掩膜版行业深度报告：光刻蓝本亟待突破，国产替代大有可为

本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 1 掩膜版行业深度报告 光刻蓝本亟待突破，国产替代大有可为 2023 年 11 月 04 日 ➢ 掩膜版：电子制造之底片，晶圆光刻之蓝本。掩膜版是微电子制造过程中的图形转移母版，按照制造材料可以分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他（菲林、凸版、干版），按照下游应用领域可以主要分为平板显示掩膜版、半导体掩膜版、触控掩膜版、电路板掩膜版。掩模版对于光刻工艺的重要性不弱于光刻机、光刻胶。在集成电路领域，光掩模的功能类似于传统相机的“底片”，在光刻机、光刻胶的配合下，将光掩模上已设计好的图案，通过曝光和显影等工序转移到衬底的光刻胶上，进行图像复制，从而实现批量生产。国内掩膜版厂商的上游材料以及设备严重依赖日韩厂商。生产制造方面，掩膜版的制造工艺复杂，主要的生产工艺包括：光刻、显影、蚀刻、脱膜以及清洗。 ➢ 全球竞争格局：海外寡头垄断，国产厂商持续发力。1）细分市场规模：掩膜版的主要应用领域为半导体与平板显示。半导体领域，2022 年全球光掩模版市场规模大约为 58.11 亿美元；平板显示领域，根据 Omdia 数据，全球平板显示掩膜版 2022 年市场规模达 1026 亿日元。2）竞争格局：据 SEMI 的数据统计，2019 年全球芯片掩膜版市场中，65%的市场份额由晶圆厂自行配套的掩膜版工厂占据，剩余 35%的份额则被独立第三方掩膜工厂瓜分。3）国产化进程：半导体领域，国产厂商暂时集中在芯片封测用掩膜版以及 100nm 节点以上的晶圆制造用掩膜版，技术水平与国际领先的企业有较大差距；平板显示领域，G11 代线的掩膜版产品已有国产厂商突破垄断，精度方面离国际最高水平还稍有差距。 ➢ 海外龙头解析：掩膜版龙头发展路径。掩膜版龙头企业的崛起都有规律可循，海外龙头背后的发展共性都是企业成长的必经之路。通过复盘三大海外龙头的成长轨迹，我们总结了龙头公司掩膜版业务的发展思路供国内公司参考：1）与晶圆厂共同研发新产品；2）建立全球化的生产基地，重视中国市场机遇；3）持续并购整合建立全球销售网络，加快研发速度。 ➢ 国产替代机遇：随着我国半导体产业占全球比重的逐步提升，我国半导体掩膜版市场规模也逐步扩大。目前国内厂商已量产 250nm 工艺节点的 6 英寸和8 英寸半导体芯片用掩膜版，正在推进 180nm 半导体芯片用掩膜版的客户测试认证，同步开展 130nm-65nm 半导体芯片用掩膜版的工艺研发和 28nm 半导体芯片所需的掩膜版工艺开发规划，逐步缩小与海外龙头企业的技术差距，加速国产替代进度。我们认为国内掩膜版行业的景气度有望持续旺盛，国产厂商有望迎来业绩的高速增长。 ➢ 投资建议：我们看好国内掩膜版需求的持续提升和国产替代的迫切需要。建议关注：1）清溢光电：国内成立最早、规模最大的掩膜版生产企业之一。2）路维光电：国内唯一一家具有 G.2.5-G11 全世代掩模版生产能力的国内掩模版厂商，公司在 G11 超高世代掩膜版、高世代高精度半色调掩膜版和光阻涂布等产品和技术方面，打破了国外厂商的长期垄断。 ➢ 风险提示：行业竞争加剧；下游行业周期性波动；产品验证不及预期。 重点公司盈利预测、估值与评级 代码 简称 股价（元） EPS（元） PE（倍） 评级 2022A 2023E 2024E 2022A 2023E 2024E 688138 清溢光电 22.68 0.37 0.52 0.76 61 44 30 推荐 688401 路维光电 28.58 0.62 0.87 1.31 46 33 22 推荐 资料来源：Wind，民生证券研究院预测;（注：股价为 2023 年 11 月 3 日收盘价） 推荐 维持评级 [Table_Author] 分析师 方竞 执业证书： S0100521120004 邮箱： fangjing@mszq.com 分析师 李萌 执业证书： S0100522080001 邮箱： limeng@mszq.com 相关研究 1.电子行业周报：安卓新机潮来临，关注光学投资机会-2023/10/24 2.电子行业周报：美光业绩持续改善，存储涨价控产趋势向好-2023/10/09 3.电子行业专题：AI 手机全面升级，详解谷歌 Pixel 8 发布会-2023/10/09 4.电子行业周报：内需拉动设备零部件需求-2023/10/08 5.电子行业深度报告：华为王者归来，产业链整装待发-2023/09/18 行业深度研究/电子 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 2 目录 1 掩膜版：电子制造之底片，晶圆光刻之蓝本 .............................................................................................................. 3 1.1 掩膜版：光刻工艺中必不可少的图形转移母版 ............................................................................................................................ 3 1.2 掩膜版的技术更迭及三种分类方式 ................................................................................................................................................. 3 1.3 掩膜版产业链：材料设备依赖进口，工艺复杂壁垒高 ................................................................................................................ 6 2 全球竞争格局：海外寡头垄断，国产厂商持续发力 ................................................................................................. 15 2.1 市场规模：全球市场稳步增长，中国市场占比提升 .................................................................................................................. 15 2.2 竞争格局：垄断与追赶并存 ............................................................................................................................................................ 16 3