技 3 台，均为薄膜设备； 4）华海清科 3 台，均为 CMP 设备； 5）新业务 2 台，均为涂胶显影设备； 6）至纯 1 台，为湿法清洗设备； 此外，吉姆西中标 3 台，二手设备占据一定市场份额。  投资建议：2021 年下游晶圆厂积极扩产推动了半导体设备招标采购量的增长，而 22 年仍将是本土晶圆产线加速落地的一年。3 月设备招标数据亮眼，我们看到更多非头部晶圆厂展现扩产意愿。此外，在当前仍旧较低的国产化率基数上，我们看到越来越多的国产设备厂商涌现。我们认为在扩产+国产化两大动力叠加作用下，设备板块有望维持高增，建议关注北方华创、中微公司、盛美上海、万业企业、芯源微。  风险提示：半导体行业下游需求不及预期、晶圆厂扩产进度不及预期、设备研发进展不及预期。 重点公司盈利预测、估值与评级 代码 简称 股价（元） 营收（亿元） PS（倍） 评级 2020A 2021E 2022E 2020A 2021E 2022E 002371 北方华创 261.38 60.56 97.01 140.05 23 14 10 推荐 688012 中微公司 106.65 22.73 31.08 46.18 29 21 14 推荐 688082 盛美上海 89.14 10.07 16.21 26.96 39 24 14 推荐 688037 芯源微 126.01 3.29 8.29 13.22 32 13 8 推荐 600641 万业企业 17.66 9.31 10.01 16.46 18 17 10 推荐 资料来源：Wind，民生证券研究院预测; （注：股价为 2022-04-15 收盘价，中微公司、盛美上海、芯源微已发布年报，营收为实际值，其他为民生证券研究院预测值） [Table_Invest] 推荐 维持评级 [Table_Author] 分析师： 方竞 执业证号： S0100521120004 电话： 15618995441 邮箱： fangjing@mszq.com [Table_docReport] 相关研究 1.电子行业周报 20220411：透视疫情影响，上海半导体企业应对措施分析 2.汽车电子月跟踪：市场回调不改景气赛道，坚守汽车电子科技股长期价值 3.行业事件点评：ST 再发涨价函，功率、模拟、MCU 景气度持续 4.芯片设计动态跟踪：MCU 渠道价格反弹，把握汽车工控市场破局机遇 5.电子行业点评：电子板块强势反弹，原因分析及后市展望 行业月报/电子 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 2 目 录 1 2022 年 3 月采购潮再启 .......................................................................................................................................... 3 2 主要晶圆厂招标完成结果明细 .................................................................................................................................. 6 2.1 华虹无锡：扩产有序推进 ................................................................................................................................................................. 6 2.2 福建晋华：持续小批量招标 ............................................................................................................................................................. 7 2.3 积塔：特色工艺产线扩建 ................................................................................................................................................................. 7 3 新增招标情况........................................................................................................................................................... 8 4 国产设备厂商中标明细 ............................................................................................................................