半导体设备零部件行业2024年-2025一季报总结：业绩有所分化，持续受益于国产设备放量+国产替代加速

业绩有所分化，持续受益于国产设备放量+国产替代加速请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明研究报告半导体设备零部件2024年&2025一季报总结：【华西机械团队】分析师：黄瑞连SACNO：S1120524030001邮箱：huangrl@hx168.com.cn2025年5月16日1订单放缓+研发投入影响短期业绩，龙头公司盈利持续亮眼。半导体设备零部件选取8家公司【新莱应材】【英杰电气】【正帆科技】【富创精密】【先锋精科】【珂玛科技】【华亚智能】【江丰电子】。1）收入端：2024&2025Q1半导体设备零部件板块合计营收193.64、42.15亿元，分别同比+33.70%、+16.51%，2024年收入明显提升主要受益于国产设备放量，2025Q1同比增速有所下滑主要系24Q4前道设备订单放缓，叠加零部件海外囤货。2）利润端：2024&2025Q1板块合计归母净利润22.86、4.17亿元，分别同比+31.13%、+0.71%，2024年归母净利润提升明显，净利率稳定；2025Q1归母净利润降速明显，盈利水平有所承压，其中毛利率下滑系产能利用率影响，费用率提升系人才激励、研发投入等加大。3）存货&合同负债：2024&2025Q1板块合计存货93.03、93.77亿元，分别同比+0.75%、-4.54%，增速下滑，一定程度反映2024年末板块新接订单同比有所降速。零部件交付—确收周期较短，预付比例低，因此合同负债对于在手订单指引较弱。零部件收入确认更趋同于前道设备的生产和出货， 2025年至今前道设备公司实际新接订单高速增长，且未来扩产招标预期乐观，指引零部件板块全年收入动能充足。国产设备放量+替代加速，半导体设备零部件板块兼具弹性与成长性。1）下游积极扩产，国产设备持续放量：2024年半导体设备国产化率仅21%，结合AMAT、TEL、KLA等指引了2025年中国大陆地区收入占比有望回归正常，看好本土设备商份额快速提升。2）设备商上清单，零部件国产替代有望提速：国内设备商集体被列入实体清单，美系零部件将难以获取（采取推定拒绝），美系厂商世伟洛克、派克汉尼汾等已告知实体清单上的140家客户列为禁售，相关环节格局重塑，利好本土零部件厂商加速替代。3）自主可控需求强化，板块投资兼具弹性与成长性：①重点关注气/液路、射频电源、光学类等美系主导+空间大的环节，相关厂商有望受益于制裁带来的业绩弹性预期。②除美系外，日韩厂商同样占据零部件市场较大份额，国内设备龙头加速供应链全面国产化，同样看好产品力足够充分，市占率持续快速提升的细分赛道龙头玩家。投资建议：零部件国产替代加速，板块投资兼具弹性与成长性，看好相关机会。国内零部件平台化龙头推荐【富创精密】、气/液路环节推荐【新莱应材】【正帆科技】、射频电源环节受益标的【英杰电气】、先进陶瓷零部件环节受益标的【珂玛科技】、核心工艺零部件受益标的【先锋精科】、光学精密零部件加工推荐【华辰装备】、其他受益标的【江丰电子】【华亚智能】【汉钟精机】。风险提示：海外制裁力度超预期、半导体行业景气度下滑、晶圆厂资本开支不及预期、行业竞争格局恶化等。2表：半导体设备零部件行业重点公司2024&2025Q1主要业绩情况资料来源：Wind，华西证券研究所整理2024年营收（亿元）同比增长2025Q1营收（亿元）同比增长2024年归母净利润（亿元）同比增长2025Q1归母净利润（亿元）同比增长2024年归母净利率2025Q1归母净利率2024年毛利率2025Q1毛利率新莱应材28.495.08%6.73-2.33%2.2634-4.05%0.5099-25.56%7.94%7.58%25.7%23.8%富创精密30.4047.14%7.628.62%2.026520.13%-0.2216-136.67%6.67%-2.91%25.8%24.1%正帆科技54.6942.63%6.7714.94%5.277531.50%0.344238.23%9.65%5.09%26.0%26.4%英杰电气17.800.59%3.25-13.30%3.2276-25.19%0.5050-36.84%18.13%15.55%38.5%37.8%华亚智能6.2736.07%2.30101.08%0.8074-8.37%0.1718-27.29%12.87%7.47%30.1%28.0%汉钟精机36.74-4.62%6.06-19.09%8.6259-0.28%1.1770-19.58%23.48%19.41%38.3%35.7%江丰电子36.0538.57%10.0029.53%4.005656.79%1.5721163.58%11.11%15.71%28.2%32.4%珂玛科技8.5778.45%2.4854.26%3.1097279.88%0.870972.69%36.27%35.13%58.5%57.1%先锋精科11.36103.65%3.0038.58%2.1395166.52%0.4198-10.26%18.84%14.00%33.8%27.8%32024&2025Q1八家半导体设备零部件公司合计营收193.64、42.15亿元，分别同比+33.70%、+16.51%，2024年板块营收增速明显提升主要受益于国产设备放量，2025Q1同比增速有所下滑主要系去年Q4前道设备订单放缓，叠加零部件海外囤货。进一步分析：2024&2025Q1珂玛科技、先锋精科、江丰电子、华亚智能同比增速超过30%，好于板块表现；其中珂玛科技、先锋精科同比增速均超过40%，表现最为出色，与其核心产品持续放量有关；江丰电子保持较好增速，主要系Showerhead、硅电极等放量。2025Q1各公司均出现一定降速，其中富创精密、正帆科技、英杰电气、新莱应材营收增速降幅较为明显，主要系制裁升级、春节等因素，国产设备订单增长短期有所放缓，且存在海外囤货行为；2025Q1华亚智能同比高增主要系并表苏州冠泓。此外，考虑多数零部件公司原有主业持续承压，半导体业务营收实际增速好于表观数据。资料来源：Wind，北京半导体协会，华西证券研究所图： 2024&2025Q1半导体设备零部件营收同比+33.70%、+16.51%82.87120.27144.82193.6442.1555.64%45.13%20.41%33.70%16.51%15%25%35%45%55%65%05010015020025020212022202320242025Q1营业收入（亿元）yoy图：2024年半导体设备零部件整体营收表现出色，2025Q1出现一定分化-20%0%20%40%60%80%100%120%新莱应材 富创精密 正帆科技 英杰电气 华亚智能 江丰电子 珂玛科技 先锋精科2024年营收同比2025Q1营收同比42024&2025Q1八家半导体设备零部件公司合计归母净利润22.86、4.17亿元，分别同比+31.13%、+0.71%，2024年归母净利润提升明显，盈利水平基本保持稳定；2025Q1归母净利润降速明显，且低于营收端增速，盈利水平有所承压。进一步分析：2024&2025Q1珂玛科技、江丰电子、正帆科技归母净利润增速表现出色，同比