半导体行业：首台2nm光刻机发货英特尔，先进制程推进顺利

行业及产业 行业研究/行业点评 证券研究报告 电子/ 半导体 2023 年 12 月 25 日 半导体：首台 2nm 光刻机发货英特尔，先进制程推进顺利 看好 证券分析师 杨海晏 A0230518070003 yanghy@swsresearch.com 袁航 A0230521100002 yuanhang@swsresearch.com 李天奇 A0230522080001 litq@swsresearch.com 联系人 李天奇 (8621)23297818× litq@swsresearch.com 本期投资提示： ⚫ 事件：当地时间 12 月 21 日，荷兰阿斯麦（ASML）表示开始向美国英特尔交付首批新型高数值孔径的极紫外光刻机（High NA EUV 光刻机），意味着全球首台 High NA EUV 光刻机正式发货。 ⚫ High NA EUV 光刻机进一步优化分辨率，可用于 2nm 及以下制程节点的芯片制造。High NA EUV 光刻机主要技术革新在于实现了更大的数值孔径，根据瑞利公式，数值孔径越大则分辨率越佳。High-NA EUV 采用蔡司生产的 0.55 NA 的镜头，能够实现 8nm 级别的分辨率，而标准 EUV 使用 0.33 NA 的镜头，实现分辨率水平为 13nm。因此，high NA EUV通过优化光刻分辨率的方式，使得 2nm 及以下节点芯片制造的光刻环节得以实现。 ⚫ 阿斯麦 high NA EUV 光刻机命名 EXE 系列，产品单价或超 3 亿欧元。阿斯麦传统 EUV光刻机型号包括 NXE:3600D 和 NXE:3400C，分别可用于 3~5nm、5~7nm 制程节点的芯片生产，整体平均单价约 1.7 亿欧元，预计 EXE 系列 high NA EUV 光刻机单价超 3 亿欧元，较传统 EUV 光刻机大幅增长。 ⚫ 英特尔成为 high NA EUV 光刻机首个用户符合预期，押注高数值孔径技术路线。英特尔于 2018年即订购了阿斯麦第一台高数值孔径的试验机，预计 2024 年阿斯麦 high NA EUV的计划产能（10 台）中英特尔将贡献过半订单。预计英特尔会将 High-NA EUV 光刻设备应用于其 Intel 18A 工艺的开发和验证中。英特尔意图借助 EXE 系列 high NA EUV 光刻机在 2nm 及以下芯片制造领域重新夺回相对台积电的领先优势，而 EXE 系列极其高昂的成本使得英特尔的激进提前投资具有一定风险。 ⚫ 三星、台积电等晶圆厂亦将引入 EXE 系列。除英特尔外，三星、台积电、SK 海力士和美光均曾经在 2018 年以来阿斯麦 high NA EUV 光刻机尚未实现交付前时提前预订，预计未来两年 high NA EUV 光刻机交付数量将是英特尔＞三星＞台积电，与此同时台积电或进一步推进研发传统 EUV 光刻机的多重曝光工艺。 ⚫ high NA EUV 光刻机顺利落地预将进一步打开集成电路先进制程市场空间。2017 年传统EUV 光刻机正式量产以来，high NA EUV 光刻机研发进展即受到广泛关注，2023 年年底首台 EXE 系列光刻机如期发货保障了芯片先进制程继续推进的节奏，英特尔、台积电、三星已发布 24~25 年量产 2nm 制程芯片的计划。 ⚫ 投资分析意见：国内光刻机技术水平尚存巨大提升空间，国产核心零部件共同成长。重点关注波长光电（平行光源系统）、茂莱光学（光刻机透镜）、炬光科技（激光退火系统）、苏大维格（定位光栅尺）等。 ⚫ 风险提示：高数值孔径光刻机实际产线表现不及预期。 请务必仔细阅读正文之后的各项信息披露与声明 行业点评 请务必仔细阅读正文之后的各项信息披露与声明 第2页 共3页 简单金融 成就梦想 表 1：半导体行业重点公司估值表 证券代码 证券简称 投资评级 2023-12-25 PB 申万预测 EPS PE 收盘价(元) 总市值（亿元） 2022A 2022A 2023E 2024E 2025E 2023E 2024E 2025E 002156 通富微电 增持 22.21 337 2.4 0.33 0.13 0.49 0.83 171 45 27 002409 雅克科技 买入 54.58 260 4.0 1.10 1.46 2.63 3.87 37 21 14 300327 中颖电子 买入 22.33 76 5.2 0.94 0.82 1.13 1.44 27 20 16 300613 富瀚微 买入 41.52 96 4.2 1.73 1.13 1.50 2.03 37 28 21 600460 士兰微 买入 22.33 372 4.3 0.74 0.43 0.58 0.71 52 39 32 600584 长电科技 买入 28.79 515 2.1 1.82 0.91 1.59 1.96 32 18 15 603005 晶方科技 买入 21.27 139 3.5 0.35 0.31 0.43 0.50 69 50 43 605111 新洁能 买入 36.40 109 2.3 2.04 0.98 1.26 1.66 37 29 22 688012 中微公司 买入 150.50 932 6.0 1.90 2.63 2.93 3.52 57 51 43 688037 芯源微 买入 131.11 181 5.8 2.16 1.91 2.82 4.46 69 47 29 688041 海光信息 买入 72.61 1,688 9.9 0.35 0.53 0.76 1.03 137 96 71 688072 拓荆科技 增持 232.17 435 7.9 2.91 3.93 6.11 8.63 59 38 27 688082 盛美上海 买入 104.00 453 8.2 1.54 1.85 2.47 3.10 56 42 34 688126 沪硅产业 买入 17.03 468 3.3 0.12 0.13 0.15 0.23 131 114 74 688146 中船特气 增持 33.16 176 6.5 0.85 0.60 0.75 0.93 55 44 36 688167 炬光科技 增持 111.10 100 4.1 1.41 1.62 2.06 2.46 69 54 45 688200 华峰测控 买入 116.92 158 3.4 5.78 2.01 2.52 3.44 58 46 34 688213 思特威-W 买入 54.30 217 5.8 -0.21 0.67 1.27 2.05 81 43 27 688233 神工股份 买入 34.01 58 3.5 0.99 -0.09 0.66 1.17 -378 52 29 688270 臻镭科技 买入 64.90 99 3.4 0.99 0.81 1.12 1.59 80 58 41 688361 中科飞测-U 增持 72.40 232 30.6 0.05 0.32 0.45 0.62 226 161 117 688372 伟测科