半导体化工材料专题报告：含氟半导体化学品行业分析框架

请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告 | 2023年04月26日含氟半导体化学品行业分析框架证券分析师：杨林010-88005379yanglin6@guosen.com.cnS0980520120002行业研究 · 专题报告精细化工 · 半导体化工材料证券分析师：薛聪010-88005107xuecong@guosen.com.cnS0980520120001证券分析师：刘子栋021-61761041liuzidong@guosen.com.cnS0980521020002证券分析师：张玮航0755-81981810zhangweihang@guosen.com.cnS0980522010001联系人：余双雨021-60375485yushuangyu@guosen.com.cnS0980123040104请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容摘要◆ 电子特气：电子特气在全球晶圆制造材料细分市场中占比约15%，是第三大晶圆制造材料。我国电子特气市场规模约196亿元，2025年达到316.6亿元，2016-2025年CAGR为14.2%。电子特气行业规模的高增速主要系国家政策大力支持与下游行业需求旺盛所致。我国应用于集成电路的电子特气占比约为43%，显示面板、LED、光伏占比分别为21%、13%与6%。此外，ChatGPT及AIGC算力需求增加也将会促使相关企业加大对算力设备的采购，而近年来国内晶圆厂也处于密集扩产的周期，以上诸多因素均会有力带动上游原材料电子特气需求强劲增长。目前，国内电子特气自给率不足15%，但在部分技术上已实现突破。此前制约国内电子特气企业发展的主要因素是认证壁垒和市场壁垒，而在限制政策下国内下游厂商优先选择国内电子特气企业进行配套，认证周期有望缩短。未来，凭借产能扩张速度快、人工及原材料成本低等本土化优势，国产电子特气的渗透率将不断提升。◆ 湿电子化学品：中国电子材料行业协会数据显示，2021年度，全球湿电子化学品使用总量达到458.3万吨，未来全球湿化学品需求增长的主要驱动力来源于多座晶圆厂的建成投产及OLED面板产业的发展，预计到2025年全球湿电子化学品总需求量则将达到697.2万吨。目前全球湿电子化学品市场中欧美传统老牌企业市场份额约为31%，日本企业市场份额约为29%，韩国、中国的市场份额合计约为39%。近年来，国内湿电子化学品企业的生产能力、技术水平及市场规模都得到快速发展，替代欧美、日本同类产品趋势明显。主要产品电子级氢氟酸方面，国内在建及规划的电子级氢氟酸产能较大，但主要为低等级产品，目前国内能够生产UPSSS级（G5级）电子氢氟酸的企业仅5家左右。◆ 氟化液：AIGC及ChatGPT算力液冷服务器进入起步阶段，半导体氟化液清洗剂国产化进程空间广阔。氟化液液冷方面，据我们测算，40kW/柜的机柜单台需氟化液用量约500L。据“大话IDC”测算，液冷服务器迈入规模应用的时间是2026～2027年。从性能上看，氟化冷却液是目前较适合用于数据中心液冷系统的冷却液，浸没式液冷数据中心的加速扩张有望同步带动冷却液（尤其是氟化液）的需求。除冷却液外，氟化液还可用于半导体清洗剂、作为半导体蚀刻工艺中晶圆表面控温的关键供应链原料等。我们认为，电子氟化液中长期国产替代空间广阔，叠加受益于3M计划于2025年全面退出PFAS业务，我国氟化液企业将迎来广阔市场机会。◆ 行业相关标的：1）电子特气：【华特气体】、【金宏气体】、【昊华科技】、【凯美特气】、【中船特气】。2）湿电子化学品：【巨化股份】、【兴发集团】、【多氟多】、【新宙邦】。3）氟化液：【巨化股份】、【永和股份】、【新宙邦】。◆ 风险提示：宏观经济波动和下游行业周期波动的风险；市场竞争加剧的风险；主要原材料价格上涨的风险等。请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容电 子 特 气 ： 行 业 壁 垒 颇 高 ， 国 产 替 代 加 速1.2国 产 替 代 + 新 需 求 放 量 拉 动 电 子 特 气 需 求1.3目录主要含氟电子特气产品行业格局梳理1.4电 子 气 体 及 电 子 特 气 行 业 发 展 概 况1.1含氟特种气体行业格局梳理1风险提示末页全球电子特气行业竞争格局1.5相关上市公司简介4氟化液市场前景梳理3氟化液浸没 式冷却液技 术3.2氟化液：重 要的半导体 清洗剂 /冷却 液3.1电子级氢氟 酸行业格局 梳理2.1含氟湿电子化学品行业格局梳理2氟化液是理 想的冷却液3.3请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容含氟特种气体行业格局梳理1目录返回目录请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容电子气体及电子特气行业发展概况1.1目录返回目录请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容电子气体：工业气体“塔尖”产品，半导体材料的“粮食”图：电子气体产业链➢ 电子气体被称为半导体材料的“粮食”，包括电子特种气体和电子大宗气体。电子特种气体(简称电子特气)，是指用于半导体、显示面板及其它电子产品生产的特种气体。在整个半导体行业生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子特气，所用气体的品种多、质量要求高。电子大宗气体主要指满足半导体领域要求的高纯度和超高纯度大宗气体，包括氮气、氧气、氩气和压缩空气等，在半导体制程中用量大且覆盖85%以上环节的应用，主要用作环境气、保护气等。➢ 电子气体在集成电路生产中主要用于蚀刻和掺杂，是集成电路制造的血液。集成电路中用于刻蚀和掺杂的电子气体比例最高，分别占比36%和34%，一方面电子气体是当前刻蚀环节中的主要刻蚀剂；另一方面电子气体作为主要掺杂剂，在掺杂环节中为其提供掺杂元素。资料来源：派瑞特气招股说明书，国信证券经济研究所整理请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容国家政策大力鼓励电子气体产业的发展◆ 电子气体作为新材料领域的关键性材料之一，近年来得到国家政策的大力支持。近年来，国家发改委、科技部、工信部、财政部等多部门相继出台《“十三五”国家战略新兴产业发展规划》、《新材料产业指南》等指导性文件，均明确提及并部署了工业气体产业的发展，并且对于电子气体确立了其新材料产业属性，有力推动了工业气体产业的发展。资料来源：国家发改委、科技部、工信部、财政部等官网 ， 国信证券经济研究所整理图：近年国家发布工业气体相关政策发布时间政策名称主要内容2009《国家火炬计划优先发展技术领域》将“专用气体”列入优先发展的“新材料及应用领域”中的电子信息材料2012《电子基础材料和关键元器件“十二五”规划》将起高纯度氨气等外延材料、高纯电子气体和试剂等列入重点发展任务2012《新型显示科技发展“十二五”专顶规划》提出开发高纯特种气体材料等，提高有机发光显示产品上游配套材料国产化率2013《产业结构调整指导目录（2011年版）》将电子气等新型精细化学品的开发与生产列入“第一类鼓励类”产业2016《国家重点支持的高新技术领域目录》在“四、新材料”之“（五）精细和专用化品"之"2、电子化学品制备及应用技术"学中明确指出包括"特种（电子）气体的制备及应用技术”2016《“十三五”国家战略新兴产业发展规划》优化新材料产业化及应用环境，