深度报告：立足核心赛道，前道设备迎来全面突破

0·YOY 立足核心赛道，前道设备迎来全面突破 [Table_CoverStock] —芯源微（688037.SH）深度报告 [Table_ReportTime] 2021 年 12 月 14 日 [Table_CoverAuthor] 李少青 电子行业分析师 S1500520080004 +86 18616987704 lishaoqing@cindasc.com [Table_CoverReportList] 请阅读最后一页免责声明及信息披露 http://www.cindasc.com 2 证券研究报告 公司研究 [Table_ReportType] 深度报告 [Table_StockAndRank] 芯源微(688037.SH) 投资评级 买入 上次评级 [Table_Chart] 资料来源：万得，信达证券研发中心 [Table_BaseData] 公司主要数据 收盘价（元） 210.34 52 周内股价 波动区间(元) 75.32-302.35 最近一月涨跌幅(％) -4.82 总股本(亿股) 0.84 流通 A 股比例(％) 53.2 总市值(亿元) 177 资料来源：万得，信达证券研发中心 信达证券股份有限公司 CINDA SECURITIES CO.,LTD 北京市西城区闹市口大街9号院1号楼 邮编：100031 [Table_Title] 立足核心赛道，前道设备迎来全面突破 [Table_ReportDate] 2021 年 12 月 14 本期内容提要: [Table_Summary] 前道涂胶显影设备国内唯一供应商。公司主营业务为光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，立足晶圆制造光刻环节的黄金赛道。2020 年以来公司业绩迎来爆发式增长，21 年 Q1-Q3 公司实现营收 5.47 亿元，同比高增 158.20%，主要得益于涂胶显影后道设备旺盛需求、前道设备开始贡献业绩以及单片湿法设备的超预期表现。截止 Q3 公司在手订单 13.31 亿元，较 20 年末新增 5.63 亿元，其中前道新签订单同比增长 221%，后道新签订单同比增长 217%。为应对下游需求的增长，公司持续加大扩产力度，宣布定增预案，将募集资金不超过 10 亿元，进行上海临港和沈阳二期两处项目扩产。供需两侧的同步扩张将奠定公司长期高增基础。 涂胶显影：空间广阔，国产替代渡过起步期。涂胶显影是光刻环节的核心工序，在前道晶圆制造、后道先进封装、LED 等领域均有可观的用量。涂胶显影设备市场亦稳步增长，据 VLSI 数据，2021 年全球涂胶显影设备市场规模将达 23 亿美元。而当前市场格局呈现日本东京电子一家独大的场面，占据全球 91%的市场份额。芯源微在后道涂胶显影领域有丰富、成熟的产品线，产品广泛应用于先进封装各环节，为国内领军者。自 18 年以来，公司前道设备亦有顺利突破，Offline 设备在上海华力通过验证并完成验收，i-line、Krf、Arf 设备亦在长江存储、中芯绍兴、青岛芯恩等主流晶圆厂相继获得订单。 湿法设备：产品线铺开，蓄势第二增长曲线。基于涂胶显影的技术积累，公司拓展单片湿法设备业务，横向延伸，成长空间打开。根据台湾工研院数据，2020 年全球湿法设备市场规模为 49 亿美元，占半导体设备市场规模近 10%，并随先进工艺带来的清洗步骤增加而持续增长。芯源微则在单片湿法设备有较广泛的覆盖，清洗、去胶、刻蚀均有布局，在物理刷片清洗领域为国内龙头，在中芯国际、上海华力等多个客户处通过验证，并获国内多家 Fab 厂商的批量重复订单。 盈利预测与投资评级：我们预计公司 2021/22/23 年，营收分别为7.62/12.51/17.60 亿元，对应当前股价 PS 分别为 23/14/10 倍。对比同行业可比公司，芯源微当前估值仍处于合理区间。公司作为涂胶显影设备龙头，前道设备顺利突破，市占率有望持续提升。首次覆盖，给予“买入”评级。 风险因素：行业周期性波动风险；下游客户扩产不及预期风险；国际贸易摩擦风险。 主要财务指标 主要财务指标 2019 2020 2021E 2022E 2023E 营业总收入 213.16 328.90 761.75 1,251.00 1,760.00 同比(%) 1.51% 54.30% 131.61% 64.23% 40.69% 归属母公司净利润 29.28 48.83 87.69 140.69 204.77 同比(%) -3.94% 66.79% 79.58% 60.44% 45.55% 毛利率(%) 46.62% 42.58% 41.11% 41.93% 43.48% ROE(%) 6.01% 6.29% 10.43% 14.81% 18.33% EPS（摊薄）（元） 0.35 0.58 1.04 1.67 2.43 P/E 604 363 202 126 86 [Table_ReportClosing] 资料来源：万得，信达证券研发中心预测 ; 股价为 2021 年 12 月 13 收盘价 -50%0%50%100%150%200%250%20-1221-0121-0221-0321-0421-0521-0621-0721-0821-0921-1021-11芯源微沪深300 请阅读最后一页免责声明及信息披露 http://www.cindasc.com 3 投资聚焦 公司目前正处于前道涂胶显影设备验证通过，开始批量出货的拐点，放量在即。前道涂胶显影市场东京电子一家独大，占据 90%的市场份额，而芯源微是目前国内唯一有前道量产机型的涂胶显影供应商。公司 offline 设备已在下游客户验证通过，i-line、Krf 设备亦有顺利的验证进展，在手订单饱满，有望在 22-23 年实现放量增长。后道设备方面，公司更是国内市场领先者，产品广泛应用于 Bumping、WLCSP、Fanout 等多种先进封装工艺， 物理清洗龙头，在手订单饱满。公司单片式湿法设备已有 20%以上收入占比，在物理清洗领域为国内龙头，化学清洗亦在积极研发中。单片湿法设备与涂胶显影设备有技术共通性，公司有望实现内生外延，在湿法领域获得快速成长。 请阅读最后一页免责声明及信息披露 http://www.cindasc.com 4 目 录 投资聚焦 ......................................................................................................................................... 3 一、芯源微：前道涂胶显影设备国内唯一供应商 ...................................................................... 6 1、国内半导体设备厂商五强，打破国外涂胶显影设备垄断 .......................................