工业气体行业周报（2023年9月第3周）：光刻气：光刻机重要耗材，推荐华特气体、凯美特气等

证券研究报告 | 行业周报 | 专用设备 http://www.stocke.com.cn 1/5 请务必阅读正文之后的免责条款部分 专用设备 报告日期：2023 年 09 月 17 日 光刻气：光刻机重要耗材，推荐华特气体、凯美特气等 ——工业气体行业周报（2023 年 9 月第 3 周） 投资要点 ❑ 光刻气体是光刻工艺所需重要材料，主要成分为氖气等气体产品 光刻气体作用：光刻过程中需要充入混合气，在受到高压激发后，混合气会形成等离子体，固定波长的光线在经过聚合、滤波等过程后形成光刻机光源。 光刻气体组分：氖气为用量占比最大的原料。主要的混合气有氩/氟/氖混合气、氪/氖混合气、氩/氖混合气、氩/氙/氖混合气等。 ❑ 光刻气体价格位于近三年底部，下游集成电路需求有望企稳回升 光刻气体当前价格处于 2020 年以来的底部。根据特气头条数据，2023 年 9 月 14日，氪气出厂价为 675 元/立方，氙气出厂价为 6.3 万元/立方，氖气出厂价为 220元/立方。 光刻气体需求有望企稳回升，构成对价格的支撑。2023 年 7 月，全球半导体销售额同比下降 11.8%，跌幅持续收窄。在自主可控、国产替代要求下，预计十四五期间我国集成电路产量仍将维持较快增长，看好电子特气的成长机会。 ❑ 华特气体、凯美特气是国内已经取得 ASML 认证的两家光刻气供应商 根据公告，华特气体光刻气通过了 ASML 和 GIGAPHOTON 的认证。公司已实现对国内 8 寸以上集成电路制造厂商超过 90%的客户覆盖率。 根据公告，2023 年 2 月，凯美特气光刻气产品通过 Cymer 公司的合格供应商认证，有利于提高在光刻气领域内的认可度和知名度。 ❑ 持续看好工业气体行业投资机会，海外可比公司达万亿元人民币市值 1）中国工业气体行业近 2000 亿元市场，过去 5 年复合增速 11%，有望诞生大市值公司。 2）海外可比公司林德、法液空、空气化工产品对应的市值折合人民币达数千亿乃至上万亿市值。 3）国产替代提速，龙头份额提升。在 2021 年第三方现场制气项目新增订单中，外资企业的份额降低至 25%，而内资企业占比提升至 75%。 4）国内电子特气市场以外资为主导，2018 年外资企业在国内电子特气占据 85%市场份额，国产替代趋势明显、潜力巨大。 ❑ 投资建议：光刻气重点推荐华特气体、凯美特气等 持续推荐中国工业气体龙头杭氧股份、特种气体先行者华特气体、光刻气供应商凯美特气、民营气体领军企业侨源股份、电子特气新星和远气体、民族工业气体领军企业陕鼓动力、空分设备民企龙头福斯达，持续看好中船特气、广钢气体、金宏气体、雅克科技、昊华科技、中巨芯等工业气体/电子特气公司。 ➢ 杭氧股份：工业气体龙头，国产替代、产品升级、治理改善、资产整合 ➢ 华特气体：电子特气先行者；拓品类、切合成，盈利能力提升 ➢ 凯美特气：电子特气新星，光刻气体取得 ASML 认证 ➢ 侨源股份：民营气体领军企业，受益光伏锂电等新能源产业崛起 ➢ 和远气体：华中区域民营气体龙头，加码电子特气业绩有望腾飞 ➢ 陕鼓动力：民族工业气体领军企业，压缩空气储能打造新增长引擎 ➢ 福斯达：空分设备民企龙头，受益“一带一路”业绩驶入快车道 ❑ 风险提示： 1、下游需求不及预期；2、行业竞争加剧风险；3、零售气价大幅波动风险。 行业评级: 看好(维持) 分析师：王华君 执业证书号：S1230520080005 wanghuajun@stocke.com.cn 分析师：张杨 执业证书号：S1230522050001 zhangyang01@stocke.com.cn 相关报告 1 《工业气体价格因基数因素跌幅扩大，四季度有望企稳回升》 2023.09.09 2 《工业气体价格持续低位震荡，下半年有望拐点向上》 2023.08.20 3 《林德、法液空半年报业绩两位数增长，持续推荐工业气体板块》 2023.08.06 行业周报 http://www.stocke.com.cn 2/5 请务必阅读正文之后的免责条款部分 1 光刻气体是光刻工艺所需重要材料，需求有望企稳回升 光刻是指通过涂胶、曝光、显影等工艺，利用化学反应进行微细加工图形转移的技术工艺。在光刻过程中，需要充入混合气，在受到高压激发后，混合气会形成等离子体，在其过程中产生的固定波长的光线在经过聚合、滤波等过程后形成光刻机光源。 主要的混合气有氩/氟/氖混合气、氟/氪/氖混合气、氦/氖混合气、氧/氦混合气、氟/氩/氙/氖混合气、氪/氖混合气、氩/氖混合气、氩/氙/氖混合气等。ArF 准分子激光气所使用的氩/氟/氖混合气体中氖气占比为 95%。 图1： 光刻工艺流程示意图 资料来源：gasworld，浙商证券研究所 根据凯美特气此前公告，ASML 子公司 Cymer 是世界领先的准分子激光源提供商，是深紫外技术的行业领导者。Cymer 公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外（DUV）光源，开发、制造和服务深紫外（DUV）光源。产品组合包括使用氟化氩（ArF）或氟化氪（KrF）气体产生深紫外光的准分子激光器。 光刻气体价格处于底部。根据特气头条数据，2023 年 9 月 14 日，氪气出厂价为 675 元/立方，氙气出厂价为 6.3 万元/立方，氖气出厂价为 220 元/立方。 图2： 9 月 14 日氪/氙出厂价分别为 675 元/6.3 万元/立方米 图3： 9 月 14 日氖气出厂价为 220 元/立方米 资料来源：特气头条，浙商证券研究所 资料来源：特气头条，浙商证券研究所 行业周报 http://www.stocke.com.cn 3/5 请务必阅读正文之后的免责条款部分 光刻气体需求有望企稳回升。2023 年 7 月，全球半导体销售额同比下降 11.8%，跌幅持续收窄。在自主可控、国产替代要求下，预计十四五期间我国集成电路产量仍将维持较快增长，看好电子特气的成长机会。 图4： 2023 年 7 月全球半导体销售额同比下降 11.8%，跌幅收窄 资料来源：美国半导体产业协会，浙商证券研究所 根据公告，华特气体、凯美特气是国内已经取得 ASML 认证的两家光刻气供应商。 根据公告，华特气体光刻气（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）通过了 ASML和 GIGAPHOTON 的认证，是国内唯一通过两家认证的气体公司。公司经过长期的产品研发和认证，成功实现了对国内 8 寸以上集成电路制造厂商超过 90%的客户覆盖率。 根据公告，2023 年 2 月，凯美特气光刻气产品通过 Cymer 公司的合格供应商认证，有利于公司提高在光刻气领域内的认可度和知名度，使公司的电子特气产品走向国际化，对公司拓展光刻气产品销售业务具有积极作用。 行业周报 http://www.stocke.com.cn 4/5 请务必阅读正文之后的免责条款部分 2 工业气体板块估值：2023、2024 年平均 PE