机械一周解一惑：事关半导体供应链安全，零部件厂商多重受益

本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 1 一周解一惑： 事关半导体供应链安全，零部件厂商多重受益 2024 年 12 月 30 日 ➢ 本周关注：奥比中光、奥来德、兆威机电、郑煤机 ➢ 海外制裁不断加剧，半导体供应链有望重塑。随着美国加强对中国半导体产业链的限制，增加了审查的覆盖面，从海外获取核心零部件的难度及交付周期或将延长，我们认为将推动存量设备零部件替换，以及新增产线的国产化零部件及设备需求。而美国政府对中国成熟制程发起贸易调查，对国内芯片厂商影响有限。国内芯片市场需求庞大，从满足国内需求来看，扩产仍有其对应的市场，而受限于无法获取先进制程相关的生产设备，国内先进制程产能或持续占比较低，根据半导体行业协会（SIA）和 BCG 报告显示，预计 2032 年中国将生产 28%的 10nm以下芯片，但先进制程预计只有 2%。从先进制程扩产需求来看，国内实现供应链国产化是解决海外“卡脖子”问题的关键。 ➢ 半导体设备零部件种类多样，行业龙头主要为海外厂商。半导体设备零部件按照材料，可分为硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金属件、石墨件、塑料件、真空件、密封件等，品类之间的生产工艺、技术难点差异较大。根据芯谋研究数据，2021 年全球半导体设备零部件细分市场中，机械类占比最大（27%），真空系统次之（20%），其后是机电一体类（18%）、光学类（18%）、电气类（13%）、仪器仪表（2%）。全球范围内来看，半导体零部件龙头企业以海外厂商为主，通常聚焦在某一细分领域，国内厂商可分品类逐步实现替代。 ➢ 半导体设备零部件在设备成本占比较高，对应市场空间广阔。根据中微公司招股说明书，直接材料约占公司设备成本的 90%以上，假设半导体设备毛利率为45%，则半导体零部件市场约为设备市场规模的 49.5%。以 2023 年全球半导体设备市场规模（1009 亿美元）测算，对应全球半导体设备零部件市场规模约为499 亿美元，2023 年中国半导体设备零部件市场规模合计约为 181 亿美元。而当前国产零部件自给率仍然较低，除石英、套环等少数部件外，大部分零部件自给率不足 10%。可靠性为关键壁垒，半导体零部件验证周期较长。 ➢ 半导体零部件厂商有望受益于来自晶圆厂及设备厂双重国产化机遇。从海外制裁加剧风险及供应链安全考量，国内半导体设备零部件厂商有望受益于 1）品类扩充及渗透率的提升，通过研发符合更先进制程设备的产品，以及提高在国产设备中的渗透率，公司市占率有望持续提升；2）国内半导体设备厂商市占率提升，下游扩产采购国产零部件比例提升。参照台积电南京厂扩产 2 万片 16nm 芯片产能所需的刻蚀设备数量，我们测算对应的零部件（腔体、内衬、加热器等）价值量约为 7787 万元。 ➢ 投资建议：国内半导体设备零部件厂商不断实现技术突破及品类扩充，建议关注：1）国内先进陶瓷结构件核心供应商：珂玛科技；2）刻蚀、沉积核心设备零部件供应商：先锋精科；3）半导体金属精密零部件：富创精密；4）国内半导体级真空管道、管件、阀门供应商；新莱应材。 ➢ 风险提示：下游行业波动的风险；研发投入不足导致技术被赶超或替代的风险。 推荐 维持评级 [Table_Author] 分析师 李哲 执业证书： S0100521110006 邮箱： lizhe_yj@mszq.com 分析师 罗松 执业证书： S0100521110010 邮箱： luosong@mszq.com 相关研究 1.机械行业 2025 年度投资策略：攻守并重，紧跟需求边际变化及新质生产力发展-2024/12/23 2.一周解一惑系列：机器人可能延伸新方向，具身智能与特种机器人-2024/12/22 3.一周解一惑系列：煤化工项目加速落地，设备需求稳步提升-2024/12/16 4.一周解一惑系列：叠栅技术助力光伏降本增效，关注核心材料+设备厂商-2024/12/08 5.一周解一惑系列：海风迎来快速增长期，重视深远海趋势下投资机会-2024/12/02 行业动态报告/机械 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 2 目录 1 美国制裁沿产业链延伸，上游国内厂商受益 ............................................................................................................. 3 1.1 制裁升级或推动产业链上游国产化加速 ........................................................................................................................................ 3 1.2 半导体设备国产化率有待提升 ......................................................................................................................................................... 5 2 半导体零部件设备国产替代空间广阔 ........................................................................................................................ 7 2.1 半导体设备零部件直接影响设备可靠性及稳定性 ....................................................................................................................... 7 2.2 半导体设备零部件龙头以海外厂商为主 ...................................................................................................................................... 10 2.3 半导体设备零部件市场空间测算 .................................................................................................................................................. 11 3 投资建议 ..............................................................................................................................................