公司深度报告：国产臭氧发生器领先者，半导体装备开创新纪元

国产臭氧发生器领先者，半导体装备开创新纪元证 券 研 究 报 告投资评级： （ ）报告日期：2023年10月19日买入首次n分析师：吕卓阳nSAC编号：S1050523060001公司深度报告 （ ）公司深度报告国林科技300786.SZ投 资 要 点Ø 国内臭氧发生器龙头公司，助力半导体产业链国产化。 臭氧发生器在半导体领域有两大应用，其中臭氧水发生装置主要用于半导体前道工艺环节的湿法清洗，臭氧气体发生装置可用于CVD和ALD等薄膜沉积环节及部分干法清洗环节。当前我国半导体臭氧设备市场主要被美国MKS等外企垄断，由于半导体产业转移及产业安全等要求，未来高端设备不论是整机自研、零部件配套等领域实现国产自主可控乃是大势所趋。 公司已实现半导体臭氧设备核心技术突破，生产的臭氧水机产生的臭氧水浓度可达80-150PPm，臭氧气体发生器产生的臭氧气体浓度可达200-300mg/L，均已取得相关专利，产品性能可对标海外龙头。目前产品正在客户端验证，验证结束后可立即投产量产，将有望加速半导体产业链的国产替代。Ø 高品质乙醛酸供需矛盾突出，公司臭氧制酸生产工艺成熟，具备量产条件。 目前国内高品质乙醛酸产品基本依赖进口，国林科技专有乙醛酸制备方法“臭氧氧化顺酐法”，产品品质高、可产生副产品甲酸钾且转化效率基本达到100%。Ø 盈利预测： 水务处理、废水治理、烟气脱硝领域等下游需求轮动，保障公司在传统领域的稳定发展；新兴领域拓展顺利，公司半导体臭氧清洗设备突破关键核心技术，有望实现设备国产替代，新疆高品质乙醛酸项目产能有序爬坡中，将带来显著业绩增长。预计2023-2025年的归母净利润分别为0.26、0.91、1.55亿元，EPS分别为0.14、0.50、0.84元，当前股价对应PE分别为126、37、22倍。首次覆盖，给与“买入”评级。诚信、专业、稳健、高效请阅读最后一页重要免责声明23预 测 指 标预测指标2022A2023E2024E2025E主营收入（百万元）2935248541,093增长率（%）-41.0%79.0%63.0%28.0%归母净利润（百万元）182691155增长率（%）-76.3%46.5%245.3%70.2%摊薄每股收益（元）0.100.140.500.84ROE（%）1.4%2.1%7.3%12.4%诚信、专业、稳健、高效请阅读最后一页重要免责声明资料来源：Wind、华鑫证券研究所4风 险 提 示诚信、专业、稳健、高效请阅读最后一页重要免责声明1、设备验证周期过长；2、中低端臭氧发生器竞争激烈；3、乙醛酸项目爬坡不及预期；目 录CONTENTS2. 臭氧发生器行业龙头，传统业务稳步发展3. 半导体清洗及薄膜沉积专用设备， 国产替代加速中1. 专精特新小巨人，多元布局筑壁垒5诚信、专业、稳健、高效请阅读最后一页重要免责声明4. 横向切入乙醛酸制备市场，产能逐步释放5. 投资建议一、 专精特新小巨人，多元布局筑壁垒7诚信、专业、稳健、高效请阅读最后一页重要免责声明Ø 专精特新小巨人，业务持续拓展，向乙醛酸、半导体等领域延伸。1994年国林科技成立，自主研制臭氧设备获得国家专利；2002年至2012年间，陆续成功研制国内首台3kg/h、50kg/h、120kg/h等多个中大型臭氧发生器，打破进口垄断局面，填补国内大型臭氧发生设备的制造空白；2015年公司登陆新三板，并于2019年成功在深交所上市。