半导体行业：工信部公布国产光刻机相关信息，自主可控提振信心

行业及产业 行业研究/行业点评 证券研究报告 电子/ 半导体 2024 年 09 月 17 日 半导体：工信部公布国产光刻机相关信息，自主可控提振信心 看好 相关研究 《半导体：荷兰政府扩大设备出口管制范围，国产替代重要性增强》 2024/09/07 《半导体：先进制程扩产有望加速，事件催化下关注半导体设备机会》 2024/03/29 证券分析师 李天奇 A0230522080001 litq@swsresearch.com 杨海晏 A0230518070003 yanghy@swsresearch.com 袁航 A0230521100002 yuanhang@swsresearch.com 联系人 李天奇 (8621)23297818× litq@swsresearch.com 本期投资提示： ⚫ 工信部官方文件披露国产 ArF 光刻机进入推广应用阶段。9 月 9 日，工信部公布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》，其中集成电路生产装备章节列示了氟化氪（KrF）光刻机、氟化氩（ArF）光刻机两项，意味着国产 KrF、ArF 光刻机已完成首台生产、进入推广应用阶段。 ⚫ 工信部列示的国产 ArF 光刻机对应制程≤65nm，预计为干式 DUV 光刻机。根据工信部文件所示的核心技术指标，该 ArF 光刻机分辨率≤65nm，即对应单次曝光关键尺寸≤65nm（通俗称即为制程≤65nm），预计为数值孔径（NA）相对较低的干式 ArF 光刻机。2018 年 3 月上海微电子的干式 ArF 光刻机 SSA600 通过验收，SSA600 最高可满足 12 寸线 90nm 光刻工艺需求，工信部列示的 ArF 光刻机与 SSA600 均为干式+ArF 光源，但制程更先进，预计因数值孔径有所增加、但仍有较大提升空间。 ⚫ 工信部列示的国产 ArF 光刻机套刻精度≤8nm，尚有提升空间。根据工信部文件所示的核心技术指标，该 ArF 光刻机套刻精度≤8nm，作为对标，当前 ASML 生产的干式ArF 光刻机主力机型 NXT:1470，其分辨率≤57nm、套刻精度≤4.5nm。套刻精度即多次光刻的图案层之间的对齐精度，多重曝光工艺对套刻精度的要求更高，预计工信部列示的 ArF 光刻机尚需提升套刻精度才能满足多重曝光工艺。 ⚫ 国产光刻机及光刻工艺技术持续进展，信息部分公开提振市场信心。此前国产光刻机相关公开信息较少，保密程度高，而 2024 年以来，3 月 22 日华为公开四重曝光工艺技术改进优化的专利，6 月 20 日工信部发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》公示稿（后于 9 月 9 日正式发布），9 月 10 日上海微电子公开“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的专利，国内光刻设备及曝光工艺公开信息增多，有助于提振市场信心。 ⚫ 工信部指导目录亦列示涂胶显影、CMP、量测等半导体设备。工信部在推广应用指导目录中，列举了涂胶显影机（工艺节点等于或优于 28nm）、化学机械抛光机（工艺节点等于或优于 14nm）、光学线宽量测装备等，其余亦包含湿法清洗、氧化炉、离子注入等环节装备，当前国产半导体设备多领域处于研发突破关键阶段，短板领域未来有望加速补齐，助力先进制程产线国产化率进一步提升。 ⚫ 投资分析意见：官方披露核心设备进展提振市场信心，国产光刻机相关产业链受益，国内晶圆厂扩产自主可控可期，国产半导体设备整体受益。国产光刻机相关标的：茂莱光学，波长光电，炬光科技，福晶科技；半导体设备公司：中微公司（刻蚀、薄膜沉积等），北方华创（薄膜沉积、刻蚀、清洗设备、氧化炉等），中科飞测、精测电子（前道检测量测设备），拓荆科技（薄膜沉积、键合设备等），芯源微（涂胶显影、清洗设备等）。 ⚫ 风险提示：国内设备厂商研发进程不及预期；国内晶圆厂扩产进度不及预期。 请务必仔细阅读正文之后的各项信息披露与声明 行业点评 请务必仔细阅读正文之后的各项信息披露与声明 第2页 共3页 简单金融 成就梦想 表 1：电子行业重点公司估值表 证券代码 证券简称 投资评级 2024/9/13 PB 申万预测 EPS（元/股） PE 收盘价(元) 总市值（亿元） 2023A 2023A 2024E 2025E 2026E 2024E 2025E 2026E 002409 雅克科技 买入 49.51 236 4 1.22 2.21 3.20 4.26 22 15 12 600584 长电科技 买入 28.96 518 2 0.82 1.16 1.48 1.81 25 20 16 605111 新洁能 买入 27.53 114 3 1.13 1.09 1.30 1.56 25 21 18 688126 沪硅产业 增持 13.65 375 3 0.07 0.05 0.10 0.16 273 137 85 688270 臻镭科技 买入 19.67 42 5 0.47 0.41 0.57 0.82 48 35 24 688372 伟测科技 买入 37.08 42 4 1.04 1.54 2.03 2.44 24 18 15 688458 美芯晟 买入 20.40 23 3 0.42 1.10 1.37 1.99 19 15 10 835179 凯德石英 买入 13.95 10 2 0.52 0.61 0.94 1.54 23 15 9 000725 京东方 A 买入 3.65 1,364 1 0.06 0.14 0.23 0.28 26 16 13 002156 通富微电 增持 18.24 277 3 0.11 0.58 0.72 0.92 31 25 20 002463 沪电股份 增持 33.97 651 4 0.79 1.17 1.37 1.59 29 25 21 002484 江海股份 买入 12.41 106 2 0.84 0.97 1.18 1.42 13 11 9 002859 洁美科技 买入 15.92 69 4 0.59 0.62 0.83 1.11 26 19 14 002876 三利谱 买入 18.28 32 3 0.25 0.96 1.32 1.74 19 14 11 002916 深南电路 买入 95.59 490 3 2.73 3.36 3.84 4.56 28 25 21 002938 鹏鼎控股 买入 33.75 783 2 1.42 1.73 1.98 2.05 20 17 16 605111 新洁能 买入 27.53 114 3 1.13 1.09 1.30 1.56 25 21 18 688036 传音控股 买入 76.28 861