机械设备行业半导体设备系列研究十五：从盛美股份看国产半导体设备成长路径与发展潜力

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 25 [Table_C ontacter] 本报告联系人： [Table_Page] 行业专题研究|机械设备 2020 年 7 月 3 日 证券研究报告 [Table_Title] 半导体设备系列研究十五 从盛美股份看国产半导体设备成长路径与发展潜力 [Table_Author] 分析师： 周静 分析师： 罗立波 分析师： 许兴军 SAC 执证号：S0260519090001 SAC 执证号：S0260513050002 SAC 执证号：S0260514050002 021-60750636 021-60750636 021-60750532 zhoujing@gf.com.cn luolibo@gf.com.cn xuxingjun@gf.com.cn 分析师： 代川 SAC 执证号：S0260517080007 SFC CE.no: BOS186 021-60750615 daichuan@gf.com.cn 请注意，周静,罗立波,许兴军并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 [Table_Summary] 核心观点：  盛美股份：国内半导体清洗设备龙头。公司是中国大陆少数具有一定国际竞争力的半导体专用设备提供商。受益于主要客户的积极扩厂、市场份额的持续提升，2019 年公司收入 7.57 亿元，同比增长 37.5%，2017-2019年收入年均复合增速 72.6%；2019 年实现归母净利润 1.3 亿元，同比增长 82.7%。2019 年公司毛利率与净利率分别为 45.1%、21.7%。公司走差异化的自研道路，面向未来持续追求技术先进性，目前已经形成了丰富的产品线，包括清洗设备、电镀设备、先进封装湿法设备、无应力抛光设备、立式炉管设备。  清洗设备：实现高速增长，产品覆盖面持续扩大。根据 Gartner，2018 年全球半导体清洗设备市场规模 34 亿美元。根据公司招股说明书，公司全球首创的 SAPS/TEBO/Tahoe 技术达到国际领先水平，可应用于 45nm 及以下技术节点的晶圆清洗领域，覆盖单片清洗设备 50%以上市场。根据我们统计，盛美在主要客户份额达到 10%以上，部分 20%以上，成为客户第二/第三大清洗设备供应商，与国外巨头 DNS、LAM 直接竞争，表现出在部分领域赶超国际龙头的实力与潜质。目前公司 SAPS 设备持续扩大份额，TEBO 设备在逻辑厂商完成初步验证，Tahoe 单片槽式组合清洗设备于 2019 年实现首次销售。此外，公司槽式清洗设备于 2019 年实现首次销售，前道刷洗设备也成功研发首台设备并进入客户验证。  电镀设备：达到国际先进水平，逐步放量。根据 Gartner，2018 年全球半导体电镀市场规模约 5 亿美元。根据招股书，公司铜互连电镀设备达到国际先进水平。其中后道先进封装电镀设备于 2018 年取得长电科技订单；前道铜互连电镀设备于 2019 年取得华虹集团的订单。在前道晶圆制造的电镀设备领域，目前全球市场主要被LAM 垄断。除 LAM 外，盛美半导体是全球范围内少数几家掌握芯片铜互连电镀铜技术核心专利的公司之一。  投资建议：中国半导体产业的自主化过程已经开启。当前阶段，投资关注两条线：（1）重点关注成熟的一线设备，包括北方华创（广发电子覆盖）、中微公司*、盛美股份（拟科创板上市）、华峰测控*；（2）关注新进设备企业。结合企业目前进度和赛道未来的空间和格局，我们认为检测、清洗、镀膜、长晶设备领域是有较大可能性的，重点上市企业包括晶盛机电、精测电子*、至纯科技等，非上市企业包括沈阳拓荆、华海清科等。（带*的为和广发电子联合覆盖）  风险提示：国内晶圆厂在海外封锁下投资进度不及预期；下游行业景气度不及预期；国内设备研发进展不及预期；专利和技术侵权风险。 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 25 [Table_PageText] 行业专题研究|机械设备 [Table_impcom] 重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 货币 最新 最近 评级 合理价值 EPS(元) PE(x) EV/EBITDA(x) ROE(%) 收盘价 报告日期 （元/股） 2020E 2021E 2020E 2021E 2020E 2021E 2020E 2021E 北方华创 002371 CNY 180.16 2020/04/26 买入 167.96 1.01 1.40 178.38 128.69 148.80 111.09 7.70 9.60 中微公司 688012 CNY 227.80 2020/04/29 买入 185.28 0.52 0.80 438.08 284.75 537.81 361.42 6.90 9.60 至纯科技 603690 CNY 44.63 2020/05/07 买入 50.67 0.90 1.50 49.59 29.75 32.35 19.65 13.50 18.40 华峰测控 688200 CNY 308.28 2020/05/14 增持 253.61 2.31 3.36 133.45 91.75 108.51 73.29 24.10 26.00 精测电子 300567 CNY 74.35 2020/02/05 买入 70.22 1.76 2.48 42.24 29.98 27.75 20.14 23.20 24.70 晶盛机电 300316 CNY 25.51 2020/05/03 买入 27.30 0.78 0.98 32.71 26.03 27.79 22.51 18.00 18.50 数据来源：Wind、广发证券发展研究中心 备注：表中估值指标按照最新收盘价计算 rQnOtNzQoPoOoRsRoRrNoP6M9R6MpNrRnPnNlOrRtMfQrRtN7NnPsQuOrMmNNZmRrO 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 25 [Table_PageText] 行业专题研究|机械设备 目录索引 一、盛美股份：国内半导体清洗设备龙头 .......................................................................... 5 二、起家：走差异化的自研道路，清洗设备精准卡位 ........................................................ 6 三、发展：以清洗设备为核心，步入快速增长通道 ............................................................ 9 四、未来：丰富产品线+技术先进性 .....