北交所新股申购报告：半导体核心真空泵突破先进制程，中科院“小巨人”加速国产替代

北交所新股申购报告 请务必参阅正文后面的信息披露和法律声明 1 / 38 2026 年 04 月 10 日 《鸿仕达（920125.BJ）：果链占比超80%智能制造“小巨人”，在手订单 2.6亿—北交所新股申购报告》-2026.4.10 《境外收入提升 89%、发行投资智能电机产能，2025 全年归母净利润+26%—北交所信息更新》-2026.4.9 《智能能源计量“隐形冠军”，欧洲市场稳固+境内加速突破—北交所首次覆盖报告》-2026.4.9 中科仪（920186.BJ）：半导体核心真空泵突破先进制程，中科院“小巨人”加速国产替代 ——北交所新股申购报告 诸海滨（分析师） zhuhaibin@kysec.cn 证书编号：S0790522080007  真空技术国家队“小巨人”，研发平台夯实壁垒，营收快速增长 公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，公司拥有三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。公司被评为 2020 年度、2023 年度国家“专精特新”小巨人企业，国家知识产权优势企业等多项荣誉称号，截至 2025 年 12 月 31 日，公司已经获得授权的发明专利 103 项、实用新型专利 20 项，并取得软件著作权登记 37 项。2022-2025年度，公司营业收入整体呈快速增长趋势，2025 年公司营收为 12.91 亿元。受持有股份公允价值变动损益影响，2022-2025 年公司的净利润变动较大，剔除这部分影响后，公司扣非归母净利润分别为 6,186.11 万元、7,298.08 万元、8,787.75 万元和 10,297.96 万元。  集成电路 + 光伏双轮驱动，干式真空泵需求持续高增 公司研制的干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售。根据 WSTS 预计，2025 年全球集成电路市场规模将增至 6,779 亿美元，较 2024 年大幅增长 25.65%。根据中国半导体行业协会统计数据，2016-2023 年中国大陆集成电路产业收入年复合增长率达 16.03%。根据中国光伏行业协会统计数据显示，2020-2024 年，全球光伏年新增装机容量年均复合增长率达 42.10%，我国光伏年新增装机容量年均复合增长率达 54.91%。根据公司测算，2024 年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为 12.57 万台，市场规模约 125.74 亿元；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为 5.21 万台，市场规模约 52.11 亿元；2024 年我国光伏产业对干式真空泵的需求约 6.7-8.2 万台，按单台均价 7 万元估算，市场规模约 47.0-57.2 亿元。  国产干式真空泵龙头企业打破海外垄断，可比公司 PE（2024）均值 91.39X 公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户 A 等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连 Intel、SK 海力士的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。可比公司 PE（2024）均值为 91.39X，PE（TTM）均值为 126.39X。募投项目预计将扩大干式真空泵产能，同时进一步增强研发能力，丰富公司产品体系，增强产品优势，前景较好。  风险提示：技术产品研发风险、市场竞争加剧风险、经营业绩下滑风险。 相关研究报告 北交所研究团队 新股研究 北交所新股申购报告 开源证券 证券研究报告 北交所新股申购报告 请务必参阅正文后面的信息披露和法律声明 2 / 38 目 录 1、 公司：半导体制造设备“小巨人”，国内真空技术主力军 ................................................................................................... 4 1.1、 产品：主营干式真空泵及真空科学仪器设备 .............................................................................................................. 6 1.1.1、 技术概述：真空技术应用广泛，其中集成电路对真空环境有较高依赖 ....................................................... 6 1.1.2、 主要产品为干式真空泵和真空科学仪器设备 ................................................................................................... 8 1.2、 财务：营业收入稳步增长，2025 年营收、归母净利润双增 ................................................................................... 14 2、 行业：集成电路产业稳步增长，干式真空泵市场持续扩容 ............................................................................................... 17 2.1、 干式真空泵：下游稳步增长，我国已成全球最重要的集成电路市场 .................................................................... 18 2.2、 真空科学仪器设备：基础研究持续深入带来发展空间 ............................................................................................ 23 2.3、 技术水平特点：干式真空泵设计制造难度大、稳定性可靠性要求高 .................................................................... 24 3、 看点：自主研发创新打破海外垄断，把握国产替代机遇 ................................................................................................... 27 3.1、 竞争格局：集成电路中干式真空泵市场仍是海外企业占据主导地位 .............................................