持续技术创新、不断自我超越的半导体设备龙头

机械设备 | 证券研究报告 — 首次评级 2021 年 11 月 17 日 [Table_Stock] 688082.SH 买入 原评级: 未有评级 市场价格:人民币 85.0 板块评级:强于大市 本报告要点  技术差异化、产品平台化、客户全球化 [ 股价表现 [Table_Index] (%) 今年 至今 1 个月 3 个月 12 个月 绝对 - - - - 相对上证指数 - - - - 发行股数 (百万) 43 流通股 (%) 100 总市值 (人民币 百万) 3685 3 个月日均交易额 (人民币 百万) - 净负债比率 (%)(2021E) 43 主要股东(%) 美国 ACMR 92 中银国际证券股份有限公司 具备证券投资咨询业务资格 [Table_Industr y] 机械设备 : 专用设备 [Table_Anal yser] 证券分析师：杨绍辉 (8621)20328569 shaohui.yang@bocichina.com 证券投资咨询业务证书编号：S1300514080001 证券分析师：陶波 (8621)20328512 bo.tao@bocichina.com 证券投资咨询业务证书编号：S1300520060002 [Table_Title] 盛美上海 持续技术创新、不断自我超越的半导体设备龙头 作为国产半导体设备龙头，盛美上海历年业绩保持高成长，主要受益于半导体景气度上行、国产化，具有很强的代表性，是稀缺的半导体设备技术差异化、产品平台化、客户全球化标的。 支撑评级的要点  核心技术团队：具备丰富的半导体产业链从业经验，以及半导体设备前瞻性国际视野。创始人王晖总 80 年代赴日本大阪大学主攻半导体设备及工艺方向，从事镀铜、CMP、离子注入等设备研究。多位技术人员具有 20 多年国内外半导体产业链及设备、工艺的从业经验，支撑盛美上海在单片清洗、无应力抛光、镀铜等产品研发方面的持续突破，前瞻性的布局多项核心设备工艺的研发。  行业地位：国内高成长的半导体设备龙头企业。公司成立于 2005 年，与中微、睿励、安集科技等同属于老牌国产半导体设备与材料企业，已在全球半导体设备行业耕耘 16 年，2020 年公司收入 10.07 亿元，同比增长 33%，净利润 1.97 亿元，同比增长 46%，综合毛利率 43.8%。据赛迪顾问 2021 世界半导体大会资料，盛美上海与北方华创、中微公司等，被评为中国半导体设备五强企业。根据中国国际招标网数据统计，公司在部分 12 英寸国产线上的清洗设备市场份额大于 20%，贡献 90%以上的国产清洗设备，2018-2020年盛美上海清洗设备的市占率逐年攀升。  产品平台化：不断超越自我持续拓展目标市场规模。公司产品包括干、湿法工艺设备，干法工艺设备包括 LPVCD、合金退火等，湿法工艺设备包括镀铜（ECP）、清洗、无应力抛光（SFP）等，通过内生发展实现产品平台化，实现多项关键工艺设备国产化。参考 ACMR 资料，公司现有产品在全球可覆盖目标市场规模约 50 亿美元，其中清洗设备约 30 亿美元，镀铜设备约 5 亿美元，LPCVD 约 10 多亿美元，SFP 也有较好前景。  技术差异化：通过自主创新掌握 SAPS、TEBO、Tahoe、无应力抛光、镀铜、LPCVD 等全球领先技术，并做了全球专利布局。公司坚持差异化竞争和创新的发展战略，通过自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等，有效提升客户的生产效率、提升产品良率并降低生产成本。公司成功研发出全球首创的 SAPS、TEBO 兆声波清洗技术和 Tahoe 单片槽式组合清洗技术，可应用于 45nm 及以下技术节点的晶圆清洗领域，有效解决刻蚀后有机沾污和颗粒的清洗难题，大幅减少浓硫酸等化学试剂的使用量。  市场国际化：核心客户包括国外内存储厂商、国内一线晶圆代工客户、功率器件客户等。2008 年盛美上海 SAPS 技术研发成功，2009 年产品进入全球存储龙头海力士进行产品验证，2011 年首次取得海力士正式订单，并于 2013 年取得海力士多台重复订单。2015 年开始公司陆续取得长江存储、中芯国际及华虹集团等中国大陆领先客户的订单。2020 年前 5 大客户为华虹集团、长江存储、中芯国际、SK 海力士、长电科技。  募投项目：立足差异化自主创新研发，致力于成为国际半导体设备领军企业。公司募集资金用于盛美上海设备研发与制造中心、盛美上海高端半导体设备研发项目，快速实现槽式清洗设备、立式炉管设备(退火炉、氧化炉、LPCVD、ALD)等关联工艺设备的集成开发与生产，扩展和建立湿法和干法设备并举的种类齐全的产品线。部分募投资金围绕清洗、SFP、镀铜、立式炉、ALD 在先进制程工艺应用投入更多有效研发力量，致力成为综合性国际集成电路装备集团。 估值  预计公司 2021-2023 年营收为 15.58/25.22/36.33 亿元，净利润 2.65/4.20/5.85 亿元。公司作为稀缺的本土半导体设备龙头之一，将充分受益半导体大周期向上、设备国产化，首次覆盖，给与买入评级。 评级面临的主要风险  零部件供应风险；新产品研发不达预期风险；人才流失风险、竞争加剧风险。 投资摘要 [Table_InvestSummar y] 年结日：12 月 31 日 2019 2020 2021E 2022E 2023E 销售收入 (人民币 百万) 757 1,007 1,558 2,522 3,633 变动 (%) 38 33 55 62 44 净利润 (人民币 百万) 135 197 265 420 585 全面摊薄每股收益 (人民币) 0.311 0.454 0.611 0.969 1.349 变动 (%) (28.3) 45.9 34.7 58.5 39.2 全面摊薄市盈率(倍) 273.3 187.2 139.1 87.7 63.0 价格/每股现金流量(倍) (0.5) (0.8) 0.1 (1.1) 0.2 每股现金流量 (人民币) 0.17 (0.20) 2.50 0.22 1.78 企业价值/息税折旧前利润(倍) (2.5) 0.1 (18.8) (11.0) (8.5) 每股股息 (人民币) 0.000 0.000 0.061 0.097 0.135 股息率(%) n.a. n.a. Infinity Infinity Infinity 资料来源：公司公告，中银证券预测 2021 年 11 月 17 日 盛美上海 2 目录 技术团队：丰富的国内外半导体产业经验 ............................................ 5 行业地位：国内高成长的半导体设备龙头 ............................................ 7 半导体设备产品线丰富，兼具干法、湿法设备 .....................................................................