前道设备隐形冠军，平台化布局去胶、RTP、刻蚀设备

证券研究报告·公司深度研究·半导体 东吴证券研究所 1 / 32 请务必阅读正文之后的免责声明部分 屹唐股份（688729） 前道设备隐形冠军，平台化布局去胶、RTP、刻蚀设备 2025 年 11 月 26 日 证券分析师 周尔双 执业证书：S0600515110002 021-60199784 zhouersh@dwzq.com.cn 证券分析师 陈海进 执业证书：S0600525020001 chenhj@dwzq.com.cn 证券分析师 李文意 执业证书：S0600524080005 liwenyi@dwzq.com.cn 股价走势 市场数据 收盘价(元) 24.14 一年最低/最高价 19.11/32.98 市净率(倍) 8.12 流通A股市值(百万元) 4,822.87 总市值(百万元) 71,347.22 基础数据 每股净资产(元,LF) 2.97 资产负债率(%,LF) 24.48 总股本(百万股) 2,955.56 流通 A 股(百万股) 199.79 相关研究 增持（首次） [Table_EPS] 盈利预测与估值 2023A 2024A 2025E 2026E 2027E 营业总收入（百万元） 3,931 4,633 5,281 6,400 8,133 同比（%） (17.45) 17.84 13.98 21.20 27.08 归母净利润（百万元） 309.42 540.80 652.35 851.69 1,219.76 同比（%） (19.11) 74.78 20.63 30.56 43.22 EPS-最新摊薄（元/股） 0.10 0.18 0.22 0.29 0.41 P/E（现价&最新摊薄） 230.58 131.93 109.37 83.77 58.49 [Table_Tag] [Table_Summary] 投资要点 ◼ 平台化布局三大设备平台，国产替代与国际化双轮驱动：屹唐股份成立于 2015 年，是一家专注于集成电路前道核心装备的高端制造企业。公司致力于干法去胶（Dry Strip）、干法刻蚀和等离子体表面处理（Dry Etch and Plasma Surface Treatment）及快速热处理（RTP）等关键设备的研发与制造，产品广泛应用于先进晶圆制造工艺，客户涵盖中芯国际、台积电、三星、英特尔等全球领先的集成电路制造企业。在“半导体设备国产替代”趋势下，公司凭借技术积累与平台化布局，已成长为全球前道设备领域具有代表性的中国企业。 ◼ 公司在干法去胶设备技术积累深厚，全球市占率第二：公司干法去胶产品历经三十余年研发与应用沉淀，核心产品涵盖 Suprema®、Hydrilis® HMR 及 Optima®系列，具备工艺窗口宽、颗粒污染小、成本结构优等显著特点，广泛应用于晶圆制造前道去胶工艺环节，适配 DRAM、3D NAND、逻辑芯片等多类晶圆平台，并已形成从常规去胶、选择性去胶到先进刻蚀后清洗的完整产品谱系。2023 年公司干法去胶设备以34.60%的全球市场份额位居全球第二，仅次于韩国厂商 PSK。 ◼ 快速热处理设备（RTP）技术先进，市场份额位居全球第二：公司核心产品包括 Helios®系列（常规 RTP）与 Millios® 系列（毫秒级退火），针对先进逻辑芯片、DRAM 和存储器件量产而设计。设备采用晶圆双面加热、氩气水壁电弧灯与闪光灯退火等核心技术，能够有效控制先进制程中的热应力和图形保形性问题。设备性能参数处于国际主流水平，在10nm 及以下节点具有良好兼容性，已在 DRAM、3D NAND 等存储产线及高性能逻辑芯片产线完成验证并实现规模化应用。2023 年公司 RTP设备以 13.05%的市场份额位居全球第二。 ◼ 平台化技术布局刻蚀设备，挤入全球前十：公司干法刻蚀和等离子体表面处理产品布局以 paradigmE ® 、Novyka®、RENA-E®、Hydrilis® XT 系列及 Escala®表面处理和材料改性设备为主，覆盖通用刻蚀、选择性刻蚀及原子层级表面处理等多类场景。产品具备优异的等离子均匀性、刻蚀一致性与器件兼容性。设备已在晶圆制造前道工艺中实现规模化应用，成功进入多家国内外头部客户供应链，具备强适配能力与国产替代潜力。2023 年，公司以 0.21%的市占率位列全球干法刻蚀设备市场第九，在泛林半导体、东京电子、应用材料三大国际巨头合计 83.95%的高度垄断市场中跻身少数具备量产能力的厂商之列。 ◼ 盈 利预 测： 我们预计屹唐股 份 2025-2027 年归母净利润分别 为6.5/8.5/12.2 亿元，2025-2027 年当前股价对应动态 PE 分别为 109/84/58倍；公司去胶设备&快速热处理设备业务全行业领先，因此给予一定估值溢价，首次覆盖给予“增持”评级。 ◼ 风险提示：产品进展不及预期风险，下游需求不及预期风险，市场竞争加剧风险。 -13%-8%-3%2%7%12%17%22%27%32%37%2025/7/82025/8/232025/10/82025/11/23屹唐股份沪深300 请务必阅读正文之后的免责声明部分 公司深度研究 东吴证券研究所 2 / 32 内容目录 1. 屹唐股份：前道设备隐形冠军，平台化布局去胶、RTP、刻蚀设备 .......................................... 5 1.1. 公司平台化布局去胶、RTP、干法刻蚀和等离子体表面处理设备，国产替代与国际化双轮驱动................................................................................................................................................. 5 1.2. 去胶与快速热处理设备全球领先，平台化 ICP 技术布局刻蚀设备 .................................... 6 1.3. 国资控股+产业资本协同，核心团队国际化背景深厚 .......................................................... 8 1.4. 业绩稳步增长，核心研发体系持续强化................................................................................. 9 2. 布局三大前道核心设备，先进技术引领国产替代进程 ................................................................ 12 2.1. 去胶设备需求稳定，公司全球市占率第二........................................................................... 13 2.2. 激光退火工艺适配先进制程，公司 RTP 设备全球市占率第二 ....