半导体材料系列（二）：掩膜版：光刻蓝本，国产蓄力

半导体材料系列（二） 掩膜版：光刻蓝本，国产蓄力 行业深度报告 请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。 行业报告 有色金属与新材料 2023 年 8 月 18 日 强于大市（维持） 行情走势图 相关研究报告 化工新材料系列(一)电子特气: 半导体新周期将至，国产替代如火如荼2023.5.23 (半导体材料系列一) 证券分析师 陈骁 投资咨询资格编号 S1060516070001 研究助理 chenxiao397@pingan.com.cn 陈潇榕 一般证券业务资格编号 S1060122080021 chenxiaorong186@pingan.com.cn 马书蕾 一般证券业务资格编号 S1060122070024 Mashulei362@pingan.com.cn 平安观点：  基本介绍：掩膜版是光刻过程中的核心耗材。掩膜版是微电子制造过程中的图形转移工具或母版，通常由基板和遮光膜组成，其中最 重要的原材料是掩膜基板，占直接材料的比重超过 90%。掩膜版主要用于平板显示、半导体等下游领域，当前仍由海外头部掩膜版厂商占据主要市场。  半导体掩膜版：国产化进程有望加速推进，需求空间进一步打开。海外厂商仍占据三方掩膜版主要市场份额，且大多具备先进制程量 产能力，国内企业有较大发展空间。美国出口限制下，半导体掩膜版国 产化进程有望加速推进。全球晶圆产能正逐步向我国转移趋势明显，SE MI 预计中国大陆 2022 年-2026 年还将新增 25 座 12 英寸晶圆厂，有望进一步打开掩膜版需求空间。短期来看，2023 年下半年半导体需求有望 加速修复、库存逐步去化，2024 年行业有望迎来供需结构改善的拐点，掩膜版受益于下游景气提振，需求空间有望进一步打开。  平板显示掩膜版：技术迭代方向明确，面板复苏提振需求。近年来大尺寸的电视面板产品加速进入市场， 2023 年 5 月液晶面板出货尺寸加权平均达到了 50.2 英寸，面板尺寸的增大带动其上游材料掩膜版朝着大尺寸化的方向发展。同时新的显示技术要求掩膜版朝着更高精度方向发展，高分辨率面板需求提高掩膜版精度要求，未来显示屏的显 示精度或将从 450PPI 逐步提高到 650PPI 以上。同时，23Q2 面板厂产能利用率已有明显上调趋势，受益于 LCD 电视、手提电脑等下游订单向好，全球显示面板厂家的总产能利用率从 2023 年第一季度的 66%回升至第二季度的 74%。显示面板或将迎来较大改善，新一轮上行周期或将开启。  投资建议：国内掩膜版发展当前整体仍处于起步阶段，半导体先进制程掩膜版等高端产品成熟或仍需时间。但长期来看，受下游半导 体产能向国内转移带动及海外部分产品出口限制，成熟制程产品的国产 替代进程有望逐步加速。平板显示掩膜版的生产技术相对成熟，随着 2023 年二季度面板景气度显著提升，掩膜版需求或将加速回暖，产品结 构完善且率先实现放量的企业有望充分受益。建议关注路维光电、清溢光电。  风险提示：1）终端需求不及预期。若平板显示及半导体领域景 气度出现大幅下滑，则对掩膜版需求或造成一定程度拖累。2）国产替 代进程不及预期。国内掩膜版厂商若出现研发进程缓慢，产品认证过 程缓慢等问题，则可能导致国产替代进度不及预期。3）国内新产能落地 进度不及预期。当前国内掩膜版厂商仍处在产能扩建时期，若新增产 能释放进度缓慢，则国内企业或面临业绩不及预期的风险。 -30%-25%-20%-15%-10%-5%0%5%10%2022/32022/82023/12023/6有色金属沪深300证券研究报告 请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。 有色金属与新材料·行业深度报告 2/ 23 正文目录 一、掩膜版：光刻过程的核心耗材................................................................................................................... 5 1.1 掩膜版基本介绍：微电子制造过程中的图形转移母版 ............................................................................... 5 1.2 掩膜版结构：掩膜基板+遮光膜 .............................................................................................................. 6 1.3 光刻技术是掩膜版制造的重要环节.......................................................................................................... 7 二、半导体掩膜版：海外三方厂商集中，国产替代进行时 ............................................................................... 9 2.1 半导体重要耗材，海外厂商占据主要市场份额 ......................................................................................... 9 2.2 成熟制程产品为主，抗周期特性显现 .....................................................................................................11 2.3 海外三方厂商：头部企业起步较早，先进制程方向明确.......................................................................... 13 2.4 半导体产能转移，行业拐点将至，国内掩膜需求有望迎来增长................................................................ 15 三、平板显示：技术迭代方向明确，面板复苏提振需求 ................................................................................. 17 3.1 平板显示掩膜版头部集中 ..................................................................................................................... 17 3.2 大尺寸和高精度是平板显示掩膜版主要发展方向................