京仪装备：国内半导体专用温控/废气处理设备专精特新“小巨人”

1中邮证券2024年4月14日京仪装备：国内半导体专用温控/废气处理设备专精特新“小巨人”证券研究报告股票投资评级：买入|首次覆盖吴文吉中邮证券研究所 电子团队2单腔双腔京仪装备 · 业务版图集成电路装备+泛半导体领域2016年成立2023年上市集成电路工艺腔体Process chambers晶圆传片设备Wafer Sorter半导体专用温控设备Chiller半导体专用工艺废气处理设备Local Scrubber二端口四端口在制程中主要应用于晶圆的下线、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序以及有翻片需求的工艺，批量应用于逻辑芯片90nm-28nm等各种工艺需求✓ 主要应用于12吋集成电路制造产线中刻蚀、薄膜、扩散等工艺，用于将各工艺环节中产生的工艺废气进行无害化处理，批量应用于90nm-28nm逻辑芯片、64层-192层3D NAND存储芯片等各种工艺需求；✓ 适配泛林半导体、东京电子、应用材料、日本国际电气、中微公司、北方华创、屹唐股份等设备公司的主工艺设备单通道双通道三通道✓ 在制程中主要对反应腔进行温度控制，主要应用于12吋晶圆前道刻蚀、化学气相沉积等工艺，批量应用于逻辑芯片90nm-14nm，64层-192层3D NAND存储芯片等各种工艺需求；✓ 适配泛林半导体、东京电子、应用材料、中微公司、北方华创、屹唐股份等设备公司的主工艺设备生产性服务资料来源：公司招股说明书，中邮证券研究所请参阅附注免责声明3➢ 深耕半导体专用温控/工艺废气处理设备，龙头客户大批量装机形成先发优势，新客户导入及放量顺利。公司主要销售收入来自半导体专用设备产品：2022年，半导体专用温控设备/半导体专用工艺废气处理设备/晶圆传片设备的收入占比分别为56.28%/40.30%/3.42%。2020-2022年，主要客户（指长江存储、中芯国际、华虹集团等存在公开披露产能信息的客户）向公司采购半导体专用温控设备/半导体专用工艺废气处理设备的比例占产能需求量的比例较为稳定，逐年增长，各自整体处于50%-60%/10%-20%区间。同时公司持续积极拓展新客户，2022年度，公司拓展了长鑫集电（北京）存储技术有限公司、芯恩（青岛）集成电路有限公司、上海鼎泰匠芯科技有限公司等超过20家新客户，新客户开拓成效显著。➢ 凭借早期技术与客户积累把握发展窗口期，不断打磨技术高筑技术壁垒，市占率不断提升。公司成立初期存在一定的技术积累和客户资源积累，后续在晶圆制造技术不断变更迭代及设备国产替代加速的两大市场契机的推动下，公司发展迎来了不可复制的发展窗口期，公司凭借产品性能优势、国产化优势、突出的服务能力等取得或中标长江存储、大连英特尔等行业主要客户订单，后续凭借完善突出的服务能力和持续强大的研发支持，满足客户不断迭代的产品需求，市场占有率逐步提升，2020/2021/2022年公司半导体专用温控设备国内市占分别为22.05%/26.96%/35.73%，半导体专用温控设备国内市占分别为13.66%/15.74%/15.57%，公司是目前国内唯一一家实现半导体专用温控设备大规模装机应用的设备制造商，也是目前国内极少数实现半导体专用工艺废气处理设备大规模装机应用的设备制造商，公司产品技术水平国内领先、国际先进。➢ 先进制程扩产带来更多设备投资，半导体专用工艺废气处理和晶圆传片设备仍有较大市占率提升空间。受益于先进制程带来更高设备投资等驱动，全球半导体设备有望24年开启新一轮增长，2025年进一步增长，SEMI预计中国大陆将增加其在全球半导体 产 能 中 的 份 额 ， 继 续 引 领 产 能 扩 张 。 公 司 谨 慎 性 估 计 2023/2024/2025 年 国 内 新 增 12 吋 晶 圆 等 效 产 能 分 别 为548.50/606.39/593.89千片/月。受益于国内晶圆厂扩产，尤其是先进制程的推进，以及公司产品在先进制程的优势（公司半导体专用温控设备产品主要用于90-14nm逻辑芯片以及64-192层3D NAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产；半导体专用工艺废气处理设备产品主要用于90-28nm逻辑芯片以及64-192层3D NAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产；晶圆传片设备产品主要用于90-28nm逻辑芯片制造中若干关键步骤的大规模量产），公司可覆盖市场空间将稳健增长。考虑到公司半导体专用工艺废气处理和晶圆传片设备的国内市场份额较低，未来份额提升亦将带来可观的收入增量。投资要点请参阅附注免责声明资料来源：QY Research，公司招股说明书等，中邮证券研究所4投资要点请参阅附注免责声明➢ 盈利预测：我们预计公司2023-2025年营业收7.42/10.37/13.97亿元，归母净利润1.18/1.94/2.62亿元，对应2023/2024/2025年的PE分别为60/37/27倍，首次覆盖，给予“买入”评级。➢ 风险提示：贸易摩擦与地缘政治矛盾导致的经营风险；行业政策变动风险；下游扩产不及预期风险；市场竞争风险；技术研发风险。资料来源：公司公告，中邮证券研究所盈利预测和财务指标项目\年度2022A2023E2024E2025E营业收入(百万元)664 742 1,037 1,397 增长率(%)32.38 11.84 39.71 34.68 EBITDA(百万元)118 147 219 298 归属母公司净利润(百万元)91 118 194 262 增长率(%)54.95 29.28 64.40 35.52 EPS(元/股)0.54 0.70 1.15 1.56 市盈率（P/E）78.10 60.41 36.75 27.11 市净率（P/B）12.98 3.68 3.35 2.98 EV/EBITDA-1.42 38.00 25.46 18.51 5凭借早期技术与客户积累把握发展窗口期，不断打磨技术高筑技术壁垒，市占率不断提升二盈利预测四目录一深耕半导体专用温控/工艺废气处理设备，龙头客户大批量装机形成先发优势，新客户导入及放量顺利先进制程扩产带来更多设备投资，半导体专用工艺废气处理和晶圆传片设备仍有较大市占率提升空间三6一深耕半导体专用温控/工艺废气处理设备，龙头客户大批量装机形成先发优势，新客户导入放量顺利7请参阅附注免责声明股权结构：北京市国资委为实控人资料来源：iFind，中邮证券研究所芯链融创集成电路产业发展（北京）有限公司北京市国资委京仪装备湖北三维半导体集成创新中心有限责任公司图表1：公司股权结构（截止2024年4月9日）4.31%实控人北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司安徽京仪自动化装备技术有限公司3.70%控股 100%北京控股集团有限公司北京京仪集团有限公司安徽北自投资管理公司（有限合伙）其他控股 100%控股 100%员工持股平台39.38%24.08%36.54%50%81.50 1.92 2.50 3.17 0.361.051.842.272.31 3.49 5.01 6.64 7.42 0.02.04.06.08.020192020202120222023E半导体专用温控设备半导体专用工艺废气处理设备晶圆传片设备零配件及支持性设备维护、维修等服务技术