多年来公司以臭氧技术为核心，多次参与臭氧行业标准编制，持续为不同领域客户提供多样化的臭氧系统解决方案。图表1：三十年技术沉淀打造行业冠军资料来源：公司招股说明书、公司官网、公司公告、华鑫证券研究所整理1994年|2002年1994年 青岛国林实业有限责任公司成立2002年 成功研制“3kg/h大型中频臭氧发生器”2003年—2008年 2004年 自主研发单机产量“20kg/h大型臭氧发生器”2008年 成为全球第三家能够制造50kg/h以上臭氧发生器的企业2009年|2012年2012年 自主研制的“大型120kg/h臭氧发生器”性能达到国际先进水平2010年 公司参与主编《水处理用臭氧发生器》CJ/T322-2010正式发布实施2019年 深交所上市2011年|2018年2017年 公司主持制定《水处理用臭氧发生器技术要求》国家标准2015年 新三板上市2020年至今 2021年 募投建设年产2.5万吨高品质晶体乙醛酸项目； 被评为国家级专精特新“小巨人”2022年 乙醛酸项目进入试生产阶段； 半导体清洗设备进入客户验证阶段8诚信、专业、稳健、高效请阅读最后一页重要免责声明Ø 公司董事长丁香鹏先生兼任总经理一职，持有公司28.73%的股份；实控人参与公司经营，熟悉公司日常运营，更有益于制定企业长期战略及决策。管理团队核心人员张磊、王承宝等人同时是公司元老级别的核心技术人员，在公司工作多年，深刻了解公司技术研发理念、研发体系以及管理政策。Ø 2022年发布股权激励计划，首次向62名激励对象授予限制性股票347.4万股，深度绑定核心员工，利于公司远期发展。图表2：公司股权穿透图资料来源：Wind、华鑫证券研究所整理青岛国林流体科技95%核心管理层丁香鹏青岛国林科技集团有限公司（300786.SZ）实际控制人新疆国林新材料王承宝1.77%王海燕1.91%其他股东张磊1.50%100%青岛国林陶瓷新材料科技业务向乙醛酸、半导体、健康医疗等领域多元化延伸青岛新能源科技青岛国林半导体技术青岛国林新材料科技青岛朗科电子科技青岛国林健康技术朱若英1.19%64.9%100%66.67%99.67%100%100%100%青岛贺力德低温科技70.23%采用臭氧氧化技术，生产高品质晶体乙醛酸、乙醛酸水溶液及甲酸钾臭氧设备用于半导体清洗、薄膜沉积工艺环节28.73%9资料来源：公司招股说明书、公司官网、公司公告、华鑫证券研究所整理诚信、专业、稳健、高效请阅读最后一页重要免责声明Ø 国林科技作为一家专业从事臭氧设备研制、销售及服务的公司，掌握臭氧系统设备的全套核心技术，产品以大型臭氧发生器为主，涵盖全系列臭氧设备，目前产品在市政给水、工业废水、烟气脱硝、精细化工等行业有广泛应用。图表3：公司产品覆盖了大、中、小型臭氧发生器，以大型臭氧发生器为主臭氧发生器产品分类专用臭氧发生器臭氧配套系统制氧/制氮设备产品展示应用场景大型臭氧发生器中、小型臭氧发生器空间消毒机、泳池专用设备、高浓度臭氧水机等射流投加系统、氮气添加系统、尾气分解系统等PSA制氮、PSA制氧、VPSA制氧氧气源1kg空气源10-30kg氧气源110-120kg空气源100g空气源/氧气源200-800g大型臭氧发生器采用玻璃和非玻璃两种放电介质技术，容性负载臭氧发生器专用大功率中频逆变电源技术；已应用于市政给水、市政污水、工业废水、烟气脱硝、化工氧化、食品饮料消毒、医用治疗等领域。中小型臭氧发生器采用玻璃和非玻璃两种放电介质技术，容性负载臭氧发生器专用大功率中频逆变电源技术；已应用于食品饮料