首次覆盖报告：中国半导体清洗设备龙头步入高速成长期

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2021 年 11 月 13 日 公司研究 中国半导体清洗设备龙头步入高速成长期 ——至纯科技（603690.SH）首次覆盖报告 买入（首次） 至纯科技是中国半导体清洗设备龙头企业。公司的主营业务主要包括半导体湿法清洗设备、高纯工艺系统、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让，交易完成后，战略投资者持有至微科技的比例约22%，增资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、远致星火等。公司 2021 年前三季度实现营业收入 12.83 亿元，同比增长 68.71%；实现归母净利润 1.88 亿元，同比增长 127.96%。 中国半导体清洗设备市占率极低，国产替代空间巨大。根据 Gartner 统计数据，2024 年预计全球半导体清洗设备市场销售额达 31.93 亿美元，清洗设备在全球半导体设备的市场销售额占比约为 5-7%。2020 年全球半导体清洗设备市场基本上被日本 SREEN、日本 TEL、韩国 SEMES 和美国 LAM 垄断，市场销售额合计占比 97.7%，国产厂商至纯科技、盛美中国、北方华创、芯源微等份额较低。 半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期。至纯科技提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品等。目前至纯科技是国内能提供到 28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。目前公司湿法设备客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。2021 年上半年，至纯的湿法设备业务新增订单达 4.3 亿元，其中单片设备 2 亿元。湿法清洗设备业务20 年收入为 2.2 亿元，我们预计 21-22 年收入为 7.68 亿元和 13.90 亿元。 半导体高纯工艺系统将保持平稳增长。泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt 级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随废气液排放。在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中，各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。目前公司高纯工艺系统客户包括中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等。 盈利预测、估值与评级。至纯科技是国内高纯工艺系统的龙头，目前湿法设备进展顺利，有望成为国内高端湿法设备的领先者，随着公司一线客户的不断扩张以及下游需求的持续增长，公司有望迎来快速发展。我们预测至纯科技 2021-2023年的归母净利润分别为 3.47、3.81、5.55 亿元，当前市值对应的 PE 分别为 51x、46x、32x，首次覆盖给予“买入”评级。 风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 公司盈利预测与估值简表 指标 2019 2020 2021E 2022E 2023E 营业收入（百万元） 986 1,397 2,307 3,266 4,159 营业收入增长率 46.34% 41.63% 65.13% 41.57% 27.34% 净利润（百万元） 110 261 347 381 555 净利润增长率 239.88% 136.36% 33.12% 9.75% 45.65% EPS（元） 0.43 0.85 1.09 1.20 1.74 ROE（归属母公司)（摊薄） 7.43% 8.29% 10.09% 10.14% 13.09% P/E 129 65 51 46 32 P/B 9.6 5.4 5.1 4.7 4.1 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为 2021-11-09； 当前价：55.02 元 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 分析师：王锐 执业证书编号：S0930517050004 010-56513153 wangrui3@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 市场数据 总股本(亿股) 3.19 总市值(亿元)： 175.24 一年最低/最高(元)： 27.18/70.69 近 3 月换手率： 249.11% 股价相对走势 收益表现 % 1M 3M 1Y 相对 21.19 0.03 50.11 绝对 19.38 -3.86 48.44 资料来源：Wind 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 目 录 1、 至纯科技：中国半导体湿法清洗设备龙头公司 .................................................................. 5 1.1、 三大业务：半导体湿法清洗设备业务、半导体高纯工艺系统、光传感应用 .......................................... 5 1.1.1、 半导体湿法清洗设备 ......................................................................................................................... 5 1.1.2、 高纯工艺系统 .................................................................................................................................... 5 1.1.3、 光纤传感器及光电子元器件 .............................................................................................................. 7 1.2、 大基金、中芯聚源、装备材料基金等战略投资者入股至纯科技半导体清洗设备子公司 ........................ 7 1.3、 财务分析：半导体清洗设备业务快速增长 ............................................................................................. 8 2、 半导体设备国产替代不断加速，国内清洗设备厂商持续受益 ..................................