半导体设备行业专题报告：半导体设备专题综述篇，政策支持与资金投入助力设备国产化

万联证券请阅读正文后的免责声明 [Table_MainInfo] 证券研究报告|机械设备 半导体设备专题综述篇：政策支持与资金投入助力设备国产化 强于大市（维持） ——半导体设备专题报告 日期：2020 年 06 月 29 日 投资要点: ⚫ 技术限制凸显国产替代紧迫性，政策支持+资金投入助力设备国产化 我国在获取先进半导体设备方面一直受到限制，近期发生的中芯 EUV光刻机延迟发货、美国加紧对华技术管制等事件说明了在设备领域的受制于人严重的威胁到了我国半导体产业链的安全，补齐产业链短板对我国半导体产业的意义重大。国家从政策、资金方面支持半导体设备的国产化，大基金二期将对在刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等领域已布局的企业保持高强度的持续支持，同时也将为本土设备企业争取更多的市场机会。我们认为，大基金二期有望撬动万亿级别的资金规模，将快速拉动我国尚处于追赶阶段的半导体设备产业。 ⚫ 晶圆厂积极扩产，2020 年将是设备采购大年 海内外研究机构多对 2020 年半导体市场持较为悲观的态度，麦肯锡预计 2020 年全球半导体市场将下降 5%-15%，IC Insights 预计 2020年全球半导体资本支出将下降 3％。但从国内情况来看，疫情带来的短期扰动没有对龙头晶圆厂的投资节奏并造成明显影响，国内代工厂龙头中芯国际、华虹半导体均大幅调高了 2020 年的资本开支计划，2020 年将是国内代工厂的设备采购大年。此外根据芯思想研究院统计的数据，目前国内在建 Fab 的投资总额有望超过 5000 亿元，以设备投资占比 70%计算，未来 5 年的半导体设备需求将会超过 3500 亿元。 ⚫ 设备国产化率提升，期待“从 1 到 N”的高速成长期 经过国产厂商多年的追赶，我国集成电路高端关键装备已完成了从无到有的突破，形成一定支撑能力。实现从无到有的突破后，国产集成电路关键装备逐步受到下游客户的认可，长江存储近期的设备采购项目中，中微公司、北方华创、沈阳拓荆、华海清科、盛美半导体等企业在刻蚀设备、沉积设备、氧化扩散设备、研磨抛光设备、清洗设备等领域获得较高的渗透率。随着设备国产化率不断提高，叠加国内代工厂设备采购大年的到来，国内半导体设备产业有望迎来“从 1到 N”的高速成长期。 ⚫ 投资建议 建议关注半导体前道设备龙头北方华创（002371.SZ）、硅片制造加工设备龙头晶盛机电（300316.SZ）等在关键设备领域已有布局的企业。 ⚫ 风险因素 疫情控制情况不及预期风险，晶圆厂投资扩产不及预期风险，设备国产化进程不及预期风险，贸易摩擦加剧风险，技术管控加剧风险。 盈利预测和投资评级 股票简称 19E 20E 21E 评级 北方华创 1.03 1.47 1.97 增持 晶盛机电 0.70 0.92 1.11 买入 [Table_ProfitEst] [Table_IndexPic] 机械设备行业相对沪深 300 指数表 数据来源：WIND,万联证券研究所 数据截止日期：2020 年 06 月 29 日 [Table_DocReport] [Table_AuthorInfo] 分析师: 周春林 执业证书编号： S0270518070001 电话： 021-60883486 邮箱： zhoucl@wlzq.com.cn [Table_AssociateInfo] 研究助理: 卢大炜 电话： 021-60883481 邮箱： ludw@wlzq.com.cn -19%-11%-3%5%13%20%机械设备沪深300证券研究报告 行业专题报告 行业研究 万联证券 证券研究报告|机械设备 万联证券研究所 www.wlzq.cn 第2页共24页 目录 1、行业格局：美日欧厂商垄断半导体核心设备市场 ...................... 4 1.1 设备是整个半导体产业的基石 ...................................... 4 1.2 中国大陆地区的前道设备市场规模超百亿美元 ........................ 5 1.3 美日欧厂商垄断设备市场，国产设备已形成一定支撑能力 .............. 6 1.4 美国对华技术管控升级，设备国产化意义重大 ........................ 8 2、市场：半导体产业供需不匹配，国产替代空间巨大 .................... 9 2.1 国际半导体市场缺乏复苏动力，下半年市场有望回升 .................. 9 2.2 国内晶圆厂投资加速，产业链供需不匹配 ........................... 11 2.2.1 集成电路产品供需不匹配，晶圆厂扩大投资助力 IC 国产化 ......... 11 2.2.2 晶圆制造设备供需不匹配，半导体产业受制于人 .................. 14 3、政策与资金：大基金二期将从多方面扶持国产设备发展 ............... 15 3.1 日韩半导体产业发展史：产业崛起离不开上游的协同发展，政策支持+资金投入助力产业发展 .................................................. 15 3.2 政策+资金助力半导体设备国产化 .................................. 17 4、从无到有完成突破，国产高端产品实现批量应用 ..................... 20 5、重点关注公司 ................................................... 22 5.1 北方华创：国内产品线最全面的半导体设备供应商 ................... 22 5.2 晶盛机电：硅片制造加工设备龙头 ................................. 23 6、风险提示 ....................................................... 23 sPtPnPwOyQaQ9RaQnPqQsQqQfQmMoQlOsRpPaQpOtOxNrMnQwMqQqN万联证券 证券研究报告|机械设备 万联证券研究所 www.wlzq.cn 第3页共24页 图表 1：集成电路产业链 .............................................. 4 图表 2：CMOS IC 制造厂典型的硅片制造流程（前道） .................... 4 图表 3：典型半导体封装工艺流程（后道） .............................. 4 图表 4：中芯国际 SN1 项目投资额构成 .................................. 5 图表 5：每 5 万片晶圆产能的设备投资额 ................................ 5 图表 6：集成电路各类设备销售额占比 ............................