半导体设备行业系列研究十七：真空泵，光伏为矛、半导体为盾，国产化大幕已开启

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 37 [Table_C ontacter] 本报告联系人： [Table_Page] 行业专题研究|机械设备 2021 年 3 月 18 日 证券研究报告 [Table_Title] 半导体设备行业系列研究十七 真空泵：光伏为矛、半导体为盾，国产化大幕已开启 [Table_Author] 分析师： 周静 分析师： 代川 SAC 执证号：S0260519090001 SAC 执证号：S0260517080007 SFC CE.no: BOS186 021-38003681 021-38003678 zhoujing@gf.com.cn daichuan@gf.com.cn 请注意，周静并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 [Table_Summary] 核心观点：  真空泵是制造业重要的通用设备，半导体应用占据最大份额，光伏高增长。真空系统是用来获得真空环境的系统，是半导体、科学仪器、化工、制药行业重要的子系统，应用广泛。真空泵是真空系统重要的组成部分，是用来产生、改善和维持真空环境的装置。根据 ISVT，2019 年全球真空设备的市场规模约 350 亿元，其中半导体用真空设备约 135 亿元，占比约 38%，是最大的应用领域，此外光伏领域的真空泵需求正快速增长。  半导体行业存量真空泵的更新占据较大比例，保证需求稳定增长。根据我们测算，2019 年全球半导体真空泵的设备与服务需求市场规模约 130 亿元，参考 IC sights 对全球晶圆产能的预测，预计到 2025 年市场规模可达到217 亿元，复合增占率约 9%，保持温和增长，其中存量真空泵的更新占到整个设备市场的 60~70%，庞大的存量市场保证了半导体真空泵的稳定需求，减小了行业的波动性。根据我们测算，2019 年我国半导体真空泵的设备与服务需求规模约 31 亿元，2025 年预计可达到 57 亿元，维持稳定增长。  太阳能电池硅片、电池片、组件等环节大幅扩产，光伏真空泵市场规模快速扩张。太阳能发电成本不断降低，需求进入上升期，根据硅业协会和我们的统计，预计硅片/电池片/组件等各环节 2021 年扩产规模均在 100GW以上，拉晶、镀膜、层压等环节对真空泵均有需求，下游的大幅扩产预计将带动光伏行业真空泵市场规模的快速增长。同时，光伏行业现在面临 PERC+/TOPCon/HJT 等技术路线的分歧，设备降本对技术路线影响较大，设备降本的需求有利于进一步推进真空泵的国产化进程。根据我们的测算，2019 年我国光伏行业对真空泵的设备与服务需求规模约 21.7 亿元，预计至 2022 年可增至 55.5 亿元，复合年增长率达 36%。  行业高度集中，国内企业在光伏/半导体领域真空泵已实现国产突破。全球半导体真空泵市场主要由 Edwards、Kashiyama、Ebara 等少数几家国际知名公司占据，2019 年 Atlas 真空部门的收入约 26.9 亿美元，当年在真空领域的市占率约 53%，处于绝对领先地位。国内以汉钟精机、中科仪为代表的国内半导体真空泵优秀企业已逐步实现国产替代。汉钟精机 2019 年公司总收入 18.07 亿元，其中真空产品收入 3.69 亿元，占总收入的 20.43%，根据公司的业绩快报，2020 年营收总收入 22.73 亿元，同比增加 25.78%，维持高增速，目前公司的真空产品主要应用在光伏领域，根据公司 2019 年年报，公司干式真空泵在国内半导体及一线大厂及设备厂都已导入。根据中科仪的招股说明书，公司真空泵已进入隆基、晶盛、长江存储等光伏和半导体头部客户，产品力获认可，2019 年公司销售真空干泵 2546 台，销售收入 1.57 亿元，同比增加 97.8%。  投资建议。当前国内少数几家企业在光伏及半导体真空泵实现了国产突破。受益下游光伏领域积极扩产以及国产化率显著提升，真空泵需求预计将持续保持快速增长；而未来在半导体领域的逐步拓展，将进一步打开成长空间。建议关注国内半导体真空泵的优质企业：汉钟精机、中科仪（拟上市）。  风险提示。行业投资波动带来的收入不确定性；行业竞争加剧导致毛利率下滑；技术研发及国产化趋势推进不及预期；国家产业扶持政策变化或扶持力度不及预期。 -1491487869972927599 研报2021-03-18 20:55:23 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 37 [Table_PageText] 行业专题研究|机械设备 [Table_impcom] 重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 货币 最新 最近 评级 合理价值 EPS(元) PE(x) EV/EBITDA(x) ROE(%) 收盘价 报告日期 （元/股） 2020E 2021E 2020E 2021E 2020E 2021E 2020E 2021E 汉钟精机 002158 CNY 23.20 2021/3/15 买入 27.45 0.68 0.92 34 25 21 15 15.1% 16.9% 晶盛机电 300316 CNY 33.35 2021/1/26 买入 42.75 0.69 0.95 48 35 50 37 16.4% 18.4% 数据来源：Wind、广发证券发展研究中心 备注：表中估值指标按照最新收盘价计算 972927599 研报2021-03-18 20:55:23mRrNtRyQxP7NdN6MsQnNnPrQlOmMmPfQnMwP6MrQtOxNsRvMNZtPmR 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 37 [Table_PageText] 行业专题研究|机械设备 目录索引 一、真空泵：重要通用设备，半导体应用占据主要份额 .................................................... 6 二、半导体真空泵：百亿级产业，需求稳中向上 ............................................................... 8 （一）应用在半导体制造多个工艺环节 ..................................................................... 8 （二）百亿级产业，存量市场奠定需求稳中向上 ..................................................... 10 三、光伏真空泵：下游扩产积极，需求快速扩张 ............................................................. 14 （一）光伏行业：碳中和目标下，需求确