半导体设备行业动态研究：半导体零部件国产化加速，关注细分赛道领跑者

国海证券研究所请务必阅读正文后免责条款部分2023 年 12 月 24 日行业研究评级：推荐(首次覆盖)研究所：证券分析师：姚健S0350522030001yaoj@ghzq.com.cn证券分析师：杜先康S0350523080003duxk01@ghzq.com.cn[Table_Title]半导体零部件国产化加速，关注细分赛道领跑者——半导体设备行业动态研究最近一年走势行业相对表现2023/12/22表现1M3M12M专用设备-3.3%-2.1%1.5%沪深 300-5.8%-10.7%-13.0%投资要点:半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛。根据 IDC 预测，2024E 半导体市场规模由 6259 亿美元上调至 6328 亿美元，同比增长 20.2%，全球半导体市场正在逐步回暖，2024 年起有望加速恢复增长。根据 SEAJ 数据，2023Q3 中国大陆半导体设备销售额同比增长 42.2%，随着中国大陆成熟制程持续建设，半导体设备市场有望长期稳健增长。零部件国产替代空间广阔，关注细分赛道领跑者。半导体零部件市场规模约为设备市场规模的 50%-55%，我们测算，2022 年中国大陆半导体设备零部件市场规模约为 1061 亿元。半导体零部件种类繁多，行业碎片化特征显著，目前国产化率普遍较低，晶圆扩产叠加设备国产化加速，半导体零部件国产替代空间广阔。正帆科技：Gasbox 是半导体干法设备中极为重要的通用子系统，我们测算，2022 年中国大陆 Gasbox 市场规模超过 50 亿元。2022 年公司布局 Gasbox 业务，2023 年产品已经全面稳产，目前已向北方华创、拓荆科技、中微公司、晶盛机电等国内头部半导体设备商，以及迈为股份等光伏电池片设备商批量供货，有望优先受益于Gasbox 国产替代加速。汉钟精机：干式真空泵可用于单晶拉晶、Load-lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程，我们测算，目前中国大陆半导体真空泵存量替换市场规模超过 18 亿元，未来五年中国大陆仅 12英寸扩产贡献真空泵增量市场规模为 127 亿元、年均约 25 亿元。目前公司真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程均有应用，公司与国内部分机台商、晶圆厂已有合作，目前有一定的小批量出货。随着台中厂三期及上海厂三期产能建设顺利完成，真空泵成长空间有望进一步打开。英杰电气：射频电源可用于刻蚀、薄膜沉积和离子注入等半导体设备，我们测算，2022 年中国大陆半导体射频电源市场规模约为 44亿元。2023 年 10 月起，公司射频电源订单呈现批量上升状态，目前已超 9000 万元。公司和中微公司已经合作多年，同时和业内其他知名企业也有合作，随着产品验证及客户拓展持续加速，半导体电证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分2源业务有望步入快速成长期。美埃科技：洁净室是半导体制造业的重要环节，直接决定产品良率，先进制程持续发展将对洁净度提出更高要求。风机过滤单元业务，公司产品性能领先、客户基础牢固，目前在国内半导体洁净室领域市占率约 30%、位居行业第一，受益高管全球化背景、制造基地海内外协同布局，2020-2022 年海外收入 CAGR 接近 50%。过滤器业务，具备收入稳定、高毛利率双重优势，国内方面，公司通过持续降本、节能改造等方式增加客户黏性，进而提升耗材复购率；海外方面，受益产品性价比、售后服务质量等优势，海外客户认证持续加速，耗材业务有望开启广阔增长空间。投资建议 半导体设备零部件国产替代空间广阔，细分赛道领先企业有望优先受益，重点关注正帆科技（gasbox）、汉钟精机（真空泵）、英杰电气（射频电源）、美埃科技（洁净装备及耗材）等，首次覆盖，给予“推荐”评级。风险提示 半导体市场需求恢复不及预期；半导体行业资本开支不及预期；半导体设备及零部件国产化不及预期；国外对华半导体设备限制力度变化风险；关注标的产品研发及客户验证进度不及预期；重点关注公司业绩不达预期风险。证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分3重点关注公司及盈利预测重点公司股票2023/12/22EPSPE投资代码名称股价20222023E2024E20222023E2024E评级688596.SH 正帆科技38.770.951.442.0341.0227.0119.12未评级002158.SZ汉钟精机21.931.211.551.8918.2014.1511.63未评级300820.SZ英杰电气52.942.362.142.8922.4424.7018.32未评级688376.SH 美埃科技36.910.921.321.8440.3127.9620.06买入资料来源：Wind 资讯，国海证券研究所未评级公司盈利预测取自 wind 一致预期证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分4内容目录1、 半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛...................................................................................................... 62、 零部件国产替代空间广阔，关注细分赛道领跑者...................................................................................................72.1、 正帆科技：Gasbox......................................................................................................................................... 82.2、 汉钟精机：真空泵......................................................................................................................................... 102.3、 英杰电气：射频电源..................................................................................................................................... 122.4、 美埃科技：洁净装备及耗材...........................................................................................................................133、 风险提示................................................................................................................................