半导体设备行业系列深度报告之：把握半导体设备国产化大周期

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022 年 5 月 16 日 行业研究 把握半导体设备国产化大周期 ——半导体设备行业系列深度报告之一 电子行业 半导体设备在高端领域被美欧日垄断，是当前及未来国产化重点突破的领域。半导体设备在高端领域处于美欧日垄断状态，“卡脖子”问题突出，是当前及未来国产化重点突破的领域。随着国家扶持力度的不断加大，制造企业与国产设备企业的合作意愿较强，国产化进度加快，半导体设备是未来长周期必选的优质赛道。 中国大陆半导体设备销售额全球占比有望从 2021 年的 28%提升到 2023 年的32%，呈逐年上升的趋势。2020 年中国大陆半导体设备销售额为 187.2 亿美元，同比增长39.2%，占全球半导体设备市场的 26.3%，首次成为全球最大的半导体设备市场。我们预计中国大陆半导体设备销售额全球占比有望从 2021 年的 28%提升到 2023 年的 32%，由此测算，2021-2023 年中国大陆半导体设备销售额预计将达到 287.8/343.0/362.9 亿美元，同比增长 53.7%/19.2%/5.8%。 头部三家纯晶圆代工厂资本开支 2019-2022 年持续上行，2022 年半导体设备行业尚在景气周期之内。据 IC Insights 统计，三大纯晶圆代工厂 TSMC、UMC 和GlobalFoundries，2019-2022 年的资本支出分别为 149.37/172.4/300.43/420亿美元、5.66/9.52/17.55/30 亿美元和 7.73/5.92/17.66/45 亿美元，近三年均呈现快速增长态势，2022 年半导体设备行业尚在景气周期之内。 半导体设备行业投资建议：我们持续看好半导体设备国产替代的大趋势，重点推荐：（1）北方华创：品类最齐全的国产半导体设备龙头，国产化受益最大标的；（2）中微公司：国内半导体介质刻蚀设备龙头，CCP 刻蚀机市场份额不断提升，ICP 刻蚀机和薄膜沉积设备进展迅速，内生外延技术实力雄厚；（3）盛美上海：国内半导体清洗设备平台型龙头，积极布局镀铜、炉管、抛铜等设备，品类持续扩展中；（4）至纯科技：国内半导体清洗设备领军企业，单片湿法设备持续放量，有望成为高端湿法设备的领先者；（5）万业企业：国内半导体离子注入机龙头，离子注入机持续放量，嘉芯半导体和肯发有望进一步增厚业绩，平台型设备公司雏形已现；（6）芯源微：国内半导体涂胶显影设备龙头，物理清洗设备已实现国产替代；（7）华峰测控：半导体后道模拟及数模测试机龙头，积极布局功率器件测试机、海外市场和 SoC 类测试机；（8）光力科技：崛起中的国产半导体后道划片机龙头，上下游布局完整，技术实力全球领先；（9）精测电子：半导体前后道、面板和新能源三大检测业务协同发展。建议关注：拓荆科技、长川科技、华兴源创、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASM Pacific（H）。 风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 重点公司盈利与估值情况 序号 证券代码 公司名称 市值 （亿元） 净利润（百万元） PE 投资评级 22E 23E 24E 22E 23E 24E 1 002371.SZ 北方华创 1312 1,624 2,221 2,921 81 59 45 买入（维持） 2 688012.SH 中微公司 674 1,073 1,272 1,540 63 53 44 买入（维持） 3 688082.SH 盛美上海 386 438 657 891 88 59 43 买入（首次） 4 603690.SH 至纯科技 111 381 555 726 29 20 15 买入（维持） 5 600641.SH 万业企业 157 522 590 673 30 27 23 买入（维持） 6 688037.SH 芯源微 100 142 209 280 70 48 36 买入（首次） 7 688200.SH 华峰测控 224 607 823 1,084 37 27 21 买入（首次） 8 300480.SZ 光力科技 56 208 297 404 27 19 14 买入（首次） 9 300567.SZ 精测电子 101 284 348 426 35 29 24 增持（首次） 资料来源：Wind、光大证券研究所整理及预测；股价时间为 2022-05-13，2022-2024 年为光大证券研究所预测； 买入（维持） 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 分析师：王锐 执业证书编号：S0930517050004 010-56513153 wangrui3@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 行业与沪深 300 指数对比图 资料来源：Wind 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 电子行业 投资聚焦 研究背景 2019 年 5 月 15 日，美国商务部将华为列入出口管制的实体清单，美国技术比例限制为 25%，随后 2020 年 5 月 15 日将 25%的限制比例调整为凡是含有美国技术皆需美国行政许可，限制比例变为 0%。2020 年 10 月 4 日中芯国际发布公告，美国 BIS 已根据美国出口管制条例对于向中芯国际出口的部分美国设备、配件及原物料进行限制，随后 2020 年 12 月 4 日美国商务部将中芯国际及其部分子公司及参股公司列入“实体清单”，限制中芯国际在 10nm 及以下技术节点获取相关设备，直接导致中芯国际未来将扩产的重心放在了成熟制程上。随着华为和中芯国际被制裁，设备国产化成为迫切需求，正式开启了本轮国产替代的黄金浪潮。 我们区别于市场的观点 有别于市场认为 2021 年之后半导体设备行业增速有所下滑，晶圆厂资本支出增速变缓，我们认为国内半导设备行业成长的核心逻辑是国产化率的提高，行业增速下滑不改国产化大趋势，是未来比较确定的长周期优质赛道。半导体设备行业景气度与国产替代进度、晶圆厂扩张以及技术迭代息息相关，国产替代进度和晶圆厂扩张决定着当前景气周期内对国产半导体设备的需求，技术创新带来的技术迭代则不断驱动着半导体设备的需求长周期持续向上，但国产替代才是本轮半导体设备景气度高企的核心驱动力。2021 年很多国产半导体设备实现了 0-1 的跨越，2022 年将逐步进入到 1-N 的放量过程，预计国产替代的进度将不断加快，我们持续看好半导体设备国产替代的逻辑，是未来的长周期优质赛道。 投资观点 半导体设备在高端领域处于美欧日垄断状态，是当前及未来国产化重点突破的领域。随着国家扶持力度的不断加大，制造企业与国产设备企业的合作意愿较强，国产化进度加快，市占率不断提升，半导体设备是未来必选的长周期优质赛道。 重点推荐：（1）北方华创