半导体行业设备国产替代趋势月度跟踪：3月招标以研磨抛光／清洗设备为主，Q1国产中标比例显著

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 22 [Table_Page] 深度分析|半导体 证券研究报告 [Table_Title] 半导体设备国产替代趋势月度跟踪 3 月招标以研磨抛光/清洗设备为主，Q1 国产中标比例显著 [Table_Summary] 核心观点： ⚫ 3 月合计 4 项招标，主要为中芯国际、华虹半导体和燕东微电子招标，招标设备主要包括研磨抛光和清洗等品类。根据采招网的数据，2025年 3 月，统计样本中的晶圆产线合计产生 4 项招标。主要为中芯国际、华虹半导体和燕东微电子招标。招标设备主要包括研磨抛光和清洗等品类。2025 年 1-3 月，统计样本中的晶圆产线合计招标 15 项，其中，积塔半导体、燕东微电子、中芯国际的招标量位居前三。整体而言，设备招标以检测、研磨抛光等为主。 ⚫ 1-3 月合计 11 项中标，以检测和离子注入设备居多，中标设备里国产设备整体中标比例约 82%。中标方面，根据采招网的数据，2025 年 3月，统计样本中的晶圆产线上中标 1 台检测设备。2025 年 1-3 月，统计样本中的晶圆产线合计中标 11 台设备，以检测和离子注入设备居多；国产设备整体中标比例约 82%，其中，刻蚀、退火、去胶、研磨抛光、离子注入设备的国产中标比例较高。 ⚫ 1-3 月统计样本中的国内设备厂商共中标 4 台设备，主要为中科飞测、华海清科、中科信中标。根据采招网的数据，2025 年 1 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标 3 台设备，中科信中标的 2 台离子注入设备，在对应工艺环节的中标比例为 100%，华海清科中标的 1 台研磨抛光设备，在对应工艺环节的中标比例为 100%。2025 年 2 月，中科飞测中标的 1 台检测设备，在对应工艺环节的中标比例为 33%。2025 年 1-3 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标 4 台设备，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为 57%。其中，华海清科的研磨抛光设备、中科信的离子注入设备、中科飞测的检测设备在对应工艺环节的中标比例分别为100%/100%/25%。 ⚫ 投资建议：在本土晶圆产能持续扩张、半导体制造技术迭代升级和国产替代加速突破的趋势下，国内半导体设备市场持续扩容。国产半导体设备厂商依托公司自身的产品竞争力、持续拓展的可服务市场空间和品类扩张能力，有望持续受益于设备市场规模的扩张和国产替代进程的深入，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、中微公司*、拓荆科技、中科飞测、华海清科、盛美上海*、万业企业、芯源微、华峰测控*、长川科技*等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖） ⚫ 风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。 [Table_Grade] 行业评级 买入 前次评级 买入 报告日期 2025-05-12 [Table_PicQuote] 相对市场表现 [Table_Author] 分析师： 王亮 SAC 执证号：S0260519060001 SFC CE No. BFS478 021-38003658 gfwangliang@gf.com.cn 分析师： 耿正 SAC 执证号：S0260520090002 021-38003660 gengzheng@gf.com.cn 分析师： 焦鼎 SAC 执证号：S0260522120003 021-38003658 jiaoding@gf.com.cn 请注意，耿正,焦鼎并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 [Table_DocReport] 相关研究： 半导体中上游行业 2025 年 1季报总结:设备/材料高端新品有望加速放量，先进封测增量空间显著 2025-05-05 半导体设备国产替代趋势月度跟踪:12 月招标以离子注入/测试机设备为主，去胶国产中标比例领先 2025-02-23 海外半导体观察系列:CSP CapEx 和英伟达的帐如何算？ 2024-12-09 [Table_Contacts] -14%4%21%39%56%74%05/2407/2410/2412/2402/2505/25半导体沪深300 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 22 [Table_PageText] 深度分析|半导体 [Table_impcom] 重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 货币 最新 最近 评级 合理价值 EPS(元) PE(x) EV/EBITDA(x) ROE(%) 收盘价 报告日期 （元/股） 2025E 2026E 2025E 2026E 2025E 2026E 2025E 2026E 北方华创 002371.SZ CNY 440.85 2025/04/27 买入 574.34 13.68 17.60 32.23 25.05 24.38 19.22 19.00 19.70 华海清科 688120.SH CNY 159.18 2024/10/30 买入 213.06 5.60 6.95 28.43 22.90 24.55 20.09 17.10 17.50 拓荆科技 688072.SH CNY 156.02 2025/04/27 买入 243.87 3.65 5.24 42.75 29.77 32.47 22.87 16.20 18.90 中微公司 688012.SH CNY 181.70 2025/04/18 买入 226.45 3.64 5.08 49.92 35.77 57.94 38.88 10.30 12.60 盛美上海 688082.SH CNY 104.45 2024/08/08 买入 145.74 3.87 4.97 26.99 21.02 22.17 17.13 18.10 18.80 数据来源：Wind、广发证券发展研究中心 备注：数据更新至 2025 年 5 月 11 日。 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 22 [Table_PageText] 深度分析|半导体 目录索引 一、晶圆扩产与国产替代驱动，设备市场空间广阔 ............................................................ 5 二、3 月招标以研磨抛光/清洗设备为主，Q1 国产中标比例显著 ..................................... 15 三、投资建议 ..............................................................................................