半导体设备行业系列研究十：存储器扩产浪潮已至，国产设备千帆竞发

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 27 [Table_Page] 行业专题研究|机械设备 2020 年 2 月 18 日 证券研究报告 [Table_C ontacter] 本报告联系人： [Table_Title] 半导体设备行业系列研究十 存储器扩产浪潮已至，国产设备千帆竞发 [Table_Author] 分析师： 周静 分析师： 罗立波 分析师： 许兴军 SAC 执证号：S0260519090001 SAC 执证号：S0260513050002 SAC 执证号：S0260514050002 021-60750636 021-60750636 021-60750532 zhoujing@gf.com.cn luolibo@gf.com.cn xuxingjun@gf.com.cn 分析师： 代川 SAC 执证号：S0260517080007 SFC CE.no: BOS186 021-60750615 daichuan@gf.com.cn 请注意，周静,罗立波,许兴军并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 [Table_Summary] 核心观点：  国内存储器投资： 2020 年有增速向上拐点, 中长期具备巨大潜力。当前中国存储器产业面临历史性机遇，促使国内存储器厂商积极进行工艺研发与产能建设，长期性与规模性的下游投资将对国产装备创造极佳的成长环境。其中长江存储与合肥长鑫都将在 2020 年进入积极的产能爬坡期，预期将促使设备需求大幅增长。根据集邦咨询数据，19 年 Q4 长江存储产能 2 万片/月（12 英寸），2020 年底有望扩产至 7 万片/月；合肥长鑫目前产能已达到 2 万片/月，预计 2020 年第一季度末达到 4 万片/月。我们测算 2020-2022 年本土存储器厂设备投资分别为 291.9 亿元/519.7 亿元/860.4 亿元，分别同比增长 231%/78%/66%。  本土存储器厂国产化逻辑清晰，助力国产装备加速发展。由于对成本更加敏感，以及采用 IDM 模式、设备自主权更高，预期本土存储器厂更加积极的引入国产装备。根据中国招标网，截止 2020 年 2 月长江存储主要设备国产化率总体为 7.1%，其中 2020 年前两个月国产装备中标比例达到 14.3%，提升显著。后续随着后期国产装备逐步验证通过，以及晶圆厂工艺顺利进展、逐步提升产能，国产化率有较大提升空间。根据测算，如果 2021年国产化率达到 15%~20%，本土存储器厂的国产装备市场将达到 78.0 亿元~103.9 亿元，有望突破百亿空间。  关注存储器发展对半导体设备需求趋势影响。（1）刻蚀设备。趋势一，先进制程与存储技术推动刻蚀设备投资占比提升；趋势二，3D NAND 要求刻蚀技术实现更高的深宽比；趋势三，刻蚀精度要求提升，推动 ICP 刻蚀设备占比提升。（2）测试设备。国内存储器厂建设，将直接推动存储器测试设备快速增长。根据爱德万公司预测，预计 2020 年全球存储器测试设备市场空间 8 亿美元，同比增长 23.1%。（3）过程工艺控制。高深宽比存储结构带来的良率控制难题。根据 Gartner，2018 年全球半导体过程工艺控制设备市场空间 58 亿美元，其中缺陷检测、测量设备市场分别为 34 亿美元、22 亿美元。（4）清洗设备。清洗步骤不断增加，清洗更具挑战性与关键性。在 20nm 及以上领域，清洗步骤数量占到所有工艺步骤数量的 30%，最多可重复 200 次。  投资建议：国内存储器厂的积极投资，将助力国产装备加速发展。建议关注国内从事半导体设备优质厂商：北方华创（电子小组覆盖）、中微公司*、精测电子*、至纯科技、芯源微*、盛美半导体（ACMR.O）、长川科技*、华兴源创*、晶盛机电*。（标*表示与广发电子、电新等小组联合覆盖）  风险提示：行业投资波动带来的收入不确定性；行业竞争加剧导致毛利率下滑；技术研发及国产化趋势推进不及预期；国家产业扶持政策变化或扶持力度不及预期。 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 27 [Table_PageText] 行业专题研究|机械设备 重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 货币 最新 最近 评级 合理价值 EPS(元) PE(x) EV/EBITDA(x) ROE(%) 收盘价 报告日期 （元/股） 2019E 2020E 2019E 2020E 2019E 2020E 2019E 2020E 中微公司 688012 CNY 205.48 2019/11/26 买入 74.70 0.37 0.51 555.7 403.1 191.57 100.40 5.1 6.7 精测电子 300567 CNY 68.05 2020/2/5 买入 70.22 1.11 1.76 58.6 37.0 40.19 27.75 19.1 23.2 华兴源创 688001 CNY 55.33 2019/6/21 - - 0.75 1.00 73.4 55.0 - - 13.5 15.4 北方华创 002371 CNY 146.4 2020/2/4 买入 136.2 0.68 1.26 215.3 116.2 94.91 64.66 5.5 9.5 芯源微 688037 CNY 144.7 2019/12/6 - - 0.33 0.50 438.5 289.4 - - 3.7 5.3 晶盛机电 300316 CNY 22.01 2020/2/12 买入 24.52 0.53 0.82 41.8 27.0 32.40 21.39 14.4 18.6 数据来源：Wind、广发证券发展研究中心 备注：表中估值指标按照最新收盘价计算。 rMmQtRwOwO7N8QaQoMpPpNnNlOpPnPjMmNuM9PqRvMuOmMoOuOqQvN 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 27 [Table_PageText] 行业专题研究|机械设备 目录索引 一、国内存储器投资空前，装备国产化发展空间广阔 ........................................................ 5 （一）国内存储器投资：具备长期性与规模性，2020 年迎增速向上拐点 ................. 5 （二）本土存储器厂国产化逻辑清晰，助力国产装备加速发展 ................................. 8 二、存储器发展对半导体设备需求趋势影响..................................................................... 11 （一）刻蚀设备：投资占比提