低估的半导体清洗设备龙头，布局零部件和服务业务寻求新增长点

证券研究报告·公司深度研究·半导体 东吴证券研究所 1 / 30 请务必阅读正文之后的免责声明部分 至纯科技（603690） 低估的半导体清洗设备龙头，布局零部件和服务业务寻求新增长点 2022 年 09 月 15 日 证券分析师 周尔双 执业证书：S0600515110002 021-60199784 zhouersh@dwzq.com.cn 证券分析师 黄瑞连 执业证书：S0600520080001 huangrl@dwzq.com.cn 股价走势 市场数据 收盘价(元) 40.34 一年最低/最高价 26.66/65.00 市净率(倍) 3.10 流通 A 股市值(百万元) 12,822.61 总市值(百万元) 12,890.67 基础数据 每股净资产(元,LF) 13.00 资产负债率(%,LF) 48.80 总股本(百万股) 319.55 流通 A 股(百万股) 317.86 相关研究 《至纯科技(603690)：2022 年中报点评：半导体清洗设备放量带动收入端稳健增长，扣非净利率显著提升》 2022-08-31 《至纯科技(603690)：2021 年报&2022 年一季报点评：半导体湿法设备加速放量，收入端实现高速增长》 2022-05-01 买入（维持） [Table_EPS] 盈利预测与估值 2021A 2022E 2023E 2024E 营业总收入（百万元） 2,084 3,026 3,928 5,002 同比 49% 45% 30% 27% 归属母公司净利润（百万元） 282 381 557 742 同比 8% 35% 46% 33% 每股收益-最新股本摊薄（元/股） 0.88 1.19 1.74 2.32 P/E（现价&最新股本摊薄） 46.50 34.42 23.50 17.66 [Table_Summary] 投资要点 ◼ 国内高纯工艺系统龙头，半导体设备成为新增长点 公司主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备，覆盖中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源，业绩持续快速增长。1）收入端：2015-2021 年营业收入 CAGR为 47%，2021 年达到 20.84 亿元，同比+49%。2020 年以来半导体清洗设备快速放量，2021-2022H1 分别实现收入 7.01 和 4.66 亿元，分别同比+222%和+73%，2022H1 收入占比达到 42%，成为收入端增长重要驱动力。2）利润端：2015-2021 年归母净利润 CAGR达到 59%，高于收入端。2022H1 为 0.81 亿元，同比-46%，主要系非经常性损益影响，2022H1 扣非归母净利润达到 0.97 亿元，同比+128%，大幅提升。2022H1 公司新增订单 23.62 亿元，同比+37%，其中半导体制程设备新增订单 8.06 亿元，充足订单支撑下，2022 年业绩有望延续快速增长。 ◼ 半导体清洗设备：进口替代加速，公司市场份额有望持续提升 晶圆产能东移背景下，仅华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫四家晶圆厂未来合计扩产产能将过 100 万片/月，本土半导体设备行业景气度有望延续。1）受益于晶圆产能东移，我们判断 2021 和 2023 年中国大陆半导体清洗设备市场规模分别为15 和 21 亿美元，其中单片清洗设备需求约 10.0 和 14.3 亿美元。2）全球清洗设备市场仍由日企主导，盛美、至纯等已实现国产替代突破，我们预估 2019-2021 年公司在本土市场份额分别为 2%、4%、7%，正在快速提升。据 2021 年年报披露，公司半导体清洗设备已在 28 纳米节点获得全部工艺的设备订单，在 14 纳米以下制程也拿到 4 台湿法设备订单。 2022 年公司半导体制程设备新签订单目标 20 亿元，同比+50%以上，同时单片式清洗设备占比快速提升，国产替代驱动下，有望延续快速发展。 ◼ 耗材&服务：晶圆再生、气体和零部件打开成长空间 1）晶圆再生：我们预计 2026 年中国大陆市场规模可达 19 亿元（仅考虑 12 英寸），全球晶圆再生产能高度集中于日本和中国台湾，公司领域布局较早，合肥一期产能 7万片/月已经投产，是国内首条投产的 12 英寸晶圆再生产线，预计 2023 年达产；二期规划产能 14 万片/月，正在投资建设中，先发优势明显。2）大宗气体：公司高纯工艺系统主业的纵向延伸，二者客户端协同性较强。公司正在投资建设半导体级的大宗气体工厂，为用户提供至少 15 年的高纯大宗气体整厂供应。3）零部件：我们预估 2021年中国大陆半导体设备零部件市场规模约 117 亿美元。2021 年公司可转债募投项目拟募集 11 亿元，重点加码半导体设备零部件研发&制造业务，在垂直整合降本的同时，将逐步打开后服务市场，同时有望单独外售，将成为后续发展重点。 ◼ 盈利预测与投资评级：考虑到公司半导体清洗设备快速放量，我们预计 2022-2024 年公司归母净利润分别为 3.81、5.57 和 7.42 亿元，当前股价对应动态 PE 分别34、24 和 18 倍，估值显著低于可比公司，维持“买入“评级。 ◼ 风险提示：晶圆厂资本开支不及预期、新品研发&客户验证进程不及预期等。 -44%-37%-30%-23%-16%-9%-2%5%12%19%2021/9/132022/1/112022/5/112022/9/8至纯科技沪深300 请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所 公司深度研究 2 / 30 内容目录 1. 国内高纯工艺系统龙头，半导体设备成为新增长点 ...................................................................... 5 1.1. 立足高纯工艺，积极拓展半导体设备业务布局..................................................................... 5 1.2. 半导体清洗设备快速放量，2015-2021 业绩实现快速增长 .................................................. 6 2. 半导体清洗设备：进口替代加速，公司市占率仍将快速提升 ...................................................... 9 2.1. 晶圆扩产背景下，本土半导体设备需求有望维持高位......................................................... 9 2.2. 受益晶圆厂扩产&技术升级，清洗设备市场需求持续增长 ............................................... 11 2.3. 公司半导体清洗设备快速突破，单片设备逐步放量........................................................... 15 3. 高纯工艺系统：下游投资拉动行业需求，相关收入将稳定