中微公司(688012)国产刻蚀%2bMOCVD龙头，加速打造高端装备平台

证券研究报告 | 首次覆盖报告 请仔细阅读本报告末页声明 gszqdatemark 中微公司（688012.SH） 国产刻蚀+MOCVD 龙头，加速打造高端装备平台 二十余载砥砺前行，国产高端装备平台领军者。中微公司成立于 2004 年5 月，当前公司已形成以刻蚀设备、MOCVD 设备为基，向薄膜沉积设备、量检测设备等拓展的平台化发展格局。公司目前等离子体刻蚀设备技术能力达到 5 纳米级以下，未来还将继续开发更先进工艺水平，市占率持续提升并不断收到领先客户批量订单。MOCVD 设备在 Mini LED 等氮化镓基设备领域市场占据领先地位，未来还将持续开发用于氮化镓、碳化硅等功率器件及 Micro-LED 器件制造的 MOCVD 设备。24H1 实现薄膜设备的首台销售，公司还在规划多款 CVD 和 ALD 设备，增加薄膜设备覆盖率。伴随高研发转换效率，公司营收业绩稳健增长，收入和归母净利润分别从 2018年的 16.39/0.9 亿元增长到 2024 年的约 90.65/16.3 亿元，复合增速分别达到 33.0%/61.7%。 CCP 领域技术领先，ICP 设备付运势头强劲。刻蚀是半导体图案化过程的核心工艺，全球范围来看，LAM、AMAT、TEL 等企业占据市场主导地位。受益于芯片向更先进制程演进及存储器件垂直化发展，叠加多重曝光下刻蚀工艺步骤提升，刻蚀设备重要性进一步提升。中微公司凭借系列刻蚀设备组合处于刻蚀创新技术前沿，市占率大幅提升，截至 2024 年第三季度，公司累计交付 CCP 反应台超 3800 个，设备覆盖 28 纳米以上逻辑器件制造绝大部分 CCP 刻蚀应用，公司 ICP 设备拥有 700+反应台在线生产，覆盖 95%以上刻蚀应用。其中，Nanova 单台机订单年增长超 100%迅速扩大市占率，PrimoUD-RIE 已在生产线验证具有刻蚀≥60：1 深宽比结构量产能力，TSV 新工艺验证成功，推动我国高端半导体制造设备达到新高度。 薄膜沉积设备研发转换高效布局，MOCVD 应用领域拓宽。薄膜沉积设备是芯片制造三大核心设备之一，按工艺原理不同，可分为 PVD、CVD 和ALD，2025 年全球薄膜沉积设备市场规模预计达 239.6 亿美元，目前行业由 AMAT 和、Lam 和 TEL 等企业垄断，国产厂商份额提升空间广阔。中微公司持续推进多款薄膜沉积设备研发项目，至 2024 年中已实现六种设备高效研发交付及客户量产验证，钨系列薄膜沉积产品全面覆盖存储器件钨应用，公司 LPCVD 薄膜设备已经顺利进入市场，2024 年收到 4.76 亿元批量订单，实现销售收入 1.56 亿元。同时，公司深耕 MOCVD 领域，在全球氮化镓基 LED MOCVD 设备市场占据领先地位。 盈利预测及投资建议：我们预计公司 2025/2026 年实现营收 120.7/158.0亿元，实现归母净利润 25.5/35.6 亿元，实现毛利率 42.9%/43.9%，对应PE 为 49/35x，具备估值优势，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示：研发进展不及预期、客户导入进展不及预期、数据滞后性风险、行业竞争加剧。 买入（首次） 股票信息 行业 半导体 03 月 13 日收盘价（元） 199.69 总市值（百万元） 124,279.81 总股本（百万股） 622.36 其中自由流通股（%） 100.00 30 日日均成交量（百万股） 10.50 股价走势 作者 分析师 郑震湘 执业证书编号：S0680524120005 邮箱：zhengzhenxiang@gszq.com 分析师 佘凌星 执业证书编号：S0680525010004 邮箱：shelingxing1@gszq.com 分析师 刘嘉元 执业证书编号：S0680525010002 邮箱：liujiayuan1@gszq.com 相关研究 1、《中微公司（688012.SH）：扣非业绩大增，刻蚀龙头内生外延打造旗舰平台》 2022-08-14 2、《中微公司（688012.SH）：一季度刻蚀高速增长，全年双业务放量可期》 2022-05-09 3、《中微公司（688012.SH）：刻蚀能力进一步提高，MOCVD 业务拐点来临》 2022-04-01 财务指标 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 营业收入（百万元） 4,740 6,264 9,065 12,074 15,801 增长率 yoy（%） 52.5 32.1 44.7 33.2 30.9 归母净利润（百万元） 1,170 1,786 1,626 2,552 3,560 增长率 yoy（%） 15.7 52.7 -8.9 56.9 39.5 EPS 最新摊薄（元/股） 1.88 2.87 2.61 4.10 5.72 净资产收益率（%） 7.6 10.0 8.6 12.1 14.8 P/E（倍） 106.2 69.6 76.4 48.7 34.9 P/B（倍） 8.0 7.0 6.6 5.9 5.2 资料来源：Wind，国盛证券研究所 注：股价为 2025 年 03 月 13 日收盘价 -30%-10%10%30%50%70%2024-032024-072024-112025-03中微公司沪深3002025 03 21年 月 日 gszqgszqdadatemarkrk P.2 请仔细阅读本报告末页声明 财务报表和主要财务比率 资产负债表（百万元） 利润表（百万元） 会计年度 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 会计年度 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 流动资产 14655 15087 18803 22649 27293 营业收入 4740 6264 9065 12074 15801 现金 7326 7090 8338 9185 10646 营业成本 2572 3393 5211 6894 8866 应收票据及应收账款 713 1213 1628 2108 2885 营业税金及附加 15 12 34 35 45 其他应收款 27 10 39 46 51 营业费用 409 492 517 652 830 预付账款 35 112 102 152 221 管理费用 236 344 517 646 830 存货 3402 4260 6217 8666 10952 研发费用 605 817 1496 1727 2236 其他流动资产 3153 2401 2480 2493 2537 财务费用 -151 -87 -35 -33 -27 非流动资产 5380 6438 7094 7138 7158 资产减值损失 -20 -11 -5 -5 -5 长期投资 979 1020 1020 1020 1020 其他收益 102 124 181 266 326 固定资产 336 1988 1988 1988 1988 公允价值变动