微导纳米(688147)投资价值分析报告：ALD技术平台型企业，半导体CVD加持强化成长性

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2023 年 7 月 7 日 公司研究 ALD 技术平台型企业，半导体 CVD 加持强化成长性 ——微导纳米（688147.SH）投资价值分析报告 增持（首次） 公司是 ALD 薄膜沉积领先设备厂商。依托 ALD 技术核心团队，专注先进微纳米薄膜沉积设备研发与产业化应用，构建以 ALD 技术为核心，外拓 CVD 等多种镀膜设备的产品体系，广泛应用于逻辑、存储、高效光伏电池、新型显示等领域，在半导体逻辑芯片、存储芯片的 HKMG 工艺、光伏正面氧化铝钝化层上具备较强的领先优势。 国产 Thermal ALD 设备佼佼者，差异化竞争策略减少直接竞争对手。公司是国内首家成功将量产型 TALD 设备应用于 28nm 逻辑芯片 high-k 栅介质层的设备厂，同时加快其他工艺段 TALD 与 PEALD 设备的研发验证，持续巩固竞争优势。公司已有多台 ALD 设备在不同工艺段验证，后续批量重复订单可期。CVD 系列设备以硬掩模工艺为切入点，部分产品目前处于客户试样验证阶段。截至 2023年 4 月 25 日，公司今年新签半导体设备订单 2.42 亿元，与 2022 年全年相当。 ALD 为先进制程关键设备，未来几年复合增速超其他类型薄膜设备。ALD 技术因独特的自限性反应而具有超薄均匀镀膜、台阶覆盖率高、保形性优异的独特优势，在 28nm 以下逻辑芯片三维镀膜、高深宽比存储芯片薄膜沉积中具有无可比拟地位。美国对华出口管制升温，联合日荷对华封锁半导体先进制程设备，釜底抽薪倒逼我国重视供应链安全，下游晶圆厂国产设备验证意愿增强，打开验证窗口，推动半导体设备国产化水平提高，芯片微缩化发展中 ALD 设备是先进制程核心设备，利好在关键工艺领先的微导纳米。据 SEMI 2021 年报告，CVD、PVD、ALD2020-2025 年市场规模年均复合增长率分别为 8.5%、8.9%和 26.3%。 TOPCon 扩产元年，公司订单大放量，储备新电池设备技术以享受产业加速发展红利。公司 ALD 设备为正面 Al2O3 钝化层主流制备技术，打破 PECVD 垄断,在同类型产品中市占率全球第一，用于隧穿层与掺杂多晶硅层的 PEALD 二合一设备，SiNx 层的 PECVD 设备市场不断打开，与先导智能协同为客户供应整线。23 年以来 TOPCon 扩产加速，截至 4 月 25 日公司今年新签光伏订单 20 亿元，超 22 年末在手订单。xBC 正面 Al2O3 层实现产业化应用，HJT 透明导电层处于开发阶段，钙钛矿封装层已处于验证阶段，有望在下一代光伏电池新技术量产前夕打入供应链。 盈利预测、估值与评级：半导体 ALD 设备壁垒高，差异化布局 CVD 设备拓宽成长空间，国产化背景下加速验证，未来订单放量可期；光伏新技术迭代加速，订单获取能力强，基本盘稳固，可赋能半导体研发与产业化。我们预计公司 23-25E的归母净利润为 1.24/2.63/4.23 亿元，对应 EPS 为 0.27/0.58/0.93 元，当前股价对应 PE 为 196/92/57x。公司半导体 ALD、CVD 处于加速验证与量产导入阶段，可享受一定的估值溢价，首次覆盖，给予“增持”评级。 风险提示：新产品验证进度不及预期，行业周期持续下行，国际贸易摩擦加剧。 公司盈利预测与估值简表 指标 2021 2022 2023E 2024E 2025E 营业收入（百万元） 428 685 1,508 2,517 3,589 营业收入增长率 36.91% 59.96% 120.29% 66.94% 42.58% 净利润（百万元） 46 54 124 263 423 净利润增长率 -19.12% 17.43% 128.74% 112.28% 61.01% EPS（元） 0.11 0.12 0.27 0.58 0.93 ROE（归属母公司)（摊薄） 5.22% 2.76% 5.94% 11.36% 15.89% P/E 475 449 196 92 57 P/B 24.8 12.4 11.7 10.5 9.1 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为 2023-07-03；2021/2022 年末总股本分别为 409、454.46 百万股 当前价：53.51 元 作者 分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001 021-52523860 yangshaohui1@ebscn.com 联系人：林映吟 021-52523418 linyingyin@ebscn.com 市场数据 总股本(亿股) 4.54 总市值(亿元)： 243.18 一年最低/最高(元)： 24.65/59.83 近 3 月换手率： 43.19% 股价相对走势 -10%10%30%50%70%90%22/1223/0323/06微导纳米沪深300 收益表现 % 1M 3M 1Y 相对 -2.06 52.00 108.35 绝对 -0.80 47.17 94.94 资料来源：Wind 相关研报 半导体制造技术进步，原子层沉积（ALD）技术是关键——半导体设备行业跟踪报告（2023-02-06） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 微导纳米（688147.SH） 投资聚焦 关键假设 （1） 半导体设备：公司是国内半导体 ALD 设备领军企业，布局 CVD 拓展市场空间，目前多个机台处于与客户验证阶段，部分取得批量重复订单。目前中美科技竞争，海外高端半导体设备供应链受破坏，国内晶圆厂导入国产设备验证意愿相较此前增强，半导体设备国产化率不断提高，微导纳米作为国内第一家凭借TALD 率先打入 28nm 栅介质层 HfO2 工艺的半导体设备厂，公司有望在下游晶圆厂先进制程扩产中在 ALD 应用的工艺环节中获得优势订单。我们预计公司2023/2024/2025 年半导体专用设备实现营业收入 2/5/10 亿元，对应同比增速为 326%/150%/100%，毛利率水平分别为 48%/49%/50%。 （2） 光伏设备：能源转型背景下，光伏新增装机需求增加，对降本增效的追求推动行业新技术迭代时间缩短，利好设备厂商。微导纳米在高效光伏电池片工艺覆盖度与新技术品类覆盖度逐渐增加，公司产能不断增加，交付能力增强。在TOPCon 扩产热潮中公司积极布局下一代高效电池技术专用设备，如 HJT、钙钛矿等领域，以解决光伏领域未来订单可能出现青黄不接现象。我们预计2023/2024/2025 年公司光伏设备营业收入增速为 130%/60%/30%，对应营业收入为 11.52/18.43/23.97 亿元，毛利率分别为 36.5%/37%/36.5%。 我们区别于市场的观点 （1）重视半导体设备属性：市场多从已产业化应用设备、订单结构、收入结构角度将公司赋予更多的