微导纳米(688147)立足ALD布局光伏-半导体，拓展CVD打开成长空间

证券研究报告·公司深度研究·光伏设备 微导纳米（688147.SH） 1 / 6 东吴证券（香港） 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Main] 立足 ALD 布局光伏&半导体，拓展 CVD 打开成长空间 增持（首次） [Table_EPS] 盈利预测与估值 2022A 2023E 2024E 2025E 营业总收入（百万元） 685 1,650 4,182 4,918 同比 60% 141% 154% 18% 归属母公司净利润（百万元） 54 279 597 811 同比 17% 416% 114% 36% 每股收益-最新股本摊薄（元/股） 0.12 0.61 1.31 1.78 P/E（现价&最新股本摊薄） 315.39 61.13 28.58 21.07 关键词：#第二曲线 #新产品、新技术、新客户 #平台化布局 投资要点 ◼ 微导纳米为 ALD 设备龙头，依托这一平台型技术拓展光伏&半导体领域的应用。微导纳米成立于 2015 年，将 ALD 应用至光伏（2022 年收入占比 73%）、半导体（2022 年收入占比 7%）、新型显示等领域。 ◼ ALD 技术：自限制性优势明显，应用领域广泛。相较于 PVD、CVD 等薄膜沉积技术，ALD 最大的特点在于自限制性，这一特点使其具备薄膜控制精确度高和台阶覆盖率高的优势，特别适合在对薄膜质量要求高和内部结构复杂的领域应用，包括光伏、半导体等。 ◼ 光伏 ALD 适用多条技术路线，微导纳米为国内龙头。ALD 设备可用于 PERC、TOPCon、钙钛矿等，公司均有相应布局，ALD 设备市占率领先，并拓展了 PECVD、PEALD、扩散退火、TOPCon 整线工艺解决方案等，受益于下游扩产，2023 年公司光伏领域新签订单为去年同期的 2.92 倍。 ◼ 半导体先进逻辑及存储领域 ALD 渗透率提升。随着 45nm 以下先进制程的发展，原来用于成熟制程的 PVD、CVD 等无法满足部分工序要求，ALD 的应用环节逐步拓宽，其膜厚精度控制和高台阶覆盖率的特性适合在 45nm 以下节点以及复杂的 3D 结构等领域应用。（1）逻辑：45nm先进制程下栅介质层适用 high-K 材料，ALD 适用于沉积该种材料，20nm 先进制程下器件由 MOSFET 转向结构更复杂的 FinFET，5nm 以下向 GAAFET 转变，ALD 高覆盖率的优势显著；（2）存储：3D NAND、DRAM 等存储器件的复杂结构需要高深宽比，ALD 具备良好的台阶覆盖能力。 ◼ 存储领域空间更大&头部存储器厂有望重启扩产，微导纳米为 ALD 龙头充分受益。相较于逻辑，ALD 在存储领域具备更大的市场，相近制程下存储所需的 ALD 设备数量约为逻辑的 4-5 倍；一线存储厂商 2023年受政策影响扩产暂缓，未来随着国产技术突破及国产设备引入，资本开支有望加速，利好国产设备商，目前 ALD 设备 TEL 和 ASM 合计占比约 75%，微导纳米为国内 ALD 领军者，逻辑&存储市场开拓顺利，2023 年半导体领域新签订单是去年同期的 3.29 倍。 ◼ 依托 ALD 技术延展性&客户协同性，微导纳米布局 CVD 设备。CVD市场空间约为 ALD 的 2-3 倍且国产化率仍有待提升，如拓荆科技在PECVD 和 SACVD 市场份额分别为 17%和 25%，微导纳米进一步拓展CVD 设备，进行差异化竞争，以打开更大的市场空间。 ◼ 盈利预测与投资评级：我们预计微导纳米 2023-2025 年归母净利润分别为 2.8/6.0/8.1 亿元，当前股价对应动态 PE 分别为分别 60/28/21 倍，首次覆盖给予“增持”评级。 ◼ 风险提示：光伏下游装机量和扩产不及预期，晶圆厂资本开支下滑的风险，研发进展不及预期。 [Table_PicQuote] 股价走势 数据来源：Wind [Table_Base] 市场数据 收盘价(元) 37.58 一年最低/最高价 29.01/63.29 市净率(倍) 7.78 流通 A 股市值(百万元) 3,094.00 总市值(百万元) 17,078.43 数据来源：Wind 基础数据 每股净资产(元,LF) 4.83 资产负债率(%,LF) 68.36 总股本(百万股) 454.46 流通 A 股(百万股) 82.33 数据来源：Wind [Table_Report] Soochow Securities International Brokerage Limited appreciates the contribution and support provided by Soochow Research Institute, and in particular its employees Ershuang Zhou (周尔双) and Wenyi Li (李文意). [Table_Author] 2024 年 03 月 01 日 分析师 李润泽 (852) 3982 3213 leonli@dwzq.com.hk -23%-11%1%13%25%37%49%61%73%85%97%2023/1/302023/5/302023/9/272024/1/25微导纳米沪深300 2 / 6 [Table_Yemei] 公司深度研究 东吴证券（香港） 请务必阅读正文之后的免责声明部分 公司专注先进微纳米级薄膜沉积设备，“光伏+半导体”双轮驱动发展。微导纳米成立于 2015 年，将原子层沉积（ALD）应用至光伏（2022 年收入占比 73%）、半导体（2022 年收入占比 7%）、新型显示等领域。受益于下游光伏景气度，公司收入快速增长，前期费用投入较多影响净利润表现，2022 年以来逐步进入收获期。2018-2022 年公司营收由 0.4 亿元增长至 6.9 亿元，归母净利润由-0.3 亿元增长至 0.5 亿元。随着订单加速放量，公司预计 2023 年营业收入 16.5 亿元左右，同比+141%，归母净利润 2.8 亿元，同比+417%。 图1：2018-2022 年公司营收由 0.4 亿元增长至 6.9 亿元，CAGR 达 101% 图2：2018-2022 年公司归母净利润由-0.3 亿元增长至 0.5亿元 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 ALD 技术：自限制性优势明显，应用领域广泛。ALD 技术是利用反应气体与基板之间的气—固相反应，来完成工艺的需求。自限制性是 ALD 技术的显著特点，使其具备薄膜厚度精确度高、均匀性好、台阶覆盖率极高、沟槽填充性能极佳等优势，特别适合在对薄膜质量和台阶覆盖率有较高要求的领域应用，包括光伏、半导体等。 图3：ALD 技术在光伏、半导体等诸多领域的应用 数据来源：微导纳米公告，东吴证券研究所 3 / 6 [Table_Yemei] 公司深度研究 东吴证券（香港） 请务必阅读正文之后的免责声明部分 光伏 ALD 设备适用多条技术路线，微