深耕半导体专用温控/废气处理设备，国内市场份额稳步提升

请务必阅读最后股票评级说明和免责声明 1半导体设备京仪装备（688652.SH）增持-A(首次)深耕半导体专用温控/废气处理设备，国内市场份额稳步提升2025 年 6 月 13 日公司研究/深度分析公司近一年市场表现市场数据：2025 年 6 月 12 日收盘价（元）：52.71总股本（亿股）：1.68流通股本（亿股）：1.02流通市值（亿元）：53.87基础数据：2025 年 3 月 31 日每股净资产（元）：12.56每股资本公积（元）：8.97每股未分配利润（元）：2.42资料来源：最闻分析师：叶中正执业登记编码：S0760522010001电话：邮箱：yezhongzheng@sxzq.com谷茜执业登记编码：S0760518060001电话：0351-8686775邮箱：guqian@sxzq.com投资要点：半导体专用温控设备打破国外垄断，销量提升带动业绩快速增长。公司作为国内实现进口替代的半导体专用设备供应商，主营产品包括半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber）和晶圆传片设备（Sorter），其中温控设备收入占比超 60%。受益于半导体产业市场需求的持续增长以及产品竞争优势，公司产品销售数量持续增长，整体收入业绩稳步增长，2022-2024 年公司收入/归母净利润 CAGR 为 24.36%/29.54%。半导体专用温控设备市场集中度较高，公司产品市占率国内领先。半导体专用温控设备主要应用于刻蚀制程。根据 QYResearch，预计 2031 年全球半导体温控设备市场规模将达到 12.3 亿美元。公司温控设备主要应用于先进制程产线，适配业内主流厂商的工艺设备。据测算，预计 2023-2025 年，中国半导体专用温控设备市场规模将达到 13.27/16.01/16.99 亿元。国内市场集中度较高, 2018 年至 2022 年国内 CR6 约 90%，以 ATS、SMC 为代表，公司打破国外厂商垄断、22 年温控设备国内市占率排名第一，24 年国内市占率约39%。公司产品核心技术指标处于国内领先、国际先进水平，并向超低温方向研发新品。半导体专用工艺废气处理设备需求提升空间大，公司产品市占率稳步提升。半导体专用工艺废气处理设备主要应用于薄膜沉积和刻蚀环节。根据QYResearch，预计 2030 年全球半导体废气处理设备市场规模达 23.51 亿美元。公司废气处理设备已批量化应用在晶圆制造产线，与主流厂商设备完成匹配验证。据测算，预计 2023-2025 年，中国半导体专用工艺废气处理设备市场规模将达到 23.70/24.26/24.71 亿元。国内市场集中度较高, 2018 年至 2022 年国内 CR6 约 90%，以爱德华、戴思为代表，公司是半导体专用工艺废气处理设备领域内主要的国内厂商，市占率稳步提升、22 年国内市占率上升至第四，24 年国内市占率约 13%。晶圆传片设备国产化率极低，公司产品本土优势显著。公司晶圆传片设备主要应用于逻辑芯片 90nm-28nm 等各种工艺需求，目前主要针对 12 英寸晶圆产线设计。根据 QYResearch，预计 2028 年国内半导体晶圆传输设备市场规模达 3.33 亿美元，销量超 3000 台。晶圆传片设备国内市场本土厂商市场份额占比极低，主要供应商包括京仪装备、瑞斯福公司、平田公司等。与境外竞争对手相比，公司产品性价比高，在技术服务、响应速度等方面拥有本土企业优势，率先实现晶圆传片设备的国产替代。盈利预测、估值分析和投资建议：公司是极少数实现 Chiller/ Scrubber 设备公司研究/深度分析请务必阅读最后股票评级说明和免责声明 2国产替代量产出货的本土设备供应商。公司凭借领先的研发能力、可靠的产品质量和优秀的客户服务水平，产品逐步实现进口替代，并已广泛用于长江存储、中芯国际、华虹集团等国内主流集成电路制造产线。据测算，预计到2025 年，公司现有产品在中国的合计市场空间约达 60 亿元，国产替代趋势下公司市场份额提升空间较大。公司 24H1 新签订单约 10.5 亿元，在手订单约 22 亿元，预测全年累计新增订单将达到 16-19 亿元。预计公司 2025-2027年分别实现营业收入 13.72/17.32/21.33 亿元，归母净利润 2.24/ 3.19/4.04 亿元，对应 EPS 分别为 1.34/1.90/2.40 元，以 6 月 12 日收盘价 52.71 元计算，25-27年 PE 分别为 39.48X/27.72X/21.94X。首次覆盖给予“增持-A”评级。风险提示：贸易摩擦与地缘政治矛盾风险、下游行业市场需求降低风险、市场竞争风险、技术升级迭代的风险、客户集中的风险、首发限售解禁后股东减持风险。财务数据与估值：会计年度2023A2024A2025E2026E2027E营业收入(百万元)7421,0261,3721,7322,133YoY(%)11.838.333.626.323.1净利润(百万元)119153224319404YoY(%)30.728.446.742.426.4毛利率(%)38.432.834.135.736.7EPS(摊薄/元)0.710.911.341.902.40ROE(%)6.27.49.812.213.4P/E(倍)74.357.939.527.721.9P/B(倍)4.64.33.93.42.9净利率(%)16.014.916.418.418.9资料来源：最闻，山西证券研究所公司研究/深度分析请务必阅读最后股票评级说明和免责声明 3目录1. 半导体专用温控设备打破国外垄断，销量提升带动收入快速增长...........................................................................61.1 公司是半导体专用温控设备领域内主要的国内厂商............................................................................................. 61.2 半导体设备市场需求旺盛，公司产品销量持续增长带动收入提升..................................................................... 72. 半导体专用温控设备市场集中度较高，公司产品市占率国内领先...........................................................................92.1 受下游半导体制造市场推动，半导体专用设备应用领域广泛............................................................................. 92.2 预计 2031 年半导体温控设备全球规模达 12 亿美元，竞争格局较为集中....................................................... 112.3