半导体行业国产湿法清洗龙头盛美回归：国产半导体设备进口替代突破口之清洗设备

请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 [Table_Title] 国产半导体设备进口替代突破口之清洗设备 [Table_Title2] 国产湿法清洗龙头盛美回归 [Table_Summary] ► 清洗贯穿全流程，随着制程难度增加、清洗步骤随之大增，对清洗设备需求也将提升。1）硅片的加工过程对洁净度要求非常高，几乎每一步加工都需要清除沾污，而且随着未来制程不断先进、所需清洗步骤不断增多，清洗设备需求量将成倍增长。2）目前晶圆清洗设备在晶圆制造设备中的采购费用占比约为 6%，清洗方式有湿法和干法两种，目前生产工艺中以湿法清洗为主、结合部分干法工艺，其中湿法设备主要有单片晶圆清洗设备、槽式晶圆清洗设备、洗刷机等。 ► 市场格局：日系占据主导地位，国产企业奋起直追。1）假设清洗设备晶占晶圆制造设备的比重稳定，我们粗略计算出全球半导体清洗设备 2019-2021 年的市场规模分别约为28.68、29.18、32.06 亿美元。2）未来半导体清洗设备行业增长的驱动力包括三部分：一方面是随着工艺的不断升级、制造流程增多，清洗频率也将有所增加，清洗设备的需求量将不断提升；二是集成电路制造工艺升级，芯片结构越发复杂、清洗难度升级，如 3D 结构等需要在对芯片无伤情况下对内部结构进行清洗；三是集成电路新型材料的出现，也对清洗工艺提出了新的需求。3）从清洗设备的配备数量来看，通常 4 万片产能的产线上，8 英寸线需要配备 50 台左右、12 英寸线需要 70 台左右，国外部分厂商可以达到 120 台的配备，包括槽式晶圆清洗设备和单片晶圆清洗设备。价格方面，6-8 个腔体的单片晶圆清洗设备价格在 300-400 万美元/台，槽式价格大概在 100-200 万美元/台。4）全球清洗设备市场中，日系企业占据绝对的主导地位，迪恩士（DNS）市场份额大约为 60%、东京电子（Tokyo Electron）大约为 30%，其他企业还有美国 Lam Research、韩国 SEMES 和KCTECH 等，后二者主要供给韩国市场。 ► 投资建议：国产企业奋起直追，龙头盛美回归在即。目前中国市场和国际市场范围内，主要的湿法设备厂商仍以日本和欧美为主，国内企业正奋起直追但占比仍较低，国内市场中预计合计占比不超过 10%，未来湿法工艺设备的挑战和机会都很大，目前国内湿法清洗设备供应商包括盛美半导体、北方华创、至纯科技、芯源微等，均将有所受益，尤其是龙头盛美兆声波单片清洗设备获得全球众多客户认可，子公司科创板 IPO 申请已正式获上交所受理。 风险提示： 海外疫情超预期；国产化进度不及预期；相关企业市场订单获取低于预期 评级及分析师信息 [Table_IndustryRank] 行业评级： 推荐 [Table_Pic] 行业走势图 [Table_Author] 分析师：刘菁 邮箱：liujing2@hx168.com.cn SAC NO：S1120519110001 分析师：俞能飞 邮箱：yunf@hx168.com.cn SAC NO：S1120519120002 联系人：田仁秀 邮箱：tianrx@hx168.com.cn 联系人：李思扬 邮箱：lisy3@hx168.com.cn -2%4%9%15%21%27%2019/062019/092019/122020/03专用设备沪深300证券研究报告|行业深度研究报告 仅供机构投资者使用 [Table_Date] 2020 年 06 月 16 日 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 2 正文目录 1. 清洗是前道制程中的重要环节 ............................................................................................................................................. 3 1.1. 清洗应用在制程多环节 ..................................................................................................................................................... 3 1.2. 清洗方法：干法与湿法、单片与槽式 ............................................................................................................................. 4 1.3. 清洗步骤需要不断重复去除沾污 ..................................................................................................................................... 7 2. 全球清洗设备日系占据主导地位，国产设备奋起直追...................................................................................................... 7 2.1. 2021 年全球半导体清洗设备市场规模约为 32 亿美元................................................................................................... 8 2.2. 全球市场格局——日系占据主导地位 ............................................................................................................................. 9 2.3. 大基金二期已起航，“卡脖子”设备环节有望获得重点投资 ...................................................................................... 9 3. 国内重点公司 ....................................................................................................................................................................... 11 3.1. 盛美股份——国内清洗设备领先企业，子公司将回归科创板 ..................................................................