半导体行业：晦极而明，半导体光学迈向璀璨转折点

半导体 / 行业深度分析报告 / 2024.02.21 请阅读最后一页的重要声明！ 晦极而明，半导体光学迈向璀璨转折点 证券研究报告 投资评级:看好(维持) 最近 12 月市场表现 分析师 张益敏 SAC 证书编号：S0160522070002 zhangym02@ctsec.com 相关报告 1. 《国产封装设备发力，勾勒三维集成电路新时代》 2024-01-19 2. 《AI 引领复苏，重视技术迭代增量》 2024-01-18 3. 《汽车驱动芯片：国产企业进入加速放量期》 2023-12-29 半导体光学产业链深度报告 核心观点 ❖ 光学领域仍为设备自主可控最短板：国产光刻机（覆盖 90nm 工艺）与量检测设备（明场工艺可覆盖 65nm）仍为半导体设备自主可控最短板。国内光学产业链发力攻克难关：量检测等光学设备营收快速增长，2023 年主要上市公司营收规模合计可能达到十余亿元，对上游光学元件需求有望快速增长。 ❖ 光学元件影响关键性能指标，进口依赖国外：半导体光学设备使用激光器、工业相机（光电传感器）、运动平台（工件台）等多种光学元件；上述元件技术水平决定光刻机/量检测设备性能。2021 年全球半导体光学零部件市场约 82亿美元，海外企业占据市场主导地位；国内进口面临供应链风险，制约国内光刻与量检测设备迈向更高端制程。 ❖ 精密光学制造加工难度大，国内尚存差距：加工、材料、设备等环节共同决定精密光学的工艺水平，需要漫长时间的积累与磨合。VLSI 统计 2022 年全球工业精密光学加工市场规模 160 亿人民币，多数蔡司、尼康等海外企业占据。我国超精密光学加工产业起步较晚，整体仍处于追赶状态，进步空间大。 ❖ 国内半导体光学产业链初具规模：受益于多个行业需求带动与国家重大专项支持，我国半导体光学产业进步较快：围绕光刻设备平台，长春光机所、科益虹源、华卓精科等企业技术快速进步；光刻与量检测设备存在大量技术重叠，两大领域互相支援、和谐共振，加快国内半导体光学产业发展。 ❖ 投资建议：建议关注英诺激光、大族激光、杰普特、埃科光电、奥普特、凌云光、苏大维格等光学元件企业，与茂莱光学、波长光电、福晶科技、腾景科技、炬光科技、福光股份、奥普光电等精密光学加工企业。 ❖ 风险提示：半导体光学产品需求不及预期；技术研发不及预期；海外供应链风险；行业竞争加剧。 -37%-26%-16%-5%6%17%半导体沪深300 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 2 行业深度分析报告/证券研究报告 表 1：重点公司投资评级: 代码 公司 总市值（亿元） 收盘价（02.20） EPS（元） PE 投资评级 2022A 2023E 2024E 2022A 2023E 2024E 301021 英诺激光 23.29 15.37 0.15 0.20 0.36 173.10 77.62 43.12 未覆盖 002008 大族激光 190.34 18.09 1.15 1.52 1.98 22.30 11.90 9.14 增持 688025 杰普特 48.45 51.01 0.82 1.42 2.63 54.13 35.92 19.40 增持 688610 埃科光电 19.47 28.63 1.38 - - 0.00 - - 未覆盖 688400 凌云光 98.03 21.15 0.40 0.47 0.65 63.10 45.43 32.52 未覆盖 688502 茂莱光学 60.19 114.00 1.49 1.55 2.10 0.00 73.55 54.29 增持 301421 波长光电 49.44 42.72 0.71 0.52 0.74 - 82.39 57.48 未覆盖 002222 福晶科技 100.33 23.47 0.53 0.55 0.67 29.87 42.70 35.20 未覆盖 688195 腾景科技 29.88 23.10 0.45 0.39 0.62 50.65 59.05 36.98 未覆盖 002338 奥普光电 57.65 24.02 0.34 0.61 0.88 65.40 39.70 27.45 未覆盖 数据来源：Wind，财通证券研究所，未覆盖公司的预测数据来自 Wind 一致预期（基于 2024 年 2 月 21 日收盘数据） x 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 3 行业深度分析报告/证券研究报告 1 半导体光学：传统光学跨界电子领域的华丽转身 ............................................................................... 5 1.1 半导体光学企业：基于传统业务，深度绑定设备龙头公司 ........................................................... 5 2 半导体光学元件：光刻/量检测设备核心构成 ...................................................................................... 7 2.1 光学元件参数决定半导体光学设备性能 ........................................................................................... 7 2.2 激光器：光学设备的力量之源 ........................................................................................................... 9 2.3 相机：半导体光学设备的目明之眼 ................................................................................................. 12 2.4 运动平台系统与组件：精准移动定位关键 ..................................................................................... 14 3 精密光学制造：半导体光学上游核心 ................................................................................................. 17 3.1 精密光学制造：半导体光学设备核心部件诞生地 ......................................................................... 17 3.2 光学设备与材料：微纳雕琢的刻刀与精粹 ..........................................................................