半导体设备行业跟踪：日本限制半导体设备出口对我国半导体设备行业影响

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2023 年 4 月 3 日 行业研究 日本限制半导体设备出口对我国半导体设备行业影响 ——半导体设备行业跟踪 机械行业 事项：根据日经中文网，日本政府 3 月 31 日宣布，将高端半导体制造设备等 23 品类加入到出口管制对象，23 品类产品包括极紫外线(EUV)相关产品的制造设备和使存储元件立体堆叠的蚀刻设备等，Tokyo Electron、SCREEN 控股和 Nikon 等约 10 家日本企业被认为将受到影响。 一、日本在全球半导体设备中占据很重要的行业地位，但不是主导地位。 1、日本厂商在全球半导体设备市场中约占 28%，仅次于美国。根据我们对全球主要半导体设备企业 2021 自然年收入统计，日本设备厂商占全球半导体设备市场的份额达到 28%，仅次于美国厂商市占率 46%，高于欧洲市占率 21%。 2、日本拥有一批知名半导体设备企业。TEL22 财年收入 164 亿美元（居全球第四，第三位 LamResearch172 亿美元），DNS 收入 34 亿美元，Advantest 34亿美元，Disco 21 亿美元，东京精密 11 亿美元。 3、前道设备：日本在涂胶显影、介质刻蚀、清洗设备、光刻机、热处理、CVD、量测、CMP 等多个设备环节处于十分重要的行业地位。 （1）涂胶显影：根据东京电子（TEL）公告，Tel 涂胶显影设备的 21 年销售额全球市占率 89%； （2）干法刻蚀：TEL21 年销售额市占率 29%；日立高科技也有蚀刻系统 9000系列； （3）清洗设备：TEL21 年销售额市占率 25%，DNS 市占率更高； （4）ALD：TEL21 年销售额市占率 29%，KE 也有炉管 ALD； （5）CVD：TEL21 年销售额市占率 44%； （6）氧化扩散炉管：TEL21 年销售额市占率 51%； （7）CMP：Ebara 是全球第二大供应商； （8）量测：日立高科技处于 CD-SEM 垄断地位，LASERTEC 处于 EUV 掩膜版垄断地位； （9）光刻机：Nikon、佳能也是全球重要的光刻机供应商，尼康覆盖型号较全。 4、封测设备：探针台、划片机、测试机等设备处于全球垄断地位。 （1）探针台：TEL21 年销售额市占率 47%，东京精密也是核心供应商； （2）划片、减薄：Disco 处于绝对垄断地位； （3）测试设备：Advantest 与美国泰瑞达平分秋色。 5、晶圆生长与加工设备：切磨抛设备主要来自日本厂商。 二、日本厂商来自中国大陆的收入占比普遍在 20%-30%上下，出口限制或将影响日本厂商销售额。 1、东京电子：22 自然年第四季度来自中国大陆的收入占比 22%； 2、爱德万：22 自然年第四季度来自中国大陆的收入占比 33%； 3、Disco：22 自然年第四季度来自亚洲地区收入来源约占 2/3； 4、迪恩士：22 自然年第四季度来自中国大陆的收入占比 11%，预计下一季度升至 25%。 三、日本对半导体设备出口限制升级，国产半导体设备厂商将迎难而上。 在日本厂商垄断程度较高的设备环节中，国产设备厂商均已有布局： 1、 涂胶显影：芯源微、盛美上海； 2、 CCP 刻蚀：中微公司； 3、 清洗设备：盛美上海、芯源微、北方华创等； 4、 CD-SEM：东方晶源、上海精测 5、 探针台：长川科技，矽电股份； 6、 晶圆切割：和研科技、光力科技、迈为股份； 7、 减薄设备：华海清科。 四、半导体行业供应链阵容分化，技术创新与可控的趋势不可逆，继续强烈看好半导体设备板块。 风险分析：科技战压制估值的影响，市场竞争加剧风险，晶圆厂扩产不确定性。 买入（维持） 作者 分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001 021-52523860 yangshaohui1@ebscn.com 分析师：陈佳宁 执业证书编号：S0930512120001 021-52523851 chenjianing@ebscn.com 联系人：林映吟 linyingyin@ebscn.com 行业与沪深 300 指数对比图 资料来源：Wind 相关研报 1 月 PMI 升至临界点以上、信贷数据超预期，装备制造业市场环境向好 ——机械行业周报 2023 年第 6 周（2.5-2.11） 光伏铜电镀量产化攻克渐行渐近，半导体设备招投标有望逐季恢复 ——机械行业周报 2023 年第 5 周（1.29-2.4） 芯片的政治属性进一步强化，芯片制造工艺国产化带动国内制造业升级 ——机械行业周报 2023 年第 4 周（1.22-1.28） 半导体设备板块有望筑底上行，钙钛矿产业化趋势明显 ——机械行业周报 2023 年第 2 周（1.8-1.14) 半导体设备板块可以适当乐观，光伏主产业链价格企稳节奏前移有望催化设备需求 ——机械行业周报 2023 年第 1 周（1.1-1.7） 半导体行业景气度回升，先进制程工艺提升带动设备环节量价齐升 ——机械行业周报 2022 年第 48 周（11.20-11.26） -40%-30%-20%-10%0%10%22/0222/0522/0822/1123/02沪深300机械行业要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 机械行业 表 1：日本设备厂商的主导产品及与之相对应的中国设备企业布局 日本厂商 日本厂商市占率、行业地位 美国厂商 中国厂商 干法介质刻蚀 TEL、日立高科技 TEL 占 29% Lam Research 中微 Track TEL TEL 占 89% 芯源微、盛美 ALD TEL、KE TEL 占 29% Lam Research 拓荆、微导、盛美、北方华创 CVD TEL、KE TEL 占 44% Lam Research、AMAT 拓荆、盛美、北方华创 扩散氧化 TEL、KE TEL 占 51% AMAT 盛美、北方华创、屹唐 清洗 TEL、DNS TEL 占 25%、DNS 位居全球第一 Lam Research 盛美、北方华创、芯源微 探针台 TEL、东京精密 TEL 占 47% 长川、矽电 浸没式光刻机 Nikon 2022 自然年年销售 4 台 AMAT CMP Ebara Ebara 位居全球第二 AMAT 华海清科 CD-SEM 日立高科技 日立高科技垄断全球市场 东方晶源、上海精测 测试机 爱德万 与美国泰瑞达平分市场 泰瑞达 华峰、长川、联动 晶圆切割、减薄 DISCO、东京精密 日本厂商垄断 和研、光力、迈为、华海清科 EUV 掩模板检测 LASERTEC 绝对垄断 资料来源：TEL 公告，Nikon 公告，光大证券研究所 注：TEL 市占率为 21 年销售额口径数据 图 1：东京电子各类设备的全球市占率 资料来源：TEL 公告，光大证券研