半导体设备中标专题（2022年7月）：晶圆厂扩产回升，万业企业子公司中标上海积塔多台刻蚀、沉积设备

请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 [Table_Main] 证券研究报告 | 行业专题 机械设备 2022 年 08 月 01 日 机械设备 优于大市（维持） 证券分析师 倪正洋 资格编号：S0120521020003 邮箱：nizy＠tebon.com.cn 研究助理 杨云逍 邮箱：yangyx＠tebon.com.cn 市场表现 相关研究 1.《PMI 点评：7 月制造业 PMI 环比-1.2pp 为 49.0%，整体景气度转弱，但其中专用设备等行业产需继续恢复》，2022.7.31 2.《——第 37 期周观点-船厂优先承接高附加值船型，油价波动不改油服行业景气度向上》，2022.7.24 3.《——第 36 期周观点-二季度 GDP同比+0.4%实现正增长，政策效应显现，船舶订单改善》，2022.7.16 4.《金融体系助力工业稳增长，6 月单月社融及信贷超预期，继续跟踪制造 业 景 气 度 后 续 向 上 拐 点 》 ，2022.7.11 5.《——第 35 期周观点-国际油价大幅波动不改油服行业景气度向上，船 舶订单改善》，2022.7.9 半导体设备中标专题（2022 年 7 月）：晶圆厂扩产回升，万业企业子公司中标上海积塔多台刻蚀、沉积设备 [Table_Summary] 投资要点：  2022 年 7 月国内主流晶圆厂共开标 76 台工艺设备，上海积塔为扩产主力。我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯 10 家中国大陆主要的 IDM 或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022 年 7 月国内 10 家主流晶圆厂共开标 76 台工艺设备，主要来自上海积塔（40 台）、华虹无锡（35台）、福建晋华（1 台）。22 年 1-7 月合计开标 624 台工艺设备，主要来自华虹无锡（326 台）、上海积塔（250 台）、福建晋华（24 台）、时代电气（16 台）、华力集成（6 台）、华力微电子（2 台）。  炉管、刻蚀、前道检测设备为 2022 年 7 月国内晶圆厂主要开标设备。2022 年 7月开标的 76 台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（44 台）、刻蚀设备（10 台）、前道检测设备（9 台）、沉积设备（8 台）、清洗设备（4 台）、涂胶显影设备（1 台）。2022 年 1-7 月开标的 624 台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（163 台）、沉积设备（105台）、刻蚀设备（92 台）、前道检测设备（73 台）、后道测试设备（46 台）、清洗设备（37 台）、干法去胶设备（31 台）、离子注入机（28 台）、抛光设备（21台）、涂胶显影设备（18 台）、光刻机（10 台）。  受国内刻蚀、干法去胶、涂胶显影等设备厂家拉动，中标国产率持续提升。2022年 7 月中国大陆设备中标数量为 37 台，国产率达 48.68%。2022 年 1-7 月开标的624 台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计 226 台，占比达 36.2%。分晶圆厂看，2022 年 1-7 月，上海积塔设备国产率超 60%；分设备看，2022 年 1-7 月国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率 81%）、刻蚀设备（59%）、清洗设备（51%）、抛光设备（43%）、涂胶显影设备（39%）、沉积设备（34%）。聚焦 7 月份国内中标厂商，嘉芯迦能（万业企业子公司，中标 12 台）、嘉芯闳扬（万业企业子公司，9 台）、屹唐（4 台），排名靠前，持续体现国内厂家在刻蚀、沉积、前道检测、炉管等设备环节的强势地位。  投资建议：重点关注国内半导体设备龙头北方华创（002371）；高端刻蚀设备龙头中微公司（688012）；持续突破高端后道测试机的长川科技（300604）、华峰测控（688200）；涂胶显影与单片清洗不断突破前道环节的国内半导体设备小巨人芯源微（688037）；半导体薄膜沉积龙头拓荆科技（688072）；12 寸 CMP 设备龙头华海清科（688120）；国产清洗设备领军企业盛美上海（688082）、至纯科技（603690）；离子注入机领先企业万业企业（600641）；半导体环保设备领先企业盛剑环境（603324）等。  风险提示：晶圆厂扩产不及预期、设备公司研发不及预期、中美贸易摩擦风险。 -26%-17%-9%0%9%2021-082021-122022-04沪深300 行业专题 机械设备 2 / 12 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 内容目录 1. 2022 年 7 月主流晶圆厂开标量回升，上海积塔贡献主要增量 ..................................... 4 1.1. 2022 年 7 月国内主流晶圆厂公开标 76 台设备 .................................................... 4 1.2. 分晶圆厂看：上海积塔 7 月开标 40 台设备，华虹无锡开标 35 台设备 .............. 5 1.3. 分设备看：沉积、前道检测、刻蚀设备贡献 2022 年 7 月主要扩产增量 ............ 6 2. 设备国产率：刻蚀、干法去胶等设备国产率较高 ........................................................ 7 2.1. 分晶圆厂看：上海积塔 2022 年 1-7 月设备中标国产率超 60% .......................... 7 2.2. 分设备看：2022 年 1-7 月干法去胶、刻蚀、清洗、离子注入国产率较高 .......... 8 3. 7 月中标较多的中国大陆厂家为嘉芯迦能、嘉芯闳扬、屹唐等 .................................... 9 4. 投资建议 .................................................................................................................... 11 5. 风险提示 ...............................................................................