半导体设备零部件行业深度研究报告：半导体设备之磐基，国产替代正当时

证 券 研 究 报 告 证监会审核华创证券投资咨询业务资格批文号：证监许可（2009）1210 号 半导体 2025 年 01 月 07 日 半导体设备零部件行业深度研究报告 推荐 （维持） 半导体设备之磐基，国产替代正当时 ❑ 零部件是半导体设备产业链的基石，各子赛道组成百亿美元市场。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是延续摩尔定律的关键所在，其中半导体设备零部件作为设备关键构成要素，是半导体行业发展的关键支撑。半导体设备零部件产品种类繁杂多样且验证周期长，行业技术、客户壁垒高企。据我们测算，全球半导体设备零部件市场 2024 年规模有望超过 540 亿美元，其中中国大陆市场规模约为 187 亿美元。根据富创精密招股说明书数据，机械类、电气类、机电一体类、气液真空系统类、仪器仪表类及光学类占半导体设备零部件市场的比例分别为 12%、6%、8%、9%、1%和 8%。展望未来，AI 等新兴应用的发展将助力半导体市场规模持续增长，进而带动晶圆厂设备支出、设备零部件市场规模不断提升。 ❑ 周期复苏明朗&国产替代正当时，半导体设备零部件行业迎来发展窗口期。2024 年以来，消费电子等终端需求持续改善叠加 AI、汽车电子等驱动行业革新，半导体行业周期复苏趋势明朗，行业需求回升促使全球晶圆厂持续扩产，带动设备支出增长，根据 SEMI 预测，2024 年全球晶圆厂设备支出将提升至1130 亿美元。外部政策方面，海外管制层层加码，2024 年 12 月 2 日，美国将多家中国半导体企业列入实体清单，其中包括：北方华创、拓荆科技、芯源微等多家半导体设备公司，半导体设备零部件国产替代紧迫性显著提升；与此同时，我国政策持续发力，2024 年 5 月成立的国家大基金三期有望加大对核心技术和关键零部件的支持力度。周期复苏、国产替代、政策支持等多重利好共振，国产半导体设备零部件产业链有望迎来加速发展窗口期。 ❑ 半导体设备关键零部件市场竞争格局较为集中，国产厂商凭技术优势/平台型布局前景可期。全球半导体设备零部件行业格局整体较为分散，根据 Yole 数据，2022 年行业 CR10 为 53%，但各细分赛道内部集中度高，其中静电卡盘、真空阀门、真空泵等被少数海外巨头垄断。以静电卡盘市场为例，该市场主要由日本和美国等企业主导，根据 QY Research 数据，2021 年前四大企业占据90%以上的全球市场份额。整体看国内半导体设备关键零部件产业尚处于发展初期，未来随着本土厂商技术实力的不断提升，叠加设备产业链国产替代进程加速，具备技术优势的国内企业有望率先导入下游头部客户，而充分内拓外延平台化布局的企业将具备广阔的成长空间。 ❑ 投资建议：半导体设备零部件作为产业基石，品类繁多、参与制造全流程，是决定半导体设备产业发展水平的关键因素。当前伴随行业周期复苏与 AI 驱动产业革新，晶圆厂扩产持续推进，叠加自主可控需求推动国产替代加速，建议关注国内零部件技术与布局领先的标的：富创精密、珂玛科技、英杰电气、新莱应材、江丰电子等。 ❑ 风险提示：下游客户验证不及预期；晶圆厂扩产进度不及预期；中美贸易摩擦加剧。 证券分析师：耿琛 电话：0755-82755859 邮箱：gengchen@hcyjs.com 执业编号：S0360517100004 证券分析师：岳阳 邮箱：yueyang@hcyjs.com 执业编号：S0360521120002 行业基本数据 占比% 股票家数(只) 162 0.02 总市值(亿元) 42,287.35 4.52 流通市值(亿元) 29,330.62 3.97 相对指数表现 % 1M 6M 12M 绝对表现 -8.5% 35.0% 23.7% 相对表现 -3.3% 25.1% 10.4% 相关研究报告 《半导体存储模组行业深度研究报告：景气复苏渐进叠加 AI 需求释放，存储新一轮行情蓄势待发》 2024-02-21 《半导体存储行业深度研究报告：供给侧收紧，需求侧放量——AI&车载新需求有望开启存储新周期》 2023-06-29 《半导体行业深度研究报告：国产替代进阶，国内 MCU 厂商砥砺前行》 2022-12-31 -21%4%29%54%24/0124/0324/0524/0824/1025/012024-01-08~2025-01-06半导体沪深300华创证券研究所 半导体行业深度研究报告 证监会审核华创证券投资咨询业务资格批文号：证监许可（2009）1210 号 投资主题 报告亮点 本报告主要分为三部分：第一部分是对半导体设备零部件产业链地位、产品种类情况进行了细致的分析与介绍；第二部分对半导体设备零部件的行业驱动力、市场空间、竞争格局等进行详细阐述；第三部分对建议关注的标的展开分析，包括发展历程、产品梳理及财务分析等情况。 投资逻辑 半导体周期复苏，晶圆厂扩产带来设备零部件需求。2024 年以来，消费电子终端需求逐渐回暖，AI、HPC、汽车电子等新兴领域蓬勃发展驱动产业发展，半导体周期复苏趋势明朗，促使全球晶圆厂持续扩产。根据 SEMI预测，2025 年全球半导体每月晶圆产能同比增长 7%，其中中国大陆贡献主要增长动力，产能同比增长 14%。晶圆厂扩产提升设备需求，而设备零部件作为设备关键构成要素，其性能优劣直接影响设备的整体性能，价值占比高，2023 年中国大陆主要半导体设备厂商直接材料占生产成本比例平均 90.23%。晶圆厂扩产浪潮下，半导体设备零部件供应商将迎来大量订单机会，业绩有望显著增长。 海外巨头垄断核心零部件，自主可控背景下国产替代进程有望加速。半导体设备零部件制造工序繁琐、技术难度大，行业内多数企业只专注于个别生产工艺或特定产品，故各细分赛道内部集中度高，其中静电卡盘、真空阀门、真空泵等技术难度高的核心零部件被少数海外巨头垄断。海外管制不断升级，2024 年 12 月 2 日，美国将多家中国半导体企业列入实体清单，其中包括：北方华创、拓荆科技、芯源微等多家半导体设备公司，半导体设备零部件国产替代紧迫性显著提升，国内半导体设备零部件厂商迎来广阔市场替代空间。建议关注国内零部件技术与布局领先的标的：富创精密、珂玛科技、英杰电气、新莱应材、江丰电子等。 半导体行业深度研究报告 证监会审核华创证券投资咨询业务资格批文号：证监许可（2009）1210 号 3 目 录 一、 零部件是半导体设备行业的基石，技术复杂产品种类众多 ....................................... 7 （一） 腔体及机械零部件 ............................................................................................... 9 （二） 传送装置类零部件 ...........................................................................